的富含气泡的胶状物质通过引导管流入预除泡装置100的螺旋状高分子膜管道130中。
[0075]为了防止富含气泡的胶状物质回流至主除泡装置的第一封闭容器210中，优选地，可以在引导管600上设置单向阀700，该单向阀700只允许流体从以主除泡装置的连通部242朝向预除泡装置100的预进胶管110的单向导通。设置单向阀700还可以防止通入预除泡装置100的胶状物质流入引导管600中。
[0076]优选地，还可以在引导管600上设置流量控制阀800，以控制流经引导管的胶状物质的流速。设置流量控制阀可以避免抽吸力过大而将第一封闭容器210中含气泡较少的胶状物质抽吸至第一封闭容器210的外部。
[0077]为了进一步去除胶状物质里的气泡，优选地，如图8所示，所述除泡系统还可以包括最终除泡装置300，该最终除泡装置300包括第三封闭容器310和超声波发生器320，第三封闭容器310的壁上设置有最终胶入口 311和最终胶出口 312，超声波发生器320设置在第三封闭容器310的壁上，最终胶入口 311与主除泡装置200的主出胶管230相连通，最终胶出口 312将第三封闭容器310的内部与外接连通。
[0078]经过主除泡装置的二次除泡之后，胶状物体中的气泡含量已经较低，气泡含量较低的胶状物质进入最终除泡装置300中之后，超声波发生器320发出的超声波能够经过第三封闭容器310传递至胶状物质，从而将胶状物质中的气泡振碎。经过最终除泡装置300的除泡之后，可以获得几乎没有气泡的胶状物。
[0079]作为本发明的一种优选实施方式，除泡系统还包括第二连接管900，最终胶入口311和最终胶出口 312均设置在第三封闭容器310的顶壁上，第二连接管900将最终入胶口与主出胶管230连通。
[0080]下面介绍利用图8中所示的除泡系统对光刻胶进行除泡的具体方法，如图9中所示，所述除泡方法包括:
[0081]S 1、将含有气泡的光刻胶充入预除泡装置，利用预除泡装置的螺旋状高分子膜管道对光刻胶进行初步气泡消除；
[0082]S2、将初步气泡消除后的光刻胶通入主除泡装置，使得光刻胶中的气泡与光刻胶进一步的分离，并将分离出的几乎不含气泡的光刻胶通入最终除泡装置，将富含气泡的光刻胶重新通入预除泡装置中；
[0083]S3、利用最终除泡装置中的超声波发生器对通入最终除泡装置中的光刻胶进行振动，振碎最终除泡装置的光刻胶中的气泡，最终获得几乎不含气泡的光刻胶。
[0084]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种除泡系统，其特征在于，所述除泡系统包括主除泡装置，所述主除泡装置包括第一封闭容器、主进胶管、主出胶管和集泡件； 所述第一封闭容器的内腔横截面为圆形，所述第一封闭容器用于容纳胶状物质；所述主进胶管贯穿所述第一封闭容器的侧壁，并且与所述第一封闭容器的内腔壁相切，设置在所述第一封闭容器的上部；所述主出胶管贯穿所述第一封闭容器的侧壁，且设置在所述第一封闭容器的下部；所述集泡件包括中空的集泡部和连通部，所述集泡部设置在所述第一封闭容器的内腔的顶部的中央，以收集位于所述第一封闭容器顶部的富含气泡的胶状物质，所述连通部设置在所述第一封闭容器的外部，且所述连通部与所述集泡部的中空部分连通。2.根据权利要求1所述的除泡系统，其特征在于，所述主出胶管与所述第一封闭容器的内腔壁相切。3.根据权利要求2所述的除泡系统，其特征在于，所述主出胶管与所述主进胶管分别位于所述第一封闭容器的径向方向的两侧，且所述主进胶管的凸出方向与所述主出胶管的凸出方向一致。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的除泡系统，其特征在于，所述集泡部包括底盘和设置在所述底盘下表面上的多个集泡叶，所述集泡叶的表面为曲面，所述底盘上形成有通孔，多个所述集泡叶环绕所述通孔设置，且任意相邻两个所述集泡叶的凸出方向一致，所述连通部固定在所述底盘的上表面上，且与所述通孔连通。5.根据权利要求4所述的除泡系统，其特征在于，所述连通部包括上连通管和下连通壳，所述下连通壳的下端固定在所述底盘上并罩住所述通孔，所述下连通壳的上端与所述上连通管相连，且所述下连通壳从下至上横截面逐渐减小。6.根据权利要求1至3中任意一项所述的除泡系统，其特征在于，所述除泡系统还包括预除泡装置，所述预除泡装置包括螺旋状高分子膜管道，所述螺旋状高分子膜管道的入口位于所述螺旋状高分子膜管道的出口上方，所述螺旋状高分子膜管道的出口与所述主进胶管连通，所述螺旋状高分子膜管道的侧壁允许气体透过且不允许胶状物质透过。7.根据权利要求6所述的除泡系统，其特征在于，所述螺旋状高分子膜管道环绕所述第一封闭容器设置。8.根据权利要求7所述的除泡系统，其特征在于，所述主进胶管位于所述螺旋状高分子膜管道的出口上方，所述除泡系统还包括第一连接管，所述第一连接管将所述螺旋状高分子膜管道的出口与所述主进胶管连通。9.根据权利要求6所述的除泡系统，其特征在于，所述螺旋管的横截面为矩形。10.根据权利要求7所述的除泡系统，其特征在于，所述除泡系统还包括第二封闭容器和和预进胶管，所述螺旋状高分子膜管道设置在所述第二封闭容器内，所述预进胶管贯穿所述第二封闭容器的顶壁，并且与所述螺旋状高分子膜管道的入口连通。11.根据权利要求10所述的除泡系统，其特征在于，所述除泡系统还包括抽真空机构，所述抽真空机构用于对所述第二封闭容器抽真空。12.根据权利要求10所述的除泡系统，其特征在于，所述除泡系统还包括引导管，所述引导管将所述连通部与所述预进胶管连通。13.根据权利要求12所述的除泡系统，其特征在于，所述引导管上设置有单向阀，所述单向阀允许流体从所述连通部流向所述预进胶管。14.根据权利要求12所述的除泡装置，其特征在于，所述引导管上设置有流量控制阀。15.根据权利要求10所述的除泡系统，其特征在于，所述除泡系统还包括最终除泡装置，所述最终除泡装置包括第三封闭容器和超声波发生器，所述第三封闭容器的壁上设置有最终胶入口和最终胶出口，所述超声波发生器设置在所述第三封闭容器的壁上，所述最终胶入口与所述主除泡装置的主出胶管相连通，所述最终胶出口将所述第三封闭容器的内部与外接连通。16.根据权利要求15所述的除泡系统，其特征在于，所述除泡系统还包括第二连接管，所述最终胶入口和所述最终胶出口均设置在所述第三封闭容器的顶壁上，所述第二连接管将所述最终入胶口与所述主出胶管连通。
【专利摘要】本发明提供一种除泡系统，包括主除泡装置，主除泡装置包括第一封闭容器、主进胶管、主出胶管和集泡件；第一封闭容器的内腔横截面为圆形，第一封闭容器用于容纳胶状物质；主进胶管贯穿第一封闭容器的侧壁，并且与第一封闭容器的内腔壁相切，设置在第一封闭容器的上部；主出胶管贯穿第一封闭容器的侧壁，且设置在第一封闭容器的下部；集泡件包括中空的集泡部和连通部，集泡部设置在第一封闭容器的内腔的顶部的中央，以收集位于第一封闭容器顶部的富含气泡的胶状物质，连通部设置在第一封闭容器的外部，且连通部与集泡部的中空部分连通。利用除泡系统可以高效地去除胶状物质中的气泡。
【IPC分类】B01D19/00
【公开号】CN105251241
【申请号】CN201510587690
【发明人】向琛, 陈立博, 樊利伟
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 成都京东方光电科技有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年9月15日