喷嘴清洁装置及涂布设备的制作方法

本申请涉及显示制造技术领域，具体而言，涉及一种喷嘴清洁装置及涂布设备。

背景技术：

在液晶面板的制作过程中，需要在彩膜工段进行涂覆工艺，即：利用涂布设备的喷嘴将光阻涂覆在玻璃基板的表面，形成一层均匀的膜层。在上述喷嘴涂覆完光阻后，在喷嘴尖端的两侧会聚集少量的光阻，这些残留的光阻在喷嘴涂覆下一张玻璃基板前必须被清洁掉，即：必须保证喷嘴在涂覆每张玻璃基板前处于洁净状态，若在涂覆玻璃基板前喷嘴擦拭不干净则极易引起液晶面板品质不良。

目前，常采用刮片对喷嘴进行擦拭，每次擦拭时喷嘴的始端擦拭的较干净，但由于刮片只能沿同一方向对喷嘴进行擦拭，导致喷嘴的末端部位易产生涂布不良。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现要素：

本申请的目的在于提供一种喷嘴清洁装置及涂布设备，能够提高喷嘴的清洁效果，从而能够保证涂布质量。

本申请第一方面提供了一种喷嘴清洁装置，其包括：

基座；

清洁组件，安装于所述基座；在喷嘴的长度方向上，所述清洁组件具有运动方向相反的第一运动行程及第二运动行程；在所述第一运动行程及所述第二运动行程中，所述清洁组件被设置成向所述喷嘴上的杂质施加刮除力，以刮除所述喷嘴表面上的杂质。

在本申请的一种示例性实施例中，所述清洁组件包括：

旋转部，转动安装于所述基座；

预刮部，安装于所述旋转部，所述预刮部具有预刮槽；

刮除部，安装于所述旋转部，所述刮除部具有刮除槽；在所述喷嘴的长度方向上得到的投影中，所述刮除槽的投影面位于所述预刮槽的投影面内；

其中，

所述旋转部被设置成绕自身转轴转动并带动所述预刮部和所述刮除部转动，以保证在所述第一运动行程及所述第二运动行程中，所述预刮槽与所述刮除槽依次经过所述喷嘴并分别向所述喷嘴上的杂质施加刮除力。

在本申请的一种示例性实施例中，所述清洁组件还包括：

升降部，所述预刮部与所述刮除部通过所述升降部安装于所述旋转部。

在本申请的一种示例性实施例中，所述清洁组件包括：

第一组清洁单元，安装于所述基座；

第二组清洁单元，安装于所述基座；

其中，

所述第一组清洁单元及所述第二组清洁单元均包括：

预刮部，所述预刮部具有预刮槽；

刮除部，所述刮除部具有刮除槽的刮除部，在所述喷嘴的长度

方向上得到的投影中，所述刮除槽的投影面位于所述预刮槽的投影

面内；

所述第一组清洁单元中预刮槽及刮除部的排布方向与所述第二

组清洁单元中预刮槽及刮除部的排布方向相反；

在所述第一运动行程中，所述第一组清洁单元的预刮槽与刮除

槽依次经过所述喷嘴并分别向所述喷嘴上的杂质施加刮除力；

在所述第二运动行程中，所述第二组清洁单元的预刮槽与刮除

槽依次经过所述喷嘴并分别向所述喷嘴上的杂质施加刮除力。

在本申请的一种示例性实施例中，所述第一组清洁单元及所述第二组清洁单元在所述喷嘴的长度方向上排布；

所述清洁组件还包括至少两个升降部，所述第一组清洁单元及所述第二组清洁单元分别通过至少一所述升降部安装于所述基座。

在本申请的一种示例性实施例中，所述刮除槽的槽壁被设置成在所述第一运动行程及所述第二运动行程中与所述喷嘴的外侧相接触。

在本申请的一种示例性实施例中，所述喷嘴清洁装置还包括：

外壳体，所述外壳体具有侧板、顶板及底板，所述侧板环绕所述基座及所述清洁组件，所述底板安装于所述侧板的底端并支撑所述基座，所述顶板活动安装于所述侧板的顶端并用于打开或关闭所述侧板的顶开口，所述顶板上设置有清洁部，

在所述顶板打开所述侧板的顶开口时，至少一组所述预刮部与所述刮除部被设置成在所述升降部升起的过程中伸出所述顶开口；

在所述顶板关闭所述侧板的顶开口时，所述清洁部被设置成对位于所述侧板内的所述预刮部与所述刮除部进行清洁。

在本申请的一种示例性实施例中，所述清洁部包括：

清洗模块，所述清洗模块被设置成向所述预刮部与所述刮除部提供清洗溶剂，以对所述预刮部与所述刮除部进行清洗；

吹干模块，所述吹干模块被设置成吹干清洗后的所述预刮部与所述刮除部。

在本申请的一种示例性实施例中，所述清洁组件还包括：

清洁底座，至少一组所述预刮部与所述刮除部通过所述清洁底座与所述升降部连接，所述清洁底座上设置有环绕所述预刮部与所述刮除部的废液槽。

本申请第二方面提供了一种涂布设备，其包括：上述任一项所述的喷嘴清洁装置。

本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：

本申请所提供的喷嘴清洁装置及涂布设备，该喷嘴清洁装置中的清洁组件在喷嘴的长度方向上具有运动方向相反的第一运动行程及第二运动行程，在第一运动行程及第二运动行程中，清洁组件被设置成向喷嘴上的杂质施加刮除力，以刮除喷嘴表面上的杂质，也就是说，该清洁组件可对喷嘴进行双向清洁，相较于相关技术中从单一方向清洁喷嘴的方案，本申请可缓解喷嘴的刮除末端因多次累积而造成喷嘴表面刮除不干净的问题，提高了喷嘴的清洁效果，从而提高了涂布质量。

另外，由于本申请的清洁组件可对喷嘴进行双向清洁，该清洁组件在第一运动行程中完成对喷嘴的清洁之后，在进行下一次的清洁时，清洁组件不需要回归到起始位置，只需进行与第一运动行程的运动方向相反的第二运动行程即可，因此，在喷嘴对玻璃基板涂布过程中，清洁组件位于喷嘴的一侧，并处在被清洗的状态，这样增加了清洁组件被清洗的时间，提高了清洁组件被清洗的效果，从而进一步提高了喷嘴的清洁效果。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1和图2为本申请不同实施方式所述的喷嘴清洁装置的结构示意图；

图3为图2中所示的喷嘴清洁装置的工作状态示意图；

图4为本申请另一实施方式所述的喷嘴清洁装置的结构示意图；

图5和图6为本申请一实施方式所述的喷嘴清洁装置在不同工作状态下的示意图；

图7为本申请再一实施方式所述的喷嘴清洁装置的结构示意图。

图1至图7中：

10、基座；11、旋转部；12a、第一组清洁单元；12b、第二组清洁单元；120、预刮部；1201、预刮槽；121、刮除部；1210、刮除槽；13、升降部；14、外壳体；140、侧板；141、顶板；15、清洁部；16、清洁底座；160、废液槽；17、挡板；18、导轨。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本实用新型将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。

用语“一个”、“一”、“该”、“所述”和“至少一个”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。

相关技术中，在喷嘴涂覆完玻璃基板后，喷嘴需回到起始位置，利用刮片在喷嘴的长度方向上从喷嘴的一侧到另一侧以擦拭喷嘴的外侧。在刮片沿喷嘴的长度方向移动至另一侧时，喷嘴开始做涂布动作，此时刮片在喷嘴的另一侧处于被清洗状态。待喷嘴涂布完玻璃基板后退回起始点的过程中，刮片停止被清洗，并从清洗位置快速移动至刮片的起始点，等待对喷嘴进行再次的擦拭。

但上述方式存在两个不足之处：一是，每次擦拭时喷嘴的始端擦拭的较干净，但末端的擦拭效果较差，而且刮片只能沿同一方向对喷嘴进行擦拭，多次累积的结果是，在喷嘴的末端就会慢慢聚集少量的光阻，导致在刮片刮除的末端部位易产生涂布不良；二是，由于每次涂布的间隙，刮片都需要回归到起始点才可以对喷嘴进行下一次的擦拭，导致刮片的清洗时间较短，清洗效果较差，多次累积后极易导致刮片对喷嘴不易擦干净，从而发生涂布不良。

本申请实施方式提供一种喷嘴清洁装置，可用于清洁涂布设备的喷嘴，但不以此为限，也可用于对其他设备的喷嘴进行清洁。本申请公开实施方式中，仅以涂布设备的喷嘴为例进行说明，该喷嘴为长条形喷嘴。如图1至图7所示，该喷嘴清洁装置包括基座10及清洁组件，清洁组件安装于基座10，其中：

在喷嘴的长度方向上(如图1至图7中所示的X方向)，清洁组件具有运动方向相反的第一运动行程及第二运动行程，即：喷嘴在其长度方向上具有相对设置的第一侧及第二侧，在第一运动行程中，清洁组件可从喷嘴的第一侧运动至喷嘴的第二侧，在第二运动行程中，清洁组件可从喷嘴的第二侧运动至喷嘴的第一侧。在第一运动行程及第二运动行程中，清洁组件均可向喷嘴上的杂质施加刮除力，以刮除喷嘴表面上的杂质。也就是说，该清洁组件可对喷嘴进行双向清洁，相较于相关技术中从单一方向清洁喷嘴的方案，本实施方式可缓解喷嘴的刮除末端因多次累积而造成喷嘴表面刮除不干净的问题，提高了喷嘴的清洁效果，从而提高了涂布质量。

另外，由于本实施例方式的清洁组件可对喷嘴进行双向清洁，因此，该清洁组件在第一运动行程或第二运动行程中完成对喷嘴的清洁之后，在对喷嘴进行下一次清洁之前，清洁组件不需要回归到起始位置(即：喷嘴的第一侧或第二侧)，也就是说，在喷嘴对玻璃基板涂布过程中，清洁组件可始终位于喷嘴的一侧，并处在被清洗的状态，直到喷嘴涂布完玻璃基板并退回到起始点后，此清洁组件可停止被清洗，并可进行反向运动，以对喷嘴进行下一次清洁。由于本实施例方式中在对喷嘴进行下一次清洁之前，清洁组件不需要回归到起始位置，这样可增加清洁组件被清洗的时间，提高了清洁组件被清洗的效果，从而进一步提高了喷嘴的清洁效果。

需要说明的是，本申请中提到的刮除力为推动力，即：在清洁组件运动的过程中，清洁组件可与喷嘴上的杂质发生干涉并推动杂质在清洁组件的运动方向上运动，以克服杂质与喷嘴之间的粘附力，使得杂质容易从喷嘴上掉落。

如图1至图7所示，清洁组件可包括预刮部120与刮除部121，该预刮部120与刮除部121可作为一组清洁单元以对喷嘴进行清洁，此清洁单元可设置有一组、两组或者更多组。其中，各组清洁单元中的预刮部120具有预刮槽1201，刮除部121具有刮除槽1210，在喷嘴的长度方向上得到的投影中，刮除槽1210的投影面位于预刮槽1201的投影面内，这样在对喷嘴清洁的过程中，可先通过预刮槽1201对喷嘴表面上的杂质进行预刮处理，以刮除喷嘴表面上较大的杂质，然后再通过刮除槽1210对喷嘴表面上较小的杂质进行刮除，这样在保证清洁效果的同时，还可缓解刮除槽1210在清洁喷嘴的过程中发生严重磨损的情况。

举例而言，预刮部120与刮除部121间隔设置，以缓解预刮部120刮下的杂质掉落至刮除部121，从而导致喷嘴清洁效果差的情况。

前述提到清洁组件具有运动方向相反的第一运动行程及第二运动行程，为了保证清洁组件在第一运动行程及第二运动行程中，始终先是预刮槽1201对喷嘴进行预刮处理，然后再是刮除槽1210对经预刮处理后的喷嘴进行再次刮除，本申请可根据清洁组件中清洁单元的数量以及各清洁单元之间的位置关系，提供不同实施方式，具体如下：

在第一实施方式中，如图1至图3所示，清洁组件可包括一组清洁单元，为了保证清洁组件在第一运动行程及第二运动行程中，始终先是预刮槽1201对喷嘴进行预刮处理，然后再是刮除槽1210对经预刮处理后的喷嘴进行再次刮除，该清洁组件还可包括旋转部11。其中，预刮部120与刮除部121可安装在旋转部11上，而旋转部11可转动安装于基座10，旋转部11被设置成绕自身转轴转动并带动预刮部120和刮除部121转动，以改变预刮部120与刮除部121在清洁喷嘴时的前进方向。

举例而言，在第一运动行程中，预刮部120与刮除部121可依次从喷嘴的第一侧运动至喷嘴的第二侧，以对喷嘴进行清洁，在喷嘴涂布完玻璃基板并退回到起始点后，且在清洁组件进行下一次清洁之前，旋转部11绕自身转轴转动180°，以带动预刮部120和刮除部121转动180°，从而改变预刮部120和刮除部121在刮除喷嘴时的前进方向，以保证在第二运动行程中，预刮槽1201与刮除槽1210依次从喷嘴的第二侧运动至喷嘴的第一侧，以对喷嘴进行清洁。

在本实施方式中，清洁组件还可包括升降部13，预刮部120与刮除部121可通过升降部13安装于旋转部11，此升降部13可在驱动部(图中未示出)的作用下上升或下降，从而带动预刮部120与刮除部121上升或下降。

举例而言，在清洁组件需要对喷嘴进行清洁时，升降部13在驱动部的作用下上升以带动预刮部120与刮除部121升至刮除位置，然后驱动预刮部120与刮除部121依次从喷嘴的一侧运动至喷嘴的另一侧，以对喷嘴进行清洁，在清洁喷嘴过后，升降部13在驱动部的作用下下降以带动预刮部120与刮除部121下降至清洗位置，以便于对预刮部120与刮除部121进行清洁。

在第二实施方式中，如图4至图7所示，清洁组件可包括两组清洁单元，为方便后续阐述，可将这两组清洁单元分别称为第一组清洁单元12a和第二组清洁单元12b，此第一组清洁单元12a和第二组清洁单元12b均安装于基座10，且第一组清洁单元12a中预刮槽1201及刮除部121的排布方向与第二组清洁单元12b中预刮槽1201及刮除部121的排布方向相反。

举例而言，第一组清洁单元12a中的预刮槽1201及刮除部121在第一运动行程中的运动方向上依次排布，第二组清洁单元12b中的预刮槽1201及刮除部121在第二运动行程中的运动方向上依次排布，这样为了保证清洁组件在第一运动行程及第二运动行程中，始终先是预刮槽1201对喷嘴进行预刮处理，然后再是刮除槽1210对经预刮处理后的喷嘴进行再次刮除，可在第一运动行程中及第二运动行程中分别采用第一组清洁单元12a及第二组清洁单元12b对喷嘴进行清洁，即：在第一运动行程中，第一组清洁单元12a的预刮槽1201与刮除槽1210依次经过喷嘴并分别向喷嘴上的杂质施加刮除力，以对喷嘴进行清洁，而此时第二组清洁单元12b处于不工作状态(即：不对喷嘴进行清洁)；在第二运动行程中，第二组清洁单元12b的预刮槽1201与刮除槽1210依次经过喷嘴并分别向喷嘴上的杂质施加刮除力，以对喷嘴进行清洁，而此时第一组清洁单元12a处于不工作状态。

其中，第一组清洁单元12a及第二组清洁单元12b可在喷嘴的长度方向上排布，为避免在第一运动行程中第二组清洁单元12b与喷嘴发生接触或为避免在第二运动行程中第一组清洁单元12a与喷嘴发生接触，本实施方式中，该清洁组件还可包括至少两个升降部13，第一组清洁单元12a及第二组清洁单元12b可分别通过至少一升降部13安装于基座10，为方便后续阐述，可将与第一组清洁单元12a连接的升降部13称为第一升降部，将与第二组清洁单元12b连接的升降部13称为第一升降部。

举例而言，第一升降部可在驱动部(图中未示出)的作用下上升，以带动第一组清洁单元12a运动至刮除位置，方便清洁组件在第一运动行程中实现对喷嘴的清洁，而此时第一升降部可在驱动部的作用下下降，以带动第二组清洁单元12b运动至清洗位置，方便清洗第二组清洁单元12b；第一升降部可在驱动部的作用下上升，以带动第二组清洁单元12b运动至刮除位置，方便清洁组件在第二运动行程中实现对喷嘴的清洁，而此时第一升降部可在驱动部的作用下下降，以带动第一组清洁单元12a运动至清洗位置，方便清洗第一组清洁单元12a。

可选地，上述各实施例中提到的刮除槽1210的槽壁被设置成在第一运动行程及第二运动行程中与喷嘴的外侧相接触，以提高喷嘴的清洁效果，从而提高了后续涂布质量。

由于喷嘴的截面形状通常近似为三角形，为了增大刮除槽1210与喷嘴的接触面积，从而提高喷嘴的清洁效果，可将刮除槽1210被设置成V型槽，而预刮槽1201可为U型槽，但不限于此，只要在喷嘴的长度方向上得到的投影中，刮除槽1210的投影面位于预刮槽1201的投影面内即可。

如图2、图3、图5、图6及图7所示，喷嘴清洁装置还包括外壳体14，此外壳体14具有侧板140、顶板141及底板(图中未标记)，侧板140环绕基座10及清洁组件，底板安装于侧板140的底端并支撑基座10，而顶板141活动安装于侧板140的顶端并用于打开或关闭侧板140的顶开口。

如图3、图5及图6所示，在清洁组件需要对喷嘴进行清洁时，该顶板141可打开侧板140的顶开口，升降部13可在驱动部的作用下上升，以使清洁组件中至少一组预刮部120与刮除部121伸出顶开口并到达刮除位置，便于对喷嘴进行清洁；如图2和图7所示，在清洁组件不需要对喷嘴进行清洁时，升降部13可在驱动部的作用下下降，以使清洁组件位于侧板140形成的容纳空间内，且顶板141关闭侧板140的顶开口，以使清洁组件与外界隔开，从而可保证清洁组件自身的干净程度，继而可保证喷嘴的清洁效果。

举例而言，此顶板141可包括两部分，这两部分分别向两侧打开，如图3所示，以节省顶板141打开的时间。另外，如图5和图6所示，在清洁单元具有两组时，这两组清洁单元分别与顶板141的这两部分一一对应，其中，如图5所示，在第一组清洁单元12a需要升起以对喷嘴进行清洁时，可将顶板141与之对应的部分打开，而顶板141的另一部分仍呈关闭的状态，以避免被刮除下来的杂质落到位于侧板140内的第二组清洁单元12b上；如图6所示，在第二组清洁单元12b需要升起以对喷嘴进行清洁时，可将顶板141与之对应的部分打开，而顶板141的另一部分仍呈关闭的状态，以避免被刮除下来的杂质落到位于侧板140内的第一组清洁单元12a上。

可选地，顶板141上设置有清洁部15，在顶板141关闭侧板140的顶开口时，此清洁部15可与位于侧板140内的预刮部120与刮除部121相对设置，以便于清洁部15对位于侧板140内的预刮部120与刮除部121进行清洁。值得说明的是，在顶板141包括两部分时，每部分均设置有清洁部15。

本实施方式中，通过在顶板141上设置清洁部15可实现对运动过程中的清洁组件进行清洁，例如，在清洁单元具有两组时，如图5所示，在第一组清洁单元12a需要升起以对喷嘴进行清洁时，可将顶板141与之对应的部分打开，而顶板141的另一部分仍呈关闭的状态，这样在避免被刮除下来的杂质落到位于侧板140内的另一组清洁单元上的同时，还可通过其上的清洁部15对位于侧板140内的第二组清洁单元12b上进行清洗，以增加清洗时间，继而可提高清洗效果；如图6所示，在第二组清洁单元12b需要升起以对喷嘴进行清洁时，可将顶板141与之对应的部分打开，而顶板141的另一部分仍呈关闭的状态，这样在避免被刮除下来的杂质落到位于侧板140内的另一组清洁单元上的同时，还可通过其上的清洁部15对位于侧板140内的第一组清洁单元12a上进行清洗，以增加清洗时间，继而可提高清洗效果。

其中，前述提到的清洁部15可包括清洗模块及吹干模块，清洗模块被设置成向预刮部120与刮除部121提供清洗溶剂，以对预刮部120与刮除部121进行清洗，吹干模块被设置成吹干清洗后的预刮部120与刮除部121，这样设计在保证预刮部120与刮除部121自身的清洁效果的同时，还可避免预刮部120与刮除部121在清洁喷嘴时清洗溶剂污染喷嘴的情况。

为达到更好的清洁效果，上述清洗模块及吹干模块均在高压下工作，其压力、清洗时间和吹干时间均可通过程序进行设定。

另外，为避免清洗预刮部120与刮除部121的清洗溶剂污染环境，此清洁组件还可包括清洁底座16，至少一组预刮部120与刮除部121(即：至少一组清洁单元)通过清洁底座16与升降部13连接，清洁底座16上设置有环绕预刮部120与刮除部121的废液槽160，清洗溶剂在清洗预刮部120与刮除部121后可流到废液槽160内并通过排液管路(图中未示出)排至废液回收装置内。

举例而言，在废液槽160的四周可设置挡板17，用于隔挡清洗清洁单元时清洗的废液溅落至其他位置造成污染。

需要说明的是，在清洁单元为两组时，各组两组清洁单元分别通过一清洁底座16与一升降部13连接，且各清洁底座16分别设置有环绕清洁单元的废液槽160，且各清洁底座16可活动安装在一载体上可共用一挡板17，也就是说，该挡板17可环绕

如图3和图7所示，该喷嘴清洁装置还可包括导轨18，该导轨18的长度方向为喷嘴的长度方向，且外壳体14的底板设有滑动部(图中未示出)，此滑动部可沿着导轨18的长度方向滑动，以使清洁组件能够对喷嘴进行清洁。

本申请还提供了一种涂布设备，其包括上述任一实施方式所述的喷嘴清洁装置。该涂布设备还可包括喷嘴，此喷嘴清洁装置可对喷嘴进行清洁。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的实用新型后，将容易想到本申请的其它实施方案。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本申请未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本申请的真正范围和精神由所附的权利要求指出。