一种用于防止纳米通道键合密封堵塞的填充阻隔器的制作方法

技术总结
本实用新型公开一种用于防止纳米通道键合密封堵塞的填充阻隔器；涉及微纳加工技术领域，该填充阻隔器为一个嵌入基底的用于分流填充量的凹槽结构，位于键合胶层填充沟槽结构时所产生的膨胀中心线的中心位置；通过引入填充阻隔器结构，以降低键合过程中压力所产生的位移，分流填充量，从而抑制顶部填充，减少通道制作时堵塞的发生。

技术研发人员：金建;邸思;袁海
受保护的技术使用者：深圳先进技术研究院;广州中国科学院先进技术研究所
技术研发日：2018.05.30
技术公布日：2019.02.12