MEMS器件及电子设备的制作方法

本发明涉及微机电技术领域，更具体地，涉及一种MEMS器件以及电子设备。

背景技术：

微发光二极管技术是指将小尺寸的LED阵列以高密度集成到衬底上。例如，2013年4月13日授权的美国专利US8426227B1公开了一种形成微发光二极管阵列的方法，该专利在此全部引入作为参考。目前，微发光二极管技术主要用于在静止表面上生成2D图像。

微机电系统或者MEMS是指采用微加工的技术制成的微型机械和机电部件(例如，器件和结构)。MEMS器件可以具有某些机械功能。例如，它可以具有在集成微电子控制下能够移动的部件。另一方面，它能够将测量的机械信号转换为电信号。

在现有技术中，信号通常通过机械部件本身而生产。这种MEMS器件的信号的种类是有限的。

因此，要求提供一种新技术方案以解决现有技术中的至少一个技术问题。

技术实现要素：

本发明的一个目的是提供一种MEMS器件的新技术方案。

根据本发明的第一方面，提供了一种MEMS器件，包括：微发光二极管；以及能移动部件，其中，所述微发光二极管被安装在所述能移动部件上并被配置用于随所述能移动部件一起移动。

可选地或另外地，还包括：至少一个光检测器，其中，所述至少一个光检测器被安装在所述微发光二极管附近并被配置用于感测由微发光二极管所发射的光。

可选地或另外地，所述至少一个光检测器包括第一光检测器和第二光检测器，第一光检测器被安装成面向所述微发光二极管并被配置用于感测所述微发光二极管正面的光，所述第二光检测器被安装在所述微光二极管的侧面方向并被配置用于感测所述微光二极管侧面方向的光。

可选地或另外地，所述能移动部件被配置用于根据如下至少一个因素而移动：所述MEMS器件的加速度、所述MEMS器件的角速度、施加到所述能移动部件上的压力、施加到所述能移动部件上的力和施加到所述能移动部件上的流体流动。

可选地或另外地，所述至少一个光检测器被配置用于感测由所述能移动部件的移动引起的微发光二极管的机械位移并输出反映该机械位移的感测信号。

可选地或另外地，所述能移动部件被配置用于通过施加于其上的电信号或电磁信号而被致动以进行移动，以及所述微发光二极管被配置用于发射由所述能移动部件的移动所调制的光信号。

可选地或另外地，所述调制的光信号被馈入到光纤中。

可选地或另外地，多个所述微光二极管分别被安装到显示面板上的多个所述能移动部件上。

可选地或另外地，所述多个能移动部件被配置用于进行移动以分别与所述显示面板形成角度，从而由所述多个微发光二极管所发射的光形成3D图像。

根据本发明的第二方面，提供了一种电子设备，包括本发明的MEMS器件。

根据本发明的一个实施例，MEMS器件的信号检测可以被简化和/或可以丰富由MEMS器件所产生的信号的内容。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1是根据第一实施例的MEMS器件的一部分的示意图。

图2是根据第二实施例的MEMS器件的一部分的示意图。

图3是根据第三实施例的MEMS器件的一部分的示意图。

图4是图3所示的MEMS器件的能移动部件的一个例子的示意图。

图5示出了本发明实施例的具有MEMS器件的电子设备。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本发明的实施例中，与现有技术不同，微发光二极管被设置在MEMS器件的能移动部件上，以使得反映能移动部件的移动的信号能够容易地被生成和/或被检测到。例如，MEMS器件为MEMS芯片。

将参照附图说明实施例和例子。

图1示出了根据第一实施例的MEMS器件的一部分的示意图。

如图1所示，MEMS器件10包括微发光二极管11以及能移动部件12。微发光二极管11被安装在所述能移动部件12上并被配置用于随所述能移动部件12一起移动。例如，能移动部件12可以是悬臂、梁、板、膜、扭转盘、旋转平台等中的任意一个。

因为微发光二极管11能随能移动部件12的移动而一起移动，故由微发光二极管11发出的光能反映移动部件12的移动。

如图1所示，MEMS器件10还包括至少一个光检测器13a,13b,13c。例如，所述至少一个光检测器13a,13b,13c为光电二极管。所述至少一个光检测器13a,13b,13c被安装在微发光二极管11附近并被配置用于感测由微发光二极管11所发射的光。微发光二极管的机械位移将引起所述至少一个光检测器13a，13b，13c的信号输出。

在一个例子中，至少一个光检测器13a,13b,13c包括第一光检测器13a或者13b和第二光检测器13c，第一光检测器13a或者13b被安装成面向所述微发光二极管11并被配置用于感测所述微发光二极管11正面的光。第二光检测器13c被安装在微光二极管11的侧面方向并被配置用于感测所述微光二极管11侧面方向的光。

例如，能移动部件12被配置用于根据如下因素中的至少一个而移动：所述MEMS器件的加速度、所述MEMS器件的角速度、施加到所述能移动部件上的压力、施加到所述能移动部件上的力和施加到所述能移动部件上的流体流动。能移动部件12的移动将会导致微发光二极管11的机械位移。微发光二极管11发射的光将会随着微发光二极管11的机械位移而发生位移。至少一个光检测器13a,13b,13c被配置用于感测反映该机械位移的感测信号并输出反映该机械位移的感测信号，例如，通过感测由微发光二极管11发射的光的位移。

在这种结构中，MEMS器件能够容易地将这些物理量转换成为光信号和/或者电信号。

例如，微发光二极管11的边长为1-100μm，其厚度为1-10μm。微发光二极管11可以发射红光、绿光、蓝光或者紫外线等。

如图1所示，能移动部件12被安装在衬底14上。衬底14可以是硅、其他半导体、玻璃、陶瓷、石英、蓝宝石等中的任意一种。光检测器13a,13b被安装在盖体15上。这样，盖体15成为检测器。盖体15通过键合引线17与衬底14连接。光检测器13c被安装在另一个衬底16上，该衬底同样可以被称作检测器。检测器16通过键合引线18与盖体15连接。

在该实施例中，微发光二极管被用于产生反映MEMS器件的能移动部件的移动的信号。这种结构简化了MEMS器件的信号检测和/或丰富了由MEMS器件所产生的信号的内容。

图2是根据第二实施例的MEMS器件的一部分的示意图。和第一实施例重复的内容将被省略。

如图2所示，MEMS器件20包括微发光二极管21以及能移动部件22。微发光二极管被21安装在能移动部件22上并被配置用于随能移动部件22一起移动。

能移动部件22被支撑在支撑部件23上。支撑部件23被安装在衬底26上。

在该实施例中，MEMS器件20可被用作调制器。例如，能移动部件22被配置用于通过施加于其上的电信号或电磁信号而被致动以进行移动。可以通过支撑衬底23或者衬底26来施加所述电信号或电磁信号。微发光二极管21被配置用于发射由所述能移动部件的移动所调制的光信号。

例如，所述调制的光信号被馈入到光纤25中。例如，如图2所示，耦合器24被设置在衬底26上并且用于耦合所述调制的光信号到光纤25中或者馈送所述调制的光信号到光纤25中。

本领域技术人员可以理解的是虽然图2中示出了光调制，但是耦合器24可以被光检测器替代，例如光电二极管，同样地，光纤25可以被线缆替代。在这种情况下，调制的信号可以是电信号并且能被线缆传输。

该实施例提供了一种新的调制技术方案。在该实施例中，可提供了一种新的MEMS调制器。

图3是根据第三实施例的MEMS器件的一部分的示意图。和第一实施例重复的内容将被省略。

如图3所示，MEMS器件30包括多个微发光二极管31和多个能移动部件32。所述多个微发光二极管31被分别安装在显示面板33的多个所述能移动部件32上。

多个能移动部件32被配置用于进行移动以分别与显示面板33的平面形成角度，从而使由多个微发光二极管31发出的光形成3D图像。

本领域技术人员可以想象的是，形成所述能移动部件32的方法有多种。参照图4说明所述能移动部件32的一个例子。图4示出了图3中的MEMS器件的能移动部件的一个例子的示意图。

如图4所示，例如，能移动部件32’可以是电致收缩材料的。能移动部件32’在电信号的作用下变形，从而使得能移动部件32’(并且因此微发光二极管31’)相对于显示面板33’的角度可以调节。

通过调节微发光二极管31’相对于显示面板33’的角度，可以生成3D图像。

该实施例提供了3D显示的一个新技术方案。

图5示出了本发明实施例的具有MEMS器件的电子设备。

如图5所示，电子设备40包括MEMS器件41。MEMS器件可以是图1、图2和图3所示的MEMS器件中的任意一种。

因此，电子设备40可以是用于检测加速度、角速度、压力、力或者流量等的检测器。可选择地，电子设备40可以是用于调制光信号和/或电信号的调制器。可选择地，电子设备40可以是用于显示3D图像的显示设备。

在本发明的实施例中，具有被安装在其能移动部件上的微发光二极管的MEMS器件被提供，从而使得MEMS器件的信号检测被简化和/或丰富由MEMS器件所产生的信号的内容。

虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。