专利名称：粉尘与气态污染全过滤风机组的制作方法
技术领域：
本实用新型提供一种全过滤风机组，特别是指一种粉尘与气态污染的全过滤风机组。
图1显示习用的一个过滤风机组1，用于需超洁净空调的制程如半导体，目前过滤及温控的洁净空气从过滤风机组上方的进风口2流入，经一送风机3、流向控制板4及一超细高效率过滤器5后，可将空气中的粉尘浓度控制在每立方公尺35尘粒(以0.5μm为基准)以下，并以近垂直方向流出，提供制程所需的超洁净空气。新一代的半导体制程除了粉尘浓度外，尚需控制气态污染如氨气及酸性气体至ppb或ppt的超微量，如美国(SEMATECH的95052812-TR)的建议，对于0.25μm以下的某部分制程，酸性气体的浓度应控制在5ppt。
因应此需求，已有洁净空调用化学过滤设备(chemical filtration)，先将空气中的气态污染过滤。一般化学过滤的设计如图2所示，将化学过滤材装在一箱体6，空气流通的过程中，气态污染物附着于化学过滤材而被去除。常用的化学过滤设计如图2所示，可用网架7将化学过滤材装置于内，而多个网架组成多个三角形的布置，增加空气流过的面积以增进效率。化学过滤材8的基材为一种吸附剂，具有去除空气中挥发性气体(VOC)的功能，再利用涂布于吸附剂上的化学(如KMnO4等)中和酸或碱气体，处理酸性或碱性气体需涂布不同的化学。
化学过滤如应用于既设洁净空调系统，因其为一箱体，需作许多空间使用或布置上的修改，会致使因空间不足或布置问题而不易使用或增加很大的应用成本。并且，其设计方式为集中处理，较难将有或无气态污染的送风区分，增加设置与应用的成本。
本实用新型的目的在于，提供一种粉尘与气态污染全过滤风机组，其可将气态污染过滤的功能设计于过滤风机组，使之成为一体的设备，如此达到以下效果1.此“粉尘与气态污染全过滤风机组”的安装方法同原过滤风机组，不需改变安装设计与空间布置即可用于原有的洁净空调系统。
2.以一体的设计降低设备成本。
3.以一体的设计，节省对空间的需求。
4.将气态污染去除的功能用于需求点，节约化学过滤的设置与操作费用。
本实用新型一种粉尘与气态污染全过滤风机组，其中包括一送风机，安装于一壳体中，在送风机的后部固定有流向控制板；一超细高效率过滤器，安装于送风机的后部；其特征在于，其中还包括有一气态污染过滤器，安装于送风机的前端。
其中该气态污染过滤器的大小至少涵盖进风口的面积。
其中该气态污染过滤器与过滤风机组之间有一密封垫并用螺丝固定。
其中气态污染过滤器为一网架，使化学过滤材可置于网架之中，此网架结构内容纳平行通道式或粒子式的化学过滤材。
为进一步说明本实用新型的结构和特征，以下结合实施例和附图对本实用新型作一详细的描述，其中
图1为习用过滤风机组的结构示意图；图2为习用化学过滤设计的结构图；图3为本实用新型的结构示意图。
请参阅图3所示，本实用新型粉尘与气态污染全过滤风机组，其中包括一送风机30，安装于一壳体26中，在送风机30的后部固定有流向控制板40；一超细高效率过滤器50，安装于送风机30的后部；其特征在于，其中还包括有一气态污染过滤器10，安装于送风机30的前端。
其中该气态污染过滤器10的大小至少涵盖进风口20的面积。
其中该气态污染过滤器10与过滤风机组1之间有一密封垫12并用螺丝固定，如此使化学过滤材易于拆换。
其中气态污染过滤器10为一网架，使化学过滤材13可置于网架之中，此网架结构内容纳平行通道式或粒子式的化学过滤材13，如此洁净空气必需先经过气态污染过滤方流入风机进风口。如图3的12，可用垫片12作气态污染过滤器10与原过滤风机组1的气密设计。
如图3的13，本实用新型利用一双层网架设计，使过滤材可用组合方式安装，使有同厚度的过滤材可组装于网架之中，如此使过滤材的生产规格弹性化，其厚度可为数公分至十数公分，网架与原过滤风机本体应有间隙供空气流入风机的进风口，如此进气的流向不受影响。
本专利的功能说明如下含气态污染的空气流过气态污染过滤器，因过滤器内附有吸附剂，故污染物被吸附于吸附剂之上。酸碱性气体被吸附之后，被吸附材上涂布的化学中和，故有可同时去除VOC及酸或碱性气体的功能。例如，酸气可被KMnO4中和。
过滤器可为用纤维布或纸状的化学过滤材组成的细小平行通道，如细小至1mm或3mm的平行通道，因面积密度大，空气通过时，气态污染极易被吸附于通道的材料上。如用粒子状的过滤材，则可将之置于网架之间，形成一个吸附床，使空气通过吸附床。
本实用新型与现有技术相比具有，结构合理，不另占用空间，成本大为降低。
权利要求1.一种粉尘与气态污染全过滤风机组，其中包括一送风机，安装于一壳体中，在送风机的后部固定有流向控制板；一超细高效率过滤器，安装于送风机的后部；其特征在于，其中还包括有一气态污染过滤器，安装于送风机的前端。
2.根据权利要求1所述的粉尘与气态污染全过滤风机组，其特征在于，其中该气态污染过滤器的大小至少涵盖进风口的面积。
3.根据权利要求1及2所述的粉尘与气态污染全过滤风机组，其特征在于，其中该气态污染过滤器与过滤风机组之间有一密封垫并用螺丝固定。
4.根据权利要求1或2所述的粉尘与气态污染全过滤风机组，其特征在于，其中气态污染过滤器为一网架，使化学过滤材可置于网架之中，此网架结构内容纳平行通道式或粒子式的化学过滤材。
专利摘要一种粉尘与气态污染全过滤风机组,包括一送风机,安装于一壳体中,在送风机的后部固定有流向控制板;一超细高效率过滤器,安装于送风机的后部;还包括有一气态污染过滤器,安装于送风机的前端;本实用新型的安装方法同原过滤风机组,不需改变安装设计与空间布置即可用于原有的洁净空调系统;以一体的设计降低设备成本;以一体的设计节省对空间的需求;将气态污染去除的功能用于需求点,节约化学过滤的设置与操作费用。
文档编号B01D36/00GK2389703SQ9921764
公开日2000年8月2日 申请日期1999年8月5日 优先权日1999年8月5日
发明者郑石治 申请人:华懋科技股份有限公司