一种供气设备的制作方法

本实用新型涉及供气装置技术领域，尤其是一种供气设备。

背景技术：

三甲基铟广泛应用于生长铟镓磷、铟镓砷氮、铟镓砷等化合物半导体薄膜材料，是金属有机化学气相沉积技术、化学束外延过程中生长光电子材料的最重要、也是目前用量最大的原料。授权公告号为cn207262040u的中国专利文件公开了一种新型化工设备供气装置，该专利文件中的新型化工设备供气装置，包括储气罐，所述储气罐上设有两个出气端，且储气罐的两端出气端分别接有常压送气管和增压送气管，常压送气管和增压送气管的另一端分别接在三通气阀的两个进气口上，且常压送气管和增压送气管上均安装有管道气阀，增压送气管上还安装有增压气泵，本实用新型采用双管道送气，整体可以降低对增压气泵的冲击，利用泄漏中转储罐在缓冲气罐泄漏时进行转存，这样可以有效的降低原料气体的泄漏量，此时可以避免有毒气体对整个厂区的威胁，因此相对于传统的供气设备来说，本技术方案的安全性更高，避免传统加热易造成局部泄漏的情况出现，同时整体泄漏量更少，整体更加安全。但是，三甲基铟在室温下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶，且遇水发生剧烈反应，不便于运输和参与反应。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种供气设备，用于解决现有供气设备原料更替、运输、参与反应不便的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种供气设备，包括通过管道依次连接的惰性气源、原料仓、反应器；所述原料仓内设有多个原料存储架；所述原料存储架包括架体、放置原料罐的置物板；所述置物板设有与原料罐接触的加热板；所述架体上设有多个竖直的第一滑轨；所述第一滑轨上设有可上下滑动的紧固件；所述置物板上设有支撑原料罐的护板；所述护板上设有卡箍装置；所述卡箍装置包括固定在所述护板两侧的固定端、可伸缩的设置在两个所述固定端之间的卡箍带；所述紧固件包括滑件、压紧件；所述压紧件与所述滑件螺栓配合。

本实用新型提供的供气设备.还具有以下技术特征：

进一步地，所述惰性气源通过管道依次连接干燥装置、所述原料仓；所诉干燥装置包括至少两个筒体；所述筒体内设有干燥剂；所述筒体前后管道上分别设有控制阀门。

进一步地，所述原料存储架底部设有脚轮。

进一步地，所述架体顶部铰接有可挂固所述紧固件的挂钩。

进一步地，所述架体内腔底面上设有第二滑轨；所述置物板可与所述第二滑轨配合进行滑动。

进一步地，所述压紧件上设有挤压原料罐外壁的抵触件。

进一步地，所述反应器通过管道依次连接原料回收仓、废气储存仓；所述原料回收仓内由上向下依次设有降低管道内温度的冷凝层、回收冷凝成固态物质的回收层。

本实用新型具有如下有益效果：本实用新型结构设计合理，将原料罐置于储存架上，在原料仓内整体排布，既方便原料罐的运输，又便于原料罐之间的管道连接，可根据需求选取连接的原料罐数量，且在原料用尽后进行快速替换；设置于原料罐接触的加热板可以达到快速的升温作用，减少原料罐内原料气化时间，加快反应进程；有效的减少了原料的反应时间，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的原料存储架结构示意图；

图中：1-惰性气源，2-原料存储架，21-架体，22-第一滑轨，221-紧固件，222-滑件，2221-压紧件，2222-挂钩，23-置物板，231-护板，232-卡箍装置，2321-卡箍带，2322-固定端，24-第二滑轨，3-反应器，4-干燥装置，41-筒体，5-原料仓，6-原料回收仓，7-废气储存仓。

具体实施方式

下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

如图1、图2所示的本实用新型的供气设备的一个实施例中，包括通过管道依次连接的惰性气源1、原料仓5、反应器3；所述原料仓5内设有多个原料存储架2；所述原料存储架2包括架体21、放置原料罐的置物板23；所述置物板23设有与原料罐接触的加热板；所述架体21上设有多个竖直的第一滑轨22；所述第一滑轨22上设有可上下滑动的紧固件221；所述置物板23上设有支撑原料罐的护板231；所述护板231上设有卡箍装置232；所述卡箍装置232包括固定在所述护板231两侧的固定端2322、可伸缩的设置在两个所述固定端2322之间的卡箍带2321；所述紧固件221包括滑件222、压紧件2221；所述压紧件2221与所述滑件222螺栓配合。设置原料仓设置多个原料存储架使原料单元化，便于小单元的进行原料的聚集和替换；且设置竖向的滑轨和紧固件配合对原料罐进行定位，对原料的位置进行了相对固定，可以随时以原料储存架为单元进行替换和移动，保证设备的有效性；架体内设置加热板的设计，将原料气化替换为原料罐单元，增大了固体原料加热面，提高了气化效率，进而提供反应效率，减少反应时间。

具体而言，所述惰性气源1通过管道依次连接干燥装置4、所述原料仓5；所诉干燥装置4包括至少两个筒体41；所述筒体41内设有干燥剂；所述筒体41前后管道上分别设有控制阀门。设置干燥装置进一步保证惰性气体的干燥度，保证原料的安全性，不会与惰性气体内的水汽发生反应，造成危险。且设置双筒干燥可保证设备正常运行的同时，进行干燥剂的更换。

具体而言，所述原料存储架2底部设有脚轮。设置脚轮方便移动原料存储架，且可以快速的设置多个原料罐进行并联和替换，保证反应的可持续性。

具体而言，所述架体21顶部铰接有可挂固所述紧固件221的挂钩2222。挂钩的设置可以将紧固件临时固定于架体上部，避免对原料罐的更换造成阻碍。

具体而言，所述架体21内腔底面上设有第二滑轨24；所述置物板23可与所述第二滑轨24配合进行滑动。可滑动的置物板设计，便于置物板滑出架体，便于原料罐的装卸。

具体而言，所述压紧件2221上设有挤压原料罐外壁的抵触件。压紧件通过设置抵触件增大了接触面积，降低了集中挤压损坏设备。

具体而言，所述反应器3通过管道依次连接原料回收仓6、废气储存仓7；所述原料回收仓6内由上向下依次设有降低管道内温度的冷凝层、回收冷凝成固态物质的回收层。根据固体原料和其他原料的熔点存在较大差异，在反应设备后加设冷凝回收仓，有效的分离了没有及时参与反应的原料和废气。

工作原理：使用者将惰性气源1、干燥装置4、原料仓5、原料回收仓6、废气储存仓7通过管道依次连接；将原料存储架2上的置物板23拉出架体21外部，且将垂直于第二滑轨24的紧固件221移动至架体顶部，并用挂钩2222临时固定，将原料罐放置在置物板23上的加热板且靠紧护板231，调节固定端2322和卡箍带2321使原料罐固定在护板231上，推动置物板23回到架体21内，上下调节架体21上的紧固件221至合适位置，旋转压紧件2221，使抵触件贴紧原料罐，进一步保证原料罐在架体21内的位置固定；将多个原料存储架2上的原料罐通过管道依次连接成一个气体通路。

打开惰性气源1和原料存储架2上的加热板，惰性气体通过干燥装置4的干燥后，进入原料仓5的通路中，带动加热为气态的原料进入反应器3内进行反应，未来得及反应的气态原料和不参与反应的惰性气体通过管道进入原料回收仓6内，在冷凝层的降温下，气体原料再次恢复为固态颗粒，仍为气态的惰性气体进入废气储存仓7内进行回收。

可移动的原料罐小单元加大了加热气化的接触面，减少了原料气化时间，显著的提高了工作效率。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。