1.一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，包括相连接的衬底层、镜片层和牺牲层（8），所述牺牲层（8）图形化沉积与消除后，所述镜片层与衬底层部分相连，部分悬空；
所述衬底层包括衬底材料（1）、衬底导电层（2）、衬底图形化金属层（3）和衬底保护层（4），所述衬底导电层（2）、衬底图形化金属层（3）、衬底保护层（4）依次通过图形化与薄膜沉积的方式生长在衬底材料（1）上；
所述镜片层包括镜片承载层（5）、镜片金属层（6）和镜片补偿层（7），所述镜片承载层（5）、镜片金属层（6）、镜片补偿层（7）依次通过图形化与薄膜沉积的方式生长在衬底保护层（4）上；
所述衬底图形化金属层（3）、镜片金属层（6）与引线接口（9）相连。
2.根据权利要求1所述的一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，所述镜片补偿层（7）面积小于镜片承载层（5）与镜片金属层（6）。
3.根据权利要求2所述的一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，所述牺牲层（8）去除后，所述镜片层自然上翘，覆盖有镜片补偿层（7）保护的部分保持平直，没有镜片补偿层（7）保护的部分自然弯曲。
4.根据权利要求1所述的一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，所述衬底材料（1）采用硅材料或石英玻璃；所述衬底导电层（2）采用氧化铟锡导电薄膜；所述图形化金属层（3）采用铝、铜或铁；所述衬底保护层（4）采用SiO2或Si3N4。
5.根据权利要4所述的一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，所述镜片承载层（5）采用SiO2或Si3N4；所述镜片金属层（6）采用铝、铜或铁；所述镜片补偿层（7）采用SiO2或Si3N4。
6.根据权利要求1所述的一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，其特征在于，所述薄膜沉积方式采用化学气相沉积或物理气相沉积。