微流体器件的制备方法与流程

文档序号:19746975发布日期:2020-01-21 18:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微流体器件的制备方法,其特征在于,包括:

向具有凹槽的模具中注入液态金属,并使液态金属凝固,得到固态金属;

将所述固态金属与所述模具分离,并在所述固态金属上设置电极;

在带有电极的固态金属表面形成包覆层,使所述固态金属包裹于包覆层内,所述电极至少部分伸出所述包覆层,得到预制器件;

将所述预制器件固定于衬底内,并使固态金属熔融及使电极至少部分伸出所述衬底外,得到微流体器件。

2.根据权利要求1所述的微流体器件的制备方法,其特征在于,将所述预制器件固定于衬底内的步骤具体为:将所述预制器件置于衬底溶液中并固化所述衬底溶液,并且在固化的过程中所述预制器件中的固态金属熔化,得到微流体器件。

3.根据权利要求2所述的微流体器件的制备方法,其特征在于,所述衬底溶液的材料包括聚合物、熔点在300℃以下的金属及金属合金中的一种。

4.根据权利要求3所述的微流体器件的制备方法,其特征在于,所述聚合物包括聚二甲基硅氧烷。

5.根据权利要求1所述的微流体器件的制备方法,其特征在于,所述液态金属的材料包括镓合金。

6.根据权利要求1所述的微流体器件的制备方法,其特征在于,向具有凹槽的模具中注入液态金属的步骤具体为:在惰性气氛下,向所述凹槽中注入液态金属,并使液态金属凝固,得到固态金属。

7.根据权利要求1所述的微流体器件的制备方法,其特征在于,所述电极的材料包括银纳米线,且所述电极的电导率大于所述液态金属的电导率。

8.根据权利要求1所述的微流体器件的制备方法,其特征在于,所述包覆层的材料包括光固化胶。

9.根据权利要求8所述的微流体器件的制备方法,其特征在于,所述光固化胶的熔点大于等于200℃。

10.根据权利要求1所述的微流体器件的制备方法,其特征在于,向所述凹槽中注入液态金属的步骤之前,还包括在所述凹槽的表面涂覆润滑剂的步骤。

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