化学品过滤器更换装置及更换方法与流程

本发明涉及化学品过滤器更换装置及更换方法，更详细地说，涉及可简便地更换用于过滤化学品所含的杂质的过滤器的化学品过滤器更换装置及更换方法。

背景技术：

通常，制造半导体、半导体装置、lcd、oled的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学品，而且安全供应这种化学品的方式也正在变得多种多样。

这种化学品会经过化学品过滤器进行供应，以根据制造工艺的特性以杂质最少化的高纯度状态使用。

所述化学品过滤器根据种类其形状及更换方法也有所不同，而且根据化学品的种类及所需的高纯度状态保持标准有各种更换周期。

以往，工作人员为了将来自化学品的危害最小化穿戴了防化服及防毒面具等的安全防护工具，而且一直以来都是手工逐一更换。

然而，在工作人员手工更换化学品过滤器的情况下，在化学品过滤器更换工作时，可向外部泄漏化学品及烟雾(fume)，因此不仅对制造设备包括在内的周边环境造成污染、损坏、破坏，而且工作人员包括在内的周围其他工作人员也可暴露在危险中。

另外，在工作人员阀门操作失误的情况下，可发生过滤器内部的各种有毒化学品泄漏到外部的事故。

另外，由于手工更换化学品过滤器，因此存在更换过滤器所需的工作工序数增加的问题。

作为在手工更换化学品过滤器的情况下用于固定化学品过滤器的装置，公开了韩国公开专利第10-2003-0043124号(2003.06.02.公开)。

技术实现要素：

本发明是为了解决上述所有的问题而提出的，目的在于提供一种化学品过滤器更换装置及更换方法，在化学品过滤器的更换中，防止化学物质泄漏到外部，将在更换化学品过滤器时可发生的事故危险最小化，实现装置体积的紧凑化，同时可减少更换化学品过滤器所需的工作工序数。

用于实现如上所述的目的的本发明的化学品过滤器更换装置1包括：过滤器组件安装部300，安装过滤器组件2，所述过滤器组件2包括待使用于过滤化学品的第一滤盒10-1或者已使用于过滤化学品的第二滤盒10-2、过滤器外壳20和过滤器头30，所述过滤器外壳20容纳所述第一滤盒10-1或者第二滤盒10-2并且所述过滤器外壳20和过滤器头30相互上下结合；及滤盒更换工具，在所述过滤器组件2安装在所述过滤器组件安装部300的状态下，从所述过滤器组件2分离所述过滤器外壳20，从所述过滤器组件2分离所述第二滤盒10-2，之后所述第一滤盒10-1结合于分离所述第二滤盒10-2的过滤器组件2，如此将所述已分离的过滤器外壳20结合于所述过滤器组件2。

所述化学品过滤器更换装置1还可以包括：第一装载部210，装载待结合于所述过滤器组件2的第一滤盒10-1；第二装载部220，装载从所述过滤器组件2分离的第二滤盒10-2。

所述第一装载部210可以包括安装所述第一滤盒10-1的第一滤盒安装座211，所述第二装载部220可以包括安装所述第二滤盒10-2的第二滤盒安装座221。

所述第一装载部210、过滤器组件安装部300及第二装载部220可以在向两侧间隔的位置分别配置成一对。

在所述第一装载部210的前方可以配置有门110，所述第一装载部210、过滤器组件安装部300及第二装载部220可以为在所述门110的后方依次配置在间隔预定间距的位置。

所述第一装载部210和第二装载部220可以配置成以所述门110为基准位于工作人员的手可触碰的距离以内。

所述过滤器头30可以结合于所述过滤器外壳20的开放的一侧端部，并且可以形成有多个连接部31至34以流进或者排放所述化学品。

所述过滤器组件安装部300可以包括头夹具310，所述头夹具310用于夹紧并结合所述过滤器外壳20和过滤器头30。

头凸缘36和外壳凸缘22可以以彼此相向的面对接的状态结合，所述头凸缘36可以沿着所述过滤器头30的一侧端部周围形成，所述外壳凸缘22可以沿着所述过滤器外壳20的一侧端部周围形成，所述头夹具310可以以所述头凸缘36和外壳凸缘22相向的面彼此紧贴的方向加压并夹紧。

所述头凸缘36和外壳凸缘22可以分别形成为彼此相向的面的相反面倾斜的楔形形状，在所述头夹具310可以形成有具有倾斜面311b、312b的结合槽311a、312b，以分别紧贴于所述头凸缘36和外壳凸缘22的倾斜的面。

所述头夹具310可以包括第一夹具311和第二夹具312，所述第一夹具311和第二夹具312可以在所述头凸缘36和外壳凸缘22的周围彼此相向的配置，所述化学品过滤器更换装置还可以包括夹具移送部320，所述夹具移送部320用于将所述第一夹具311和第二夹具312以彼此接近的方向移动或者以彼此远离的方向移动。

若所述第一夹具311和第二夹具312以彼此接近的方向移动，则所述头凸缘36和外壳凸缘22可以处于夹紧状态，若所述第一夹具311和第二夹具312以彼此远离的方向移动，则所述头凸缘36和外壳凸缘22可以处于解除夹紧的状态。

所述化学品过滤器更换装置1还可以包括：夹具锁定工具，用于固定所述头夹具310的夹紧的位置，以保持所述头凸缘36和外壳凸缘22被夹紧的状态。

所述化学品过滤器更换装置1还可以包括：夹具移送部320，用于将所述第一夹具311和第二夹具312以彼此接近的方向移动或者以彼此远离的方向移动，其中，所述夹具锁定工具可以包括：固定槽324，形成在所述夹具移送部320；夹具固定部340，具有固定凸起341，所述固定凸起341在所述头凸缘36和外壳凸缘22被夹紧的状态下插入于所述固定槽324。

所述夹具移送部320可以配置成可横向往返移动，所述夹具固定部340可以配置成可纵向往返移动。

在所述头凸缘36和外壳凸缘22被夹紧的状态下，所述夹具固定部340可以向下移动，所述固定凸起341可以插入于所述固定槽324内，进而所述头夹具310可以处于夹具锁定状态，若所述夹具固定部340向上移动，所述固定凸起341位于所述固定槽324的外侧，则所述头夹具310可以处于夹具锁定解除状态。

所述滤盒更换工具可以包括：至少一个的过滤器外壳装卸模块400，从所述过滤器组件2分离包围所述第二滤盒10-2的过滤器外壳20，或者结合从所述过滤器组件2分离的所述过滤器外壳20以包围所述第一滤盒10-1。

所述过滤器外壳装卸模块400可以包括：外壳固定部410，固定所述过滤器外壳20；外壳移送部420，以上下方向移动所述外壳固定部410。

所述过滤器外壳装卸模块400还可以包括外壳固定部高度调节部430，所述外壳固定部高度调节部430用于按照所述过滤器外壳20的高度规格调节所述外壳固定部410的高低。

所述滤盒更换工具可以包括第二滤盒移送模块500，所述第二滤盒移送模块500将安装在所述过滤器组件安装部300的所述第二滤盒10-2移送到所述第二装载部220。

所述第二装载部220可以在所述过滤器组件安装部300的后方中配置在间隔到一侧的位置。

所述第二滤盒移送模块500可以包括：旋转部520，可旋转于所述过滤器组件安装部300所在的第一位置和所述第二装载部220所在的第二位置之间；第二升降移送部530，在所述第一位置或者第二位置以上下方向升降第二升降部540；第二夹持器550，配置在所述第二升降部540，以夹持所述第二滤盒10-2。

所述过滤器组件安装部300和所述第二装载部220可以在向两侧间隔的位置分别配置成一对，

所述第二滤盒移送模块500可以配置成单一模块，可以在位于所述两侧的过滤器组件安装部300和第二装载部220之间移送所述第二滤盒10-2。

所述第二滤盒移送模块500可以将所述第二滤盒10-2从所述过滤器组件安装部300移送到所述第二装载部220之后返回到位于所述两侧的第二装载部220之间的中间的等待位置。

所述第二滤盒移送模块500还可以包括第二升降部高度调节部560，所述第二升降部高度调节部560用于按照所述第二滤盒10-2的高度规格调节所述第二升降部540的高低。

所述滤盒更换工具可以包括第一滤盒移送模块600，所述第一滤盒移送模块600将装载于所述第一装载部210的第一滤盒10-1移送到所述过滤器组件安装部300。

所述第一装载部210和所述过滤器组件安装部300可以以前后方配置在直线路径上间隔的位置。

所述第一滤盒移送模块600可以包括：第一升降移送部610，以上下方向升降第一升降部620；进退移送部630，配置在所述第一升降部620下部进行前进后退；及第一夹持器640，配置在所述进退移送部630，以夹持所述第一滤盒10-1。

所述进退移送部630可以包括：第一进退移送部630-1，结合于所述第一升降部620下部，以沿着所述第一升降部620进行前进后退；第二进退移送部630-2，结合于所述第一进退移送部630-1下部，以沿着所述第一进退移送部630-1进行前进后退，并且在下部结合所述第一夹持器640。

所述第一滤盒移送模块600还可以包括第一升降部高度调节部650，所述第一升降部高度调节部650用于按照所述第一滤盒10-1的高度规格调节所述第一升降部620的高低。

在所述第二装载部220可以配置有化学品支撑座230，所述化学品支撑座230在移送所述第二滤盒10-2时或者打开门110工作人员将所述第二滤盒10-2手动移出时，可以容纳从所述第二滤盒10-2滴落的化学品来排放到一侧。

所述滤盒更换工具可以包括：第二滤盒移送模块500-1，将安装在所述过滤器组件安装部300的所述第二滤盒10-2移送到所述第二装载部220；第一滤盒移送模块600-1，将装载于所述第一装载部210的第一滤盒10-1移送到所述过滤器组件安装部300，其中，所述第二滤盒移送模块500-1和第一滤盒移送模块600-1可以配置成可前进后退及升降。

装载所述第一滤盒10-1和所述第二滤盒10-2的装载部200和所述过滤器组件安装部300可以在两侧分别配置成一对，所述化学品过滤器更换装置包括滤盒移送模块600-2，所述滤盒移送模块600-2可以在所述装载部200和过滤器组件安装部300之间移送所述过滤器组件2，所述滤盒移送模块600-2可以配置成可双向旋转及升降，以共用于两个所述过滤器组件2。

装载所述第一滤盒10-1和所述第二滤盒10-2的装载部200和所述过滤器组件安装部300可以在两侧分别配置成一对，所述化学品过滤器更换装置可以包括滤盒移送模块600-3，所述滤盒移送模块600-3可以在所述装载部200和过滤器组件安装部300之间移送所述过滤器组件2；其中，所述滤盒移送模块600-3可以包括：升降移送部610-3；第一直线移送部620-3，在所述装载部200和过滤器组件安装部300之间以前后方向移送所述升降移送部610-3；及第二直线移送部630-3，在两侧配置成一对的所述装载部200和过滤器组件安装部300之间以左右方向移送所述升降移送部610-3和第一直线移送部620-3。

在所述过滤器头30可以形成有第一连接部31、第二连接部32、第三连接部33、第四连接部34，所述第一连接部31可以流入化学品，所述第二连接部32可以排放通过所述第一滤盒10-1或者第二滤盒10-2的化学品，所述第三连接部33用于排放在所述第一滤盒10-1或者第二滤盒10-2和过滤器外壳20内侧面之间的空间s2残留的化学品，所述第四连接部34用于排放残留于所述第一滤盒10-1或者第二滤盒10-2的内部空间s1的化学品，在所述过滤器外壳20可以形成有第五连接部23，所述第五连接部23用于将干燥空气或者洗涤水供应到所述过滤器外壳20内部。

所述过滤器组件安装部300可以向两侧间隔地配置成一对，分别安装在所述一对过滤器组件安装部300的过滤器组件2的所述第五连接部23可以连接干燥空气供应线l6、洗涤水供应线l7及与外气连通的共用排气管线l8。

在所述一对过滤器组件2可以连接旁路线l9，所述旁路线l9用于将化学品选择性供应于所述一对过滤器组件2中的任意一个。

在所述过滤器组件2可以连接压力传感器p，在更换为所述第一滤盒10-1之后，所述压力传感器p可以用于测量所述过滤器组件2内部的压力。

本发明的一种化学品过滤器更换方法，包括：a)步骤，从过滤器组件2分离过滤器外壳20；b)步骤，从所述过滤器组件2分离在所述过滤器组件2内部使用于过滤化学品的第二滤盒10-2，之后作为新滤盒的第一滤盒10-1结合于已分离所述第二滤盒10-2的过滤器组件2，如此将所述已分离的过滤器外壳20结合于所述过滤器组件2。

在所述b)步骤中，所述第二滤盒10-2可以通过第二滤盒移送模块500的驱动从所述过滤器组件2分离，所述第一滤盒10-1可以通过第一滤盒移送模块600的驱动结合于已分离所述第二滤盒10-2的过滤器组件2。

在所述b)步骤中，从所述过滤器组件2分离的第二滤盒10-2可以从过滤器组件安装部300移送到第二装载部220，所述第一滤盒10-1可以从第一装载部210移送到所述过滤器组件安装部300。

所述第二滤盒移送模块500可以通过升降及旋转移动将所述第二滤盒10-2从所述过滤器组件安装部300移送到第二装载部220，所述第一滤盒移送模块600可以通过升降及前进后退移动将所述第一滤盒10-1从第一装载部210移送到所述过滤器组件安装部300。

所述第一滤盒10-1可以通过手动移入于所述第一装载部210，装载于所述第二装载部220的第二滤盒10-2可以通过手动移出。

先行于所述a)步骤，还可以包括：排放安装在过滤器组件安装部300的过滤器组件2内部的化学品的步骤；及清洗及干燥所述过滤器组件2内部的步骤。

在所述b)步骤之后，还可以包括：为了对安装在所述过滤器组件安装部300的过滤器组件2内部正常供应化学品而反复执行供应及排放以清除泡沫的步骤。

在清除所述泡沫的步骤之后，还可以包括：清洗化学品过滤器更换装置的排管及底部的步骤。

通过本发明，在化学品过滤器更换工作时，可防止化学品及烟雾(fume)泄漏到外部，或者因为工作人员的失误而引起的化学品泄漏事故，进而可防止工作人员及其他人员暴露在危险中。

另外，用夹具坚固地固定过滤器组件的外壳和头，进而可防止化学品泄漏，并且具有夹具锁定工具，可坚固地保持夹具夹紧的状态，因此可防止化学品泄漏。

另外，通过机械装置自动更换已使用于化学品过滤的第二滤盒和新的第一滤盒，因此可减少更换过滤器所需的工作工序数。

另外，在过滤器组件安装部自动清洗及干燥已使用的第二滤盒，进而可有效去除附着于第二滤盒的化学品，并且无需配置用于清洗及干燥的另外的空间，因此可将装置的结构简单化。

另外，过滤器外壳保持结合于过滤器外壳装卸模块的状态，并且只回收已使用的滤盒，进而过滤器外壳和滤盒的分离工作简单，并且可缩短分离所需时间。

另外，另外配置有用于移送已使用的第二滤盒的第二滤盒移送模块和用于移送新的第一滤盒的第一滤盒移送模块，阻止第二滤盒和第一滤盒之间的接触，进而可防止第一滤盒被污染。

另外，第二滤盒移送模块通过升降及旋转移送第二滤盒，第一滤盒移送模块通过升降及前进后退移送第一滤盒，进而缩短第二滤盒移送模块和第一滤盒移送模块的移动路线，缩小装置体积，可实现小型化制作。

另外，第二滤盒移送模块构成为在两侧配置成一对的过滤器组件安装部和第二装载部之间移送第二滤盒时可共同利用，进而可将装置结构更加简单化。

另外，装载第一滤盒的第一装载部和装载第二滤盒的第二装载部构成为以门为基准位于工作人员的手可触碰的距离以内，进而可简便地执行第一滤盒的移入及第二滤盒的移出工作。

另外，构成为按照过滤器组件的高度可调节滤盒更换工具的高低，进而可实现各种规格的过滤器组件的过滤器更换工作。

另外，在移送滤盒的途中可防止化学品滴落，因此可防止装置的底部被化学品污染。

附图说明

图1是主视本发明的化学品过滤器更换装置的立体图。

图2是后视本发明的化学品过滤器更换装置的立体图。

图3是本发明的化学品过滤器更换装置的主视图。

图4是示出本发明的化学品过滤器更换装置的门、在两侧配置成一对的第一装载部和过滤器组件安装部及第二装载部的配置结构的平面图。

图5是示出本发明的一实施例的化学品过滤器和与此连接的排管及阀门的图。

图6是本发明的化学品过滤器更换装置的工序排管仪表流程图。

图7是示出在本发明的过滤器组件安装部中过滤器组件被夹具夹紧并且锁定夹具的状态的立体图。

图8是示出本发明的过滤器组件被夹具夹紧的状态的剖面图。

图9是示出在本发明的过滤器组件安装部中过滤器组件被夹具夹紧并解除锁定夹具的状态的立体图。

图10是示出本发明的夹具被解除锁定并且过滤器组件安装部中过滤器组件从夹具解除夹紧的状态的立体图。

图11是示出本发明的过滤器组件从夹具解除夹紧的状态的剖面图。

图12是示出通过本发明的过滤器外壳装卸模块过滤器外壳向下移动的状态的立体图。

图13是示出通过本发明的过滤器外壳装卸模块过滤器外壳向上移动的状态的立体图。

图14是示出按照本发明的过滤器外壳的高度规格调节外壳固定部的高低的形态的侧视图。

图15是示出本发明的第二滤盒移送模块处于等待状态的形态的立体图。

图16是示出本发明的第二滤盒移送模块处于位于过滤器组件安装部上侧的第一位置状态的形态的立体图。

图17是示出本发明的第二滤盒移送模块在第一位置下降的形态的立体图。

图18是示出本发明的第二滤盒移送模块处于位于第二装载部上侧的第二位置状态的形态的立体图。

图19是用于说明本发明的第二滤盒移送模块旋转到等待位置、第一位置及第二位置的路线的平面图。

图20是示出按照本发明的第二滤盒的高度规格调节第二升降部的高低的形态的侧视图。

图21是示出本发明的第一滤盒移送模块处于位于第一装载部上侧的前进位置状态的形态的立体图。

图22是示出本发明的第一滤盒移送模块处于位于过滤器组件安装部上侧的后退位置状态的形态的立体图。

图23是示出本发明的第一滤盒移送模块后退下降移动的状态的形态的立体图。

图24是示出本发明的第一滤盒移送模块按照第一滤盒的高度规格调节第一升降部的高低的形态的侧视图。

图25是示出在更换化学品过滤器时的准备步骤的形态的图。

图26是示出第一滤盒移入第一装载部的形态的图。

图27是示出过滤器外壳装卸模块的外壳移送部上升移动从过滤器组件分离过滤器外壳的形态的图。

图28是示出第二滤盒移送模块的旋转部旋转到第一位置的形态的图。

图29是示出第二滤盒移送模块的第二升降部下降移动由第二夹持器夹持第二滤盒上部的形态的图。

图30是示出第二滤盒移送模块的第二升降部上升移动将第二滤盒移动到过滤器组件安装部上侧的形态的图。

图31是示出第二滤盒移送模块的旋转部旋转到第二位置的形态的图。

图32是示出第二滤盒移送模块的第二升降部在第二位置下降移动将第二滤盒安装在第二装载部的形态的图。

图33是示出第二滤盒移送模块的第二升降部在第二位置上升移动的形态的图。

图34是示出第二滤盒移送模块的旋转部旋转到等待位置，第一滤盒移送模块的第一升降部在前进位置下降移动，由第一夹持器夹持第一滤盒上部的形态的图。

图35是示出第一滤盒移送模块的第一升降部上升移动将第一滤盒移动到第一装载部上侧的形态的图。

图36是示出第一滤盒移送模块的进退移送部后退移动将第一滤盒移动到后退位置的形态的图。

图37是示出第一滤盒移送模块的第一升降部在后退位置下降移动将第一滤盒安装在过滤器组件安装部的形态的图。

图38是示出第一滤盒移送模块的第一升降部在后退位置上升移动的形态的图。

图39是示出第一滤盒移送模块的进退移送部移动到前进位置的形态的图。

图40是示出过滤器外壳装卸模块的外壳移送部下降移动进而过滤器外壳结合于过滤器组件的形态的图。

图41是示出第二滤盒从第二装载部移出的形态的图。

图42是示出本发明的化学品过滤器更换装置的第一变形实施例的平面图。

图43是示出本发明的化学品过滤器更换装置的第二变形实施例的平面图。

图44是示出本发明的化学品过滤器更换装置的第三变形实施例的平面图。

附图标记说明

1：化学品过滤器更换装置2：过滤器组件

10-1：第一滤盒10-2：第二滤盒

20：过滤器外壳22：外壳凸缘

23：第五连接部30：过滤器头

31至34：第一连接部至第四连接部36：头凸缘

37：滤盒插入部40：o型圈

100：主体盖110：门

200：装载部210：第一装载部

211：第一滤盒安装座220：第二装载部

221：第二滤盒安装座230：化学品支撑座

300：过滤器组件安装部310：头夹具

311：第一夹具312：第二夹具

311a、312a：结合槽311b、312b：倾斜面

320：夹具移送部324：固定槽

330：过滤器头安装座331：头支撑座

332：支撑部340：夹具固定部

341：固定凸起400：过滤器外壳装卸模块

410：外壳固定部420：外壳移送部

430：外壳固定部高度调节部500、500-1：第二滤盒移送模块

510：旋转驱动部520：旋转部

530：第二升降移送部540：第二升降部

550：第二夹持器560：第二升降部高度调节部

600、600-1：第一滤盒移送模块610：第一升降移送部

620：第一升降部630：进退移送部

630-1：第一进退移送部630-2：第二进退移送部

640：第一夹持器650：第一升降部高度调节部

600-2、600-3：滤盒移送模块610-3：升降移送部

620-3：第一直线移送部630-3：第二直线移送部

具体实施方式

以下，参照附图，如下详细说明本发明的优选实施例的结构及作用。

参照图1至图3，本发明的化学品过滤器更换装置1包括主体盖100及门110，所述门110配置在所述主体盖100的前面。

所述主体盖100构成为六面体形状，内部可具有第一装载部210、第二装载部220、过滤器组件安装部300及滤盒更换工具400、500、600，所述第一装载部210装载待使用于过滤化学品的第一滤盒10-1，所述第二装载部220装载已使用于过滤化学品的第二滤盒10-2。

所述滤盒更换工具400、500、600包括一对过滤器外壳装卸模块400，所述一对过滤器外壳装卸模块400配置在化学品过滤器更换装置1的前后方向的中间部的两侧。另外，所述滤盒更换工具400、500、600可包括：单一的第二滤盒移送模块500，配置在化学品过滤器更换装置1的后方中间部；一对第一滤盒移送模块600，配置在化学品过滤器更换装置1的前方两侧。

在所述第一装载部210存放作为待使用于过滤化学品的新滤盒的第一滤盒10-1。所述第一装载部210可包括安装所述第一滤盒10-1的第一滤盒安装座211。工作人员打开配置在主体盖100前面的门110，将所述第一滤盒10-1移入于所述第一装载部210的内部。

在所述第二装载部220存放作为已使用于过滤化学品的废弃滤盒的第二滤盒10-2。所述第二装载部220可包括安装所述第二滤盒10-2的第二滤盒安装座221。

所述第二滤盒10-2通过所述第二滤盒移送模块500装载于第二装载部220，工作人员回收并移出装载于第二装载部220的第二滤盒10-2。

参照图25，在所述第二装载部220可配置有化学品支撑座230，所述化学品支撑座230在移送所述第二滤盒10-2时或者工作人员打开门110手动移出第二滤盒10-2时，收容从所述第二滤盒10-2滴落的化学品来排放到一侧。所述化学品支撑座230可由平板部231及倾斜面部232构成，所述平板部231被侧壁231a围绕，所述倾斜面部232连通于形成在所述侧壁231a一侧部的开口部231b并且在两侧面形成有侧壁232a。

在所述过滤器组件安装部300安装过滤器组件2。在安装所述过滤器组件2的状态下用于将化学品供应于工艺的多个排管连接于所述过滤器组件2。通过所述排管流入过滤器组件2内部的化学品是通过过滤器组件2内部的滤盒的同时过滤杂质之后供应到需要化学品的工艺装置。

随着所述化学品过滤的进行，到了更换滤盒的周期，在更换滤盒的情况下，利用滤盒更换工具400、500、600从安装在所述过滤器组件安装部300的过滤器组件2分离过滤器外壳20，并从过滤器组件2分离所述第二滤盒10-2，之后将所述第一滤盒10-1结合于已分离第二滤盒10-2的过滤器组件2，并将所述已分离的过滤器外壳20结合于所述过滤器组件2。

参照图4，所述第一装载部210、过滤器组件安装部300及第二装载部220在向两侧间隔的位置可分别配置成一对。

所述第一装载部210、过滤器组件安装部300及第二装载部220在所述门110后方依次配置在间隔预定间距的位置。所述第一装载部210和所述过滤器组件安装部300以前后方配置在直线路径a1上间隔的位置，所述第二装载部220可配置在在所述过滤器组件安装部300的后方间隔到一侧的位置a2。

所述第一装载部210和第二装载部220可配置成以所述门110为基准位于工作人员的手可触碰的距离以内的位置。举一实施例，以所述门110为基准，所述第一装载部210配置在间隔80mm的位置，所述过滤器组件安装部300配置在间隔280mm的位置，所述第二装载部220配置在间隔468mm的位置，因此工作人员伸手将第一滤盒10-1可手动移入第一装载部210或者从第二装载部220可手动移出第二滤盒10-2。

参照图5和图6，对于过滤器组件2及与此连接的结构进行说明。所述过滤器组件2包括：滤盒10，用于过滤化学品所含的异物；过滤器外壳20，在内部容纳所述滤盒10；过滤器头30，结合于所述过滤器外壳20的开放的一侧的。

在所述过滤器头30形成有第一连接部31、第二连接部32、第三连接部33、第四连接部34，所述第一连接部31流入从化学品供应部(未示出)供应的化学品，所述第二连接部32排放通过所述滤盒10的化学品以供应到工艺装置，所述第三连接部33用于排放在所述滤盒10和过滤器外壳20内侧面之间的空间s2残留的化学品，所述第四连接部34用于排放残留于所述滤盒10的内部空间s1的化学品。

另外，在所述过滤器头30形成有滤盒插入部37、头凸缘36，所述滤盒插入部37插入所述滤盒10的一侧端部，所述头凸缘36从与所述滤盒插入部37构成同心结构的头主体38以半径方向延伸。

所述过滤器外壳20由外壳主体21、外壳凸缘22、第五连接部23构成，外壳主体21形成有在内部以长度方向待容纳所述滤盒10的空间，所述外壳凸缘22形成在一侧端部以在所述外壳主体21与所述头凸缘36紧贴，所述第五连接部23形成在所述外壳主体21的另一侧端部以流入干燥空气的氮气n2或者洗涤水di。

所述头凸缘36和外壳凸缘22为在彼此相向的面(接触的面)的相反侧分别形成倾斜面36a、22a，以形成为楔形形状。

在所述头凸缘36和外壳凸缘22的相向的面之间可配置有用于保持气密性的o型圈40。

在所述第一连接部31连接供应化学品的第一连接排管l1，在所述第一连接排管l1上配置有用于控制流入所述过滤器组件2的化学品的第一阀门v1。

在所述第二连接部32连接用于向需要化学品的工艺装置供应化学品的第二连接排管l2，在所述第二连接排管l2上配置有用于控制通过第二连接排管l2流动化学品的第二阀门v2。

在所述第三连接部33和第四连接部34分别连接用于排放化学品的第三连接排管l3和第四连接排管l4，在所述第三连接排管l3和第四连接排管l4上配置有用于控制通过各个排管排放化学品与否的第三阀门v3和第四阀门v4。

在所述第五连接部23连接流入氮气或者洗涤水的第五连接排管l5，并且配置有用于控制所述第五连接排管l5内部流动的第五阀门v5。在所述第五连接排管l5可连接压力传感器p，所述压力传感器p在更换化学品过滤器时用于测量过滤器组件2内部的压力。

在所述第五连接排管l5连接作为干燥空气供应线的第六连接排管l6和作为洗涤水供应线的第七连接排管l7，并且配置有用于开关所述第六连接排管l6和第七连接排管l7的流路的阀门v6、v7、v8、v9。

所述过滤器组件安装部300为向两侧间隔地配置成一对，在所述一对过滤器组件安装部300分别安装的过滤器组件2：2-1、2-2的所述第五连接排管l5连接与外气连通的共用排气管线l8。

对于所述一对过滤器组件2，在所述一对过滤器组件2中的任意一个连接用于选择性供应化学品的旁路线l9，并且配置有用于控制通过所述旁路线l9流动化学品的阀门v10。

在所述第三连接排管l3配置有第十及第十一连接排管l10、l11和用于开关该流道的阀门v11、v12。所述第十及第十一连接排管l10、l11的用途如下：更换过滤器之后向排管尺寸大的第一连接排管l1突然大量供应的情况下，作为过滤器的药品排放部空间的第三连接部33和第三阀门v3之间的空间和第二连接部32和第二阀门v2之间的空间内充满空气，所以在正常供应化学品时可连空气一同供应，因此通过排管尺寸相对小的第十及第十一连接排管l10、l11从底部慢慢地少量填充化学品，起到释放空气的作用。

另外，配置有在更换化学品过滤器时用于向装置的底部供应洗涤水的第十二连接排管l12和用于开关该流道的阀门v13。

在更换化学品过滤器时所述多个连接排管和阀门的作用将在下文中进行说明。

参照图7至图11，对过滤器组件安装部300进行说明。

所述过滤器组件安装部300包括头夹具310，所述头夹具310用于夹紧(clamping)过滤器外壳20和过滤器头30结合的部分。

所述头夹具310包括第一夹具311和第二夹具312，所述第一夹具311和第二夹具312彼此相向地位于所述头凸缘36和外壳凸缘22的周围，并且所述化学品过滤器更换装置包括夹具移送部320，所述夹具移送部320用于将所述第一夹具311和第二夹具312以彼此接近的方向移动或者以彼此远离的方向移动。

所述第一夹具311和第二夹具312彼此间隔间距，通过所述夹具移送部320在相互面对的状态下彼此接近或者彼此远离地移动。在所述第一夹具311和第二夹具312的彼此面对的内侧形成有具有倾斜面311b、312b的结合槽311a、312a，以分别紧贴于所述头凸缘36和外壳凸缘22的倾斜面36a、22a。

若所述第一夹具311和第二夹具312彼此接近地移动而处于如图7及图8的状态，则所述第一夹具311和第二夹具312的倾斜面311b、312b被加压成分别紧贴于所述头凸缘36和外壳凸缘22的倾斜面36a、22a，由此所述头凸缘36和外壳凸缘22彼此面对的面紧贴，并且通过o型圈40保持气密性。

如上所述，若将头凸缘36和外壳凸缘22、结合槽311a、312a的彼此相对应的部分构成楔形形状，则可增加将头凸缘36和外壳凸缘22约束在结合槽311a、312a内部的力，因此即使在过滤器组件2内部由化学品产生的压力起到作用，也可提高气密性保持性能。

所述过滤器组件安装部300包括过滤器头安装座330，所述过滤器头安装座330为安装所述过滤器头30，以使过滤器外壳20位于上部及过滤器头30位于下部。所述过滤器头安装座330由头支撑座331和支撑部332构成，所述头支撑座331接触并支撑过滤器头30的一侧面，所述支撑部332从所述头支撑座331的底面向下延伸而被地面支撑。

所述过滤器组件安装部300包括夹具锁定工具，所述夹具锁定工具用于固定所述头夹具310夹紧的位置，以使所述头凸缘36和外壳凸缘22保持被夹紧的状态。举一实施例，所述夹具锁定工具可包括：固定槽324，形成在所述夹具移送部320；夹具固定部340，具有固定凸起341，所述固定凸起341在所述头凸缘36和外壳凸缘22被夹紧的状态下插入于所述固定槽324。

所述夹具移送部320配置成可进行横向往返移动，所述夹具固定部340可配置成可进行纵向往返移动。

如图7，在所述头凸缘36和外壳凸缘22被夹紧的状态下，所述夹具固定部340向下移动，所述固定凸起341插入于所述固定槽324内，进而所述头夹具310处于夹具锁定状态，若如图9所述夹具固定部340向上移动，所述固定凸起341位于所述固定槽324的外侧，则所述头夹具310处于夹具锁定解除状态。

另一方面，在从过滤器组件2分离第二滤盒10-2的情况下，解除夹具锁定状态，第一夹具311和第二夹具312通过夹具移送部320以彼此远离的方向移动，进而处于如图10及图11的状态。

举一示例，所述夹具移送部320由诸如lm导轨或者圆筒的零部件构成，分别分离用于结合并移送所述第一夹具311的结构和用于结合并移送所述第二夹具312的结构，进而可构成为通过所述夹具移送部320使所述第一夹具311和第二夹具312能够以彼此相反的方向移动。

参照图12至图14，对构成滤盒更换工具的过滤器外壳装卸模块400进行说明。

所述过滤器外壳装卸模块400为从过滤器组件2分离包围第二滤盒10-2的过滤器外壳20，或者结合从所述过滤器组件2分离的所述过滤器外壳20，以使第一滤盒10-1插入于所述过滤器外壳20内部。

为此，所述过滤器外壳装卸模块400由外壳固定部410及外壳移送部420构成，所述外壳固定部410固定所述过滤器外壳20，所述外壳移送部420以上下方向移动所述外壳固定部410。

所述外壳固定部410为在过滤器外壳20的上部和下部两处以包围过滤器外壳20的主体外侧的结构固定过滤器外壳20。

所述外壳固定部410为一侧部结合于所述外壳移送部420，通过所述外壳移送部420的驱动将过滤器外壳20从图12的状态上升为图13的状态，或者可与此相反地下降过滤器外壳20。

所述过滤器外壳装卸模块400还可包括外壳固定部高度调节部430，所述外壳固定部高度调节部430用于按照所述过滤器外壳20的高度规格调节所述外壳固定部410的高低。所述外壳固定部高度调节部430可构成为一侧面结合于外壳移送部420，而在另一侧面中在上下间隔的位置形成有多个紧固孔431，以紧固用于紧固外壳固定部410的螺栓等的紧固工具。从而，如图14的(a)部分，在过滤器外壳20的高度低的规格的情况下，将外壳固定部410紧固于外壳固定部高度调节部430的下部；如图14的(b)部分，在过滤器外壳20'的高度高的规格的情况下，将外壳固定部410紧固于外壳固定部高度调节部430的上部，进而可将外壳固定部410调解在适当的高度。

参照图15至图20，对构成滤盒更换工具的第二滤盒移送模块500进行说明。

所述第二滤盒移送模块500为用于将安装在所述过滤器组件安装部300的所述第二滤盒10-2移送到所述第二装载部220的结构，包括：旋转驱动部510；旋转部520，接收所述旋转驱动部510的动力，可双向旋转于所述过滤器组件安装部300所在的第一位置p1-1、p1-2(图16和图17的位置)、所述第二装载部220所在的第二位置p2-1、p2-2(图18的位置)及位于两侧的第二装载部220之间的中间的等待位置p0(图15的位置)之间；第二升降移送部530，在所述第一位置p1-1、p1-2或者第二位置p2-1、p2-2以上下方向升降第二升降部540；第二夹持器550，配置在所述第二升降部540，并夹持第二滤盒10-2。

所述过滤器组件安装部300和所述第二装载部220在向两侧间隔的位置分别配置成一对，所述第二滤盒移送模块500配置成单一模块，以在位于所述两侧的过滤器组件安装部300和第二装载部220之间移送所述第二滤盒10-2。

所述第二滤盒移送模块500将所述第二滤盒10-2从所述过滤器组件安装部300移送到所述第二装载部220之后返回到位于所述两侧的第二装载部220之间的中间的等待位置p0。

所述第二滤盒移送模块500还可包括第二升降部高度调节部560，所述第二升降部高度调节部560用于按照所述第二滤盒10-2的高度规格调节所述第二升降部540的高低。所述第二升降部高度调节部560配置在第二升降移送部530和第二升降部540之间。如图20的(a)部分，在第二滤盒10-2的高度低的规格的情况下，将第二升降部540紧固于第二升降部高度调节部560的下部；如图20的(b)部分，在第二滤盒10-2’的高度低的规格的情况下，将第二升降部540紧固于第二升降部高度调节部560的上部，进而可将第二升降部540调节在适当的高度。

参照图21至图24，对构成滤盒更换工具的第一滤盒移送模块600进行说明。

所述第一滤盒移送模块600为在两侧配置成一对以将装载于所述第一装载部210的第一滤盒10-1移送到所述过滤器组件安装部300的结构，包括：第一升降移送部610，以上下方向升降第一升降部620；进退移送部630，配置在所述第一升降部620的下部进行前进后退；及第一夹持器640，配置在所述进退移送部630，以夹持所述第一滤盒10-1。

所述进退移送部630可包括：第一进退移送部630-1，结合于所述第一升降部620的下部，以沿着所述第一升降部620前进后退；第二进退移送部630-2，结合于所述第一进退移送部630-1的下部，以沿着所述第一进退移送部630-1前进后退，并且在下部结合所述第一夹持器640。

如上所述，若如同第一进退移送部630-1和第二进退移送部630-2将进退移送部630配置成两级，则在将第一进退移送部630-1移送至第一升降部620的一侧端部的状态下将第二进退移送部630-2移送到第一进退移送部630-1的一侧端部，因此即使不加大进退移送部630的前后方向的宽度，也可将第一夹持器640在如图21位于第一装载部210上侧的前进位置和如图22位于过滤器组件安装部300上侧的后退位置之间进行前进后退移送。

所述第一滤盒移送模块600还可包括第一升降部高度调节部650，所述第一升降部高度调节部650用于按照所述第一滤盒10-1的高度规格调节所述第一升降部620的高低。所述第一升降部高度调节部650配置在第一升降移送部610和第一升降部620之间。如图24的(a)部分，在第一滤盒10-1的高度低的规格的情况下，将第一升降部620紧固于第一升降部高度调节部650的下部；如图24的(b)部分，在第一滤盒10-1’的高度低的规格的情况下，将第一升降部620紧固于第一升降部高度调节部650的上部，进而可将第一升降部620调节在适当的高度。

以下，参照图25至图41、图6，对本发明的化学品过滤器更换方法进行说明。

如图25，在正常供应化学品的状态下要更换化学品过滤器的情况下，如图26，工作人员输入作为新滤盒的第一滤盒10-1的条形码、qr码或者rfid等的信息输入介质来确认产品信息，之后去除包装，之后将第一滤盒10-1装载于第一装载部210。然后，开启配置在过滤器更换装置的过滤器更换开关(未示出)，如此滤盒更换工具400、500、600按照已设定的动作流程自动进行过滤器更换工作。

在该情况下，先于所述滤盒更换工具400、500、600的动作，执行化学品的旁路供应，对于作为已位于过滤器组件安装部300的更换对象滤盒的第二滤盒10-2停止供应化学品，并对第二滤盒10-2执行清洗及干燥工艺。

即，打开第十阀门v10旁路供应化学品，以只向位于另一侧的过滤器组件2-2供应化学品，并关闭配置在更换对象过滤器组件2-1两侧的第一阀门v1和第二阀门v2，停止向所述过滤器组件2-1供应化学品。然后，打开第三阀门v3和第四阀门v4排放残留于过滤器组件2-1内部的化学品，同时打开第五至第七阀门v5、v6、v7向过滤器组件2-1内部供应干燥空气。

然后，在将干燥空气供应已设定的时间之后关闭第七阀门v7来停止供应干燥空气，并保持打开第三至第六阀门v3、v4、v5、v6的状态，同时打开第九阀门v9将洗涤水供应于过滤器组件2-1内，进而排放残留的化学品和洗涤水。此时，适当地开关第三及第阀门v3、v4，用洗涤水充分清洗过滤器组件2-1内部。

在将洗涤水供应已设定的时间之后停止供应洗涤水，重新将如上所述的干燥空气向过滤器组件2-1内供应已设定的时间。

然后，保持打开第三阀门v3、第四阀门v4及第五阀门v5状态的同时关闭第六至第九阀门v6、v7、v8、v9来停止供应干燥空气和洗涤水，之后通过与外气连通执行自然排放，经过已设定的时间之后将第一至第九阀门v1至v9全部关闭，通过压力传感器p确认过滤器组件2-1内部的压力是否充分消除，之后解除夹具锁定工具的锁定，之后解除头夹具310的夹紧状态。

然后，如图27，过滤器外壳装卸模块400的外壳移送部420上升移动，从过滤器组件2分离过滤器外壳20。

之后，如图28，第二滤盒移送模块500的旋转部520通过旋转驱动部510的单向旋转驱动，从等待位置p0旋转到过滤器组件安装部300上的第一位置p1-1，如图29，第二滤盒移送模块500的第二升降部540下降移动，由第二夹持器550夹持第二滤盒10-2的上部。

然后，如图30，第二滤盒移送模块500的第二升降部540上升移动，将第二滤盒10-2移动到过滤器组件安装部300上侧，如图31，之后第二滤盒移送模块500的旋转部520通过旋转驱动部510的反向旋转驱动从第一位置p1-1旋转到第二装载部220上的第二位置p2-1。

然后，如图32，第二滤盒移送模块500的第二升降部540下降移动将第二滤盒10-2安装在第二装载部220，如图33，第二滤盒移送模块500的第二升降部540上升移动，如图34，之后第二滤盒移送模块500的旋转部520通过旋转驱动部510的反向旋转驱动从第二位置p2-1旋转到等待位置p0后进行等待。

然后，如图34，与此同时第一滤盒移送模块600的第一升降部620在第一装载部210的前进位置下降移动，由第一夹持器640夹持第一滤盒10-1的上部，如图35，第一滤盒移送模块600的第一升降部620上升移动，将第一滤盒10-1移动到第一装载部210上侧。

然后，如图36，第一滤盒移送模块600的进退移送部630后退移动，将第一滤盒10-1移动到过滤器组件安装部300上的后退位置，如图37，之后第一滤盒移送模块600的第一升降部620在后退位置下降移动将第一滤盒10-1安装在过滤器组件安装部300。

然后，如图38，第一滤盒移送模块600的第一升降部620在后退位置上升移动，如图39，之后第一滤盒移送模块600的进退移送部630移动到前进位置来进行等待。

然后，如图40，过滤器外壳装卸模块400的外壳移送部420下降移动，进而过滤器外壳20结合于过滤器组件2，并且夹紧及锁定头夹具310。

若完成上述步骤，则执行用于将化学品正常供应于在过滤器组件安装部300新更换的第一滤盒10-1的先行工艺。

首先，打开第五、第六及第八阀门v5、v6、v8将干燥空气供应于过滤器组件2内已设定的时间，之后关闭第五、第六及第八阀门v5、v6、v8，在该状态下通过压力传感器p将过滤器组件2内部的压力测量已设定的时间，以确认是否有压力损失。

在存在压力损失的情况下，确认过滤器组件2的结合状态，实施所需的维护工作；在没有压力损失的情况下，打开第五阀门v5、第十一阀门v11及第十二阀门v12以已设定的时间将少量的化学品供应到过滤器组件2内部，清除作为过滤器的药品排放部空间的第三连接部33和第三阀门v3之间的空间和第二连接部32和第二阀门v2之间的空气，之后关闭所述第五阀门v5、第十一阀门v11及第十二阀门v12。

然后，在打开第五阀门v5使共用通风管线与外气连通的状态下打开第一阀门v1，将化学品正常供应已设定的时间，之后关闭第一阀门v1，打开第二阀门v2，反复实施清除泡沫(bubble)的动作2至4次。若完成泡沫清除工作，则打开第一阀门v1和第二阀门v2，关闭第五阀门v5和第十阀门v10，将化学品正常供应到两侧的过滤器组件2-1、2-2。

在清除所述泡沫的步骤之后，执行清洗化学品过滤器更换装置1的排管及底部的步骤。在关闭第五阀门v5的状态下打开第六至第七阀门v6、v7，将干燥空气供应于共用排气管线l8，排放停滞在排管的化学品，之后打开第十三阀门v13将洗涤水供应于化学品过滤器更换装置1的底部，执行底部清洗。

若完成上部步骤，则如图41，工作人员回收并移除装载于第二装载部220的第二滤盒10-2，进而完成化学品过滤器的更换工作。

上述的实施例举例说明了分开构成第一装载部210和第二装载部220，并且分开构成第一滤盒移送模块600和第二滤盒移送模块500，为了缩小前/后空间，在两个过滤器组件2：2-1、2-2共用第二滤盒移送模块500的情况。然而，本发明可如下变形实施。

参照图42，本发明的第一变形实施例为分开构成第一装载部210和第二装载部220，在前/后空间充分但左/右空间不足的情况或者只构成有一个过滤器组件的情况下，分别分开构成第一滤盒移送模块600-1和第二滤盒移送模块500-1，而且所述第一滤盒移送模块600-1和第二滤盒移送模块500-1与上述的实施例中的第一滤盒移送模块600相同可前进后退及升降地构成。

举另一实施例，在左/右空间充分但前/后空间不足的情况下，也可将所述图42的结构以顺时针方向旋转90度来设置。

参照图43，本发明的第二变形实施例如下：装载待使用于过滤化学品的第一滤盒10-1和已使用于过滤化学品的第二滤盒10-2的装载部200和过滤器组件安装部300在两侧分别配置成一对；并且在所述装载部200和过滤器组件安装部300之间配置有移送过滤器组件2的滤盒移送模块600-2。与上述的实施例中的第二滤盒移送模块500相同，所述滤盒移送模块600-2双向旋转及升降，以在两个过滤器组件共用该滤盒移送模块600-2。

参照图44，本发明的第三变形实施例如下：装载待使用于过滤化学品的第一滤盒10-1和已使用于过滤化学品的第二滤盒10-2的装载部200和过滤器组件安装部300在两侧分别配置成一对；并且在所述装载部200和过滤器组件安装部300之间配置有移送过滤器组件的滤盒移送模块600-3。所述滤盒移送模块600-3包括升降移送部610-3、第一直线移送部620-3及第二直线移送部630-3。

在所述升降移送部610-3的下部安装用于夹持滤盒的夹持器(未示出)，在图44中配置成能够以地面方向升降。所述第一直线移送部620-3配置成在装载部200和过滤器组件安装部300之间以前后方向移送所述升降移送部610-3。所述第二直线移送部630-3配置成在两侧配置成一对的装载部200和过滤器组件安装部300之间以左右方向移送所述升降移送部610-3和第一直线移送部620-3。

另一方面，本发明的其他变形实施例为，第一装载部210和第二装载部220构成一体，在空间非常不足的情况下，若过滤器组件2只有一个，则上述的第一滤盒移送模块600形态也可只构成有一个，若过滤器组件2：2-1、2-2有两个，则上述的第二滤盒移送模块500形态也可只构成有一个。在该情况下，能够以首先移出第二滤盒10-2之后移入第一滤盒10-1的方式构成。

另外，在本说明书中举例说明了所述第一滤盒移送模块600的进退移送部630构成为第一及第二进退移送部630-1、630-2的两级结构的情况，但是所述进退移送部630也可构成为一级而被前进后退驱动。

如上所述，本发明不限于上述的实施例，而是在不超出权利要求范围请求保护的本发明的技术思想的情况下在该发明所属技术领域中具有常规知识的人可实施显而易见的变形实施，而这种变形实施包括在本发明的范围内。