喷胶机喷头防堵盖的制作方法

本实用新型涉及一种防堵盖，尤其是一种喷胶机喷头防堵盖，属于喷胶机的技术领域。

背景技术：

在mems领域，晶圆喷胶机是一种常用的设备，通过二元喷头将液体打散成微米级小雾滴，然后对晶圆进行喷。二元喷头内部供液是通过毛细管（孔径100微米左右）完成，当晶圆喷胶机停用过程中（如夜间、周末），毛细管内部的液体容易凝固堵塞毛细管，由于毛细管内部孔径尺寸非常小，被堵塞后很难疏通，只能报废处理。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种喷胶机喷头防堵盖，其结构紧凑，能有效防止喷胶机喷头的堵塞，使用方便，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述喷胶机喷头防堵盖，包括能套在二元喷头上的密封盖，在所述密封盖内设置用于盛放丙酮容易的储液槽，在储液槽槽口设置与二元喷头适配的密封面。

在所述密封盖上还设置定位侧壁，所述定位侧壁在密封盖上呈竖直分布，二元喷头的头端伸入储液槽内时，定位侧壁贴合在二元喷头上。

所述密封面呈喇叭状。

所述密封盖与定位侧壁采用pp材料一体加工成型。

本实用新型的优点：储液槽内部可以盛有少量丙酮液体，密封盖套在二元喷头的头端，密封面与二元喷头外表面精密贴合，防止储液槽内部丙酮挥发过快，同时定位侧壁与二元喷头外表面紧配，可防止密封盖与二元喷头间脱离。在晶圆喷胶机停用时，在储液槽内放入丙酮，丙酮挥发产生的丙酮蒸汽会时刻保持毛细管内部液体湿润，从而防止毛细管堵塞，即能防止二元喷头的堵塞，使用方便，安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型的示意图。

图2为本实用新型与二元喷头配合使用的立体图。

图3为本实用新型与二元喷头配合使用的剖视图。

附图标记说明：1-密封盖、2-定位侧壁、3-储液槽、4-密封面、5-槽口以及6-二元喷头。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1、图2和图3所示：为了能有效防止喷胶机喷头的堵塞，本实用新型包括能套在二元喷头6上的密封盖1，在所述密封盖1内设置用于盛放丙酮容易的储液槽3，在储液槽3槽口设置与二元喷头6适配的密封面4。

具体地，喷胶机喷头即为二元喷头6，密封盖1能与二元喷头6适配，密封盖1呈柱状，即密封盖1能套在二元喷头6的头端，当密封盖1套在二元喷头6上时，二元喷头6的头端伸入储液槽3内，通过密封面4能密封二元喷头6与储液槽3槽口5的结合部。

进一步地，在所述密封盖1上还设置定位侧壁2，所述定位侧壁2在密封盖1上呈竖直分布，二元喷头6的头端伸入储液槽3内时，定位侧壁2贴合在二元喷头6上。

本实用新型实施例中，定位侧壁2在密封盖1上可以呈对称分布，或者定位侧壁2呈筒状的形式，密封盖1套在二元喷头6上时，通过定位侧壁2能与二元喷头6的外壁贴合，定位侧壁2的长度方向与密封盖1的长度方向相一致。二元喷头6的头端呈圆锥状，为了能与二元喷头6适配，所述密封面4呈喇叭状，即密封面4的形状与二元喷头6的形状适配。具体实施时，所述密封盖1与定位侧壁2采用pp（聚丙烯）材料一体加工成型。

本实用新型实施例中，储液槽3内部可以盛有少量丙酮液体，密封盖1套在二元喷头6的头端，密封面4与二元喷头6外表面精密贴合，防止储液槽3内部丙酮挥发过快，同时定位侧壁2与二元喷头6外表面紧配，可防止密封盖1与二元喷头6间脱离。

在晶圆喷胶机停用时，在储液槽3内放入丙酮，丙酮挥发产生的丙酮蒸汽会时刻保持毛细管内部液体湿润，从而防止毛细管堵塞，即能防止二元喷头6的堵塞。