一种半导体生产用除尘装置的制作方法

文档序号:24466175发布日期:2021-03-30 19:59阅读:139来源:国知局
一种半导体生产用除尘装置的制作方法

本实用新型涉及半导体生产与加工技术领域,具体为一种半导体生产用除尘装置。



背景技术:

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。

现有的半导体生产用除尘装置功能性单一,除尘的距离短,除尘的覆盖面积小,以及不具有对空气进行净化的功能。为此,提出一种半导体生产用除尘装置。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种半导体生产用除尘装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体生产用除尘装置,包括第一箱体,所述第一箱体的内腔底部右侧焊接有水箱,所述水箱的外壁顶部螺丝连接有第一水泵,所述第一箱体的内腔顶部右侧焊接有雾化箱,所述雾化箱的内腔所述第一箱体的内腔顶部位于雾化箱的左侧螺丝连接有风机,所述第一箱体的内腔底部左侧螺丝连接有吸尘器,所述吸尘器和水箱之间螺丝连接有电机,所述第一箱体的外壁右侧顶部设有连接管,所述第一箱体的外壁顶部右侧焊接有第二箱体,所述第二箱体的右侧螺丝连接有第二水泵,所述第一箱体的外壁底部设有毛刷。

作为本技术方案的进一步优选的:所述第一箱体的外壁底部左侧和右侧均螺丝连接有万向轮,所述第一箱体的外壁左侧顶部焊接有手推把。

作为本技术方案的进一步优选的:所述第一水泵的进水端连通有第一水管,所述第一水管的底部一侧贯穿于水箱的外壁顶部并延伸至水箱的内腔底部,所述第一水泵的出水端连通有第二水管,所述第二水管的顶部一侧向上延伸与雾化箱的左外壁相连通,所述风机的出风端连通有风管,所述风管的右侧与雾化箱的左外壁相连通。

作为本技术方案的进一步优选的:所述电机的输出轴贯穿于第一箱体的外壁底部并与毛刷的外壁相焊接,所述第一箱体的外壁底部左侧开设有吸尘口,所述吸尘器的吸气口与吸尘口相连通。

作为本技术方案的进一步优选的:所述第二箱体的内腔设有空气清新液,所述第二水泵的进水端连通有第四水管,所述第四水管的左侧与第二箱体的右外壁相连通,所述第二水泵的出水端连通有第三水管,所述第二箱体的左侧壁顶部设有第二注水口。

作为本技术方案的进一步优选的:所述雾化箱的右侧壁连通有连接管,所述连接管的右侧与雾化喷洒口的左侧相连通,所述连接管的内腔顶部设有喷枪,所述喷枪的进水端贯穿于连接管的外壁顶部,所述第二水泵的底部一侧贯穿于第一箱体的外壁顶部右侧并与喷枪的进水端相连通,所述第一箱体的右外壁设有第一注水口,所述第一注水口的左侧贯穿于第一箱体的右外壁并与水箱的右外壁相连通。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型通过水箱、第一水泵、风机、雾化箱和雾化喷洒口的设计,能够有效的增强水雾的喷射距离,增大水雾除尘的覆盖面积,通过第二箱体、空气清新液、第二水泵和喷枪的设计,能够将空气清新液有效的混合进水雾中,对半导体生产车间的空气进行净化,通过电机、毛刷和吸尘器的设计,能够对车间的地面进行清理。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的主视结构示意图;

图3为本实用新型的第二水泵和喷枪相组合的结构示意图。

图中:1、第一箱体;2、万向轮;3、手推把;4、水箱;5、第一水泵;6、雾化箱;7、吸尘器;8、电机;9、第二箱体;10、风机;11、第一水管;12、第二水管;13、风管;14、连接管;15、雾化喷洒口;16、第二水泵;17、第三水管;18、第四水管;19、毛刷;20、吸尘口;21、第一注水口;22、第二注水口;23、喷枪;24、空气清新液。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:一种半导体生产用除尘装置,包括第一箱体1,第一箱体1的内腔底部右侧焊接有水箱4,水箱4的外壁顶部螺丝连接有第一水泵5,第一箱体1的内腔顶部右侧焊接有雾化箱6,雾化箱6的内腔第一箱体1的内腔顶部位于雾化箱6的左侧螺丝连接有风机10,第一箱体1的内腔底部左侧螺丝连接有吸尘器7,吸尘器7和水箱4之间螺丝连接有电机8,第一箱体1的外壁右侧顶部设有连接管14,第一箱体1的外壁顶部右侧焊接有第二箱体9,第二箱体9的右侧螺丝连接有第二水泵16,第一箱体1的外壁底部设有毛刷19。

本实施例中,具体的:第一箱体1的外壁底部左侧和右侧均螺丝连接有万向轮2,第一箱体1的外壁左侧顶部焊接有手推把3,通过推动手推把3,在万向轮2的滚动下,可以移动式除尘、降尘和净化空气。

本实施例中,具体的:第一水泵5的进水端连通有第一水管11,第一水管11的底部一侧贯穿于水箱4的外壁顶部并延伸至水箱4的内腔底部,第一水泵5的出水端连通有第二水管12,第二水管12的顶部一侧向上延伸与雾化箱6的左外壁相连通,风机10的出风端连通有风管13,风管13的右侧与雾化箱6的左外壁相连通,启动第一水泵5,第一水泵5通过第一水管11从水箱4的内腔抽水,抽的水通过第二水管12输向雾化箱6的内腔,启动风机10,风机10吹出的风通过风管13流向雾化箱6的内腔,当风和水充斥在雾化箱6的内腔时,雾化箱6的内腔产生了一定的压力,通过连接管14输送向雾化喷洒口15。

本实施例中,具体的:电机8的输出轴贯穿于第一箱体1的外壁底部并与毛刷19的外壁相焊接,第一箱体1的外壁底部左侧开设有吸尘口20,吸尘器7的吸气口与吸尘口20相连通,电机8的转动使毛刷19进行转动,毛刷19的转动对地面进行了清理,启动吸尘器7,吸尘器7通过吸尘口20将清理的浮尘进行了吸收。

本实施例中,具体的:第二箱体9的内腔设有空气清新液24,第二水泵16的进水端连通有第四水管18,第四水管18的左侧与第二箱体9的右外壁相连通,第二水泵16的出水端连通有第三水管17,第二箱体9的左侧壁顶部设有第二注水口22,第二注水口22可以向第二箱体9内注水。

本实施例中,具体的:雾化箱6的右侧壁连通有连接管14,连接管14的右侧与雾化喷洒口15的左侧相连通,连接管14的内腔顶部设有喷枪23,喷枪23的进水端贯穿于连接管14的外壁顶部,第二水泵16的底部一侧贯穿于第一箱体1的外壁顶部右侧并与喷枪23的进水端相连通,第一箱体1的右外壁设有第一注水口21,第一注水口21的左侧贯穿于第一箱体1的右外壁并与水箱4的右外壁相连通,启动第二水泵16,第二水泵16通过第四水管18从第二箱体9的内腔抽取空气清新液24,空气清新液24通过第三水管17输向喷枪23,喷枪23将空气清新液24向外喷出后,和连接管14内的水和风相融合,通过雾化喷洒口15的雾化后,向外喷出,由于风机10的作用,雾化喷射的距离远,覆盖面积大,同时空气清新液24的作用也可以对空气进行净化。

工作原理或者结构原理,使用时,本实用新型应用于半导体技术领域,具体的应用于半导体的生产与加工,为一种半导体生产用的除尘装置,在半导体生产与加工过程中,会产生大量的粉尘和颗粒物,漂浮在空气中,当工人吸进身体后会对工人的身体造成伤害,本实用新型通过推动手推把3,在万向轮2的滚动下,可以移动式除尘、降尘和净化空气,启动第一水泵5,第一水泵5通过第一水管11从水箱4的内腔抽水,抽的水通过第二水管12输向雾化箱6的内腔,启动风机10,风机10吹出的风通过风管13流向雾化箱6的内腔,当风和水充斥在雾化箱6的内腔时,雾化箱6的内腔产生了一定的压力,通过连接管14输送向雾化喷洒口15,此时启动第二水泵16,第二水泵16通过第四水管18从第二箱体9的内腔抽取空气清新液24,空气清新液24通过第三水管17输向喷枪23,喷枪23将空气清新液24向外喷出后,和连接管14内的水和风相融合,通过雾化喷洒口15的雾化后,向外喷出,由于风机10的作用,雾化喷射的距离远,覆盖面积大,同时空气清新液24的作用也可以对空气进行净化,电机8的转动使毛刷19进行转动,毛刷19的转动对地面进行了清理,启动吸尘器7,吸尘器7通过吸尘口20将清理的浮尘进行了吸收,本实用新型通过以上的设置,能够有效的对半导体生产车间进行粉尘、颗粒物和地面的清理,以及具有对车间的空气进行净化的作用。

第一水泵5的型号为:50kb-2g2,吸尘器7的型号为:dl-1020,风机10的型号为:xg7530-002,第二水泵16的型号为:50kb-2g2。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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