一种半导体生产用除尘装置的制作方法

文档序号:24466175发布日期:2021-03-30 19:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体生产用除尘装置,包括第一箱体(1),其特征在于:所述第一箱体(1)的内腔底部右侧焊接有水箱(4),所述水箱(4)的外壁顶部螺丝连接有第一水泵(5),所述第一箱体(1)的内腔顶部右侧焊接有雾化箱(6),所述雾化箱(6)的内腔所述第一箱体(1)的内腔顶部位于雾化箱(6)的左侧螺丝连接有风机(10),所述第一箱体(1)的内腔底部左侧螺丝连接有吸尘器(7),所述吸尘器(7)和水箱(4)之间螺丝连接有电机(8),所述第一箱体(1)的外壁右侧顶部设有连接管(14),所述第一箱体(1)的外壁顶部右侧焊接有第二箱体(9),所述第二箱体(9)的右侧螺丝连接有第二水泵(16),所述第一箱体(1)的外壁底部设有毛刷(19)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用除尘装置,其特征在于:所述第一箱体(1)的外壁底部左侧和右侧均螺丝连接有万向轮(2),所述第一箱体(1)的外壁左侧顶部焊接有手推把(3)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用除尘装置,其特征在于:所述第一水泵(5)的进水端连通有第一水管(11),所述第一水管(11)的底部一侧贯穿于水箱(4)的外壁顶部并延伸至水箱(4)的内腔底部,所述第一水泵(5)的出水端连通有第二水管(12),所述第二水管(12)的顶部一侧向上延伸与雾化箱(6)的左外壁相连通,所述风机(10)的出风端连通有风管(13),所述风管(13)的右侧与雾化箱(6)的左外壁相连通。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用除尘装置,其特征在于:所述电机(8)的输出轴贯穿于第一箱体(1)的外壁底部并与毛刷(19)的外壁相焊接,所述第一箱体(1)的外壁底部左侧开设有吸尘口(20),所述吸尘器(7)的吸气口与吸尘口(20)相连通。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用除尘装置,其特征在于:所述第二箱体(9)的内腔设有空气清新液(24),所述第二水泵(16)的进水端连通有第四水管(18),所述第四水管(18)的左侧与第二箱体(9)的右外壁相连通,所述第二水泵(16)的出水端连通有第三水管(17),所述第二箱体(9)的左侧壁顶部设有第二注水口(22)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用除尘装置,其特征在于:所述雾化箱(6)的右侧壁连通有连接管(14),所述连接管(14)的右侧与雾化喷洒口(15)的左侧相连通,所述连接管(14)的内腔顶部设有喷枪(23),所述喷枪(23)的进水端贯穿于连接管(14)的外壁顶部,所述第二水泵(16)的底部一侧贯穿于第一箱体(1)的外壁顶部右侧并与喷枪(23)的进水端相连通,所述第一箱体(1)的右外壁设有第一注水口(21),所述第一注水口(21)的左侧贯穿于第一箱体(1)的右外壁并与水箱(4)的右外壁相连通。


技术总结
本实用新型公开了一种半导体生产用除尘装置,包括第一箱体,所述第一箱体的内腔底部右侧焊接有水箱,所述水箱的外壁顶部螺丝连接有第一水泵,所述第一箱体的内腔顶部右侧焊接有雾化箱,所述雾化箱的内腔所述第一箱体的内腔顶部位于雾化箱的左侧螺丝连接有风机,所述第一箱体的内腔底部左侧螺丝连接有吸尘器,所述吸尘器和水箱之间螺丝连接有电机,所述第一箱体的外壁顶部右侧焊接有第二箱体,所述第二箱体的右侧螺丝连接有第二水泵,所述第一箱体的外壁底部设有毛刷。本实用新型能够有效的增强水雾的喷射距离,增大水雾除尘的覆盖面积,能够将空气清新液有效的混合进水雾中,对半导体生产车间的空气进行净化以及能够对车间的地面进行清理。

技术研发人员:龙天明
受保护的技术使用者:耐而达精密工程(苏州)有限公司
技术研发日:2020.06.03
技术公布日:2021.03.30
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