1.一种蒸发燃料处理装置，其具有：
蒸发燃料通路，其将吸附罐的供应端口和燃料箱连通；
封闭阀，其由在供油时打开的电磁阀构成，安装于该蒸发燃料通路以使得对该蒸发燃料通路进行开闭；
箱开放通路，其将所述燃料箱和所述吸附罐连通；
控制阀，其安装于该箱开放通路，在用于供油的压力释放时，在所述封闭阀之前先行开阀；
箱压传感器，其对所述燃料箱内的压力进行检测；以及
诊断单元，其从所述封闭阀及所述控制阀关闭且所述燃料箱内的压力为正压的状态起将所述控制阀开阀，根据随后的所述燃料箱内的压力变化而进行该控制阀的诊断。
2.根据权利要求1所述的蒸发燃料处理装置，其中，
所述控制阀的通路面积设定为比所述封闭阀的通路面积小。
3.根据权利要求1或2所述的蒸发燃料处理装置，其中，
所述诊断单元在所述控制阀在用于供油的压力释放时开阀时，进行所述诊断。
4.根据权利要求3所述的蒸发燃料处理装置，其中，
在用于供油的压力释放时，从所述控制阀的开阀起经过规定时间后封闭阀进行开阀，
所述诊断单元在所述规定时间经过之前，根据所述燃料箱(2)内的压力变化而进行所述诊断。
5.根据权利要求1或2所述的蒸发燃料处理装置，其中，
所述封闭阀由常闭型电磁阀构成，除了供油时以外保持关闭状态。
6.根据权利要求1或2所述的蒸发燃料处理装置，还具有：
净化通路，其将所述吸附罐和内燃机的进气通路连通；以及
净化控制阀，其安装于该净化通路，对该净化通路进行开闭，
所述箱开放通路与所述净化通路的比所述净化控制阀靠吸附罐侧的位置连接，连通至所述吸附罐。
7.根据权利要求1或2所述的蒸发燃料处理装置，其中，
所述控制阀在用于供油的压力释放时在所述封闭阀之前先行开阀，随后在所述封闭阀的开阀的同时进行闭阀。
8.根据权利要求1或2所述的蒸发燃料处理装置，其中，
所述控制阀在用于供油的压力释放时在所述封闭阀之前先行开阀，保持打开状态直至供油结束。