1.一种镀敷设备,其特征在于,包括:
台,基板保持器放置在所述台上,所述基板保持器能够可拆卸地保持基板;
镀敷部,所述镀敷部中保持镀敷溶液,所述镀敷部用于通过将所述基板在竖直面中浸没在所述镀敷溶液中而对由所述基板保持器保持的所述基板进行镀敷;和
基板保持器运送器,所述基板保持器运送器用于在所述台和所述镀敷部之间运送所述基板保持器,所述基板保持器运送器包括用于保持所述基板保持器的保持部分;
其中,所述台具有水平移动机构,当所述水平移动机构支撑所述基板保持器的下端时,所述水平移动机构能够水平地移动;并且
其中,所述基板保持器运送器包括上升下降机构,当所述基板保持器的下端被所述水平移动机构支撑时,随着所述水平移动机构水平移动,通过竖直移动所述保持部分,所述上升下降机构用于将所述基板保持器的姿势从竖直状态转换为水平状态,或者从水平状态转换为竖直状态。
2.如权利要求1所述的镀敷设备,其特征在于,进一步包括:
基板保持器检测器,所述基板保持器检测器用于检测所述基板保持器运送器是否保持所述基板保持器。
3.如权利要求2所述的镀敷设备,其特征在于,进一步包括:
上升下降机构控制器,如果所述基板保持器检测器检测到所述保持部分未保持所述基板保持器,所述上升下降机构控制器停止所述上升下降机构的操作。
4.如权利要求1所述的镀敷设备,其特征在于,所述基板保持器包括圆形手柄,并且所述保持部分保持所述圆形手柄。
5.如权利要求4所述的镀敷设备,其特征在于,所述保持部分具有可旋转地支撑所述圆形手柄的形状。
6.如权利要求1所述的镀敷设备,其特征在于,当从与所述水平移动机构的移动方向和所述保持部分的竖直移动方向都垂直的方向观察时,所述基板保持器的下端具有半圆形的横截面形状。
7.如权利要求1所述的镀敷设备,其特征在于,通过所述水平移动机构悬挂的重物,所述水平移动机构在降低所述保持部分的方向上被偏置。
8.如权利要求1所述的镀敷设备,其特征在于,所述基板保持器运送器包括用于在所述基板保持器被运送时防止所述基板保持器摇晃的夹持器。
9.一种转换用于可拆卸地保持基板的基板保持器的姿势的方法,其特征在于,所述方法包括:
利用基板保持器运送器的保持部分保持所述基板保持器的一个端部;
通过所述基板保持器运送器使所述基板保持器移动至台上方的位置;
降低所述保持部分以使得所述基板保持器的另一个端部与所述台的水平移动机构接触;和
为了将所述基板保持器的所述姿势从竖直状态转换为水平状态,进一步降低所述保持部分以水平地移动所述水平移动机构。
10.如权利要求9所述的方法,其特征在于,进一步包括:
在所述基板的另一端与所述水平移动机构接触之后,并且在所述保持部分被进一步降低以水平地移动所述水平移动机构之前,移动所述基板保持器运送器的所述保持部分,以使得所述基板保持器倾斜预定角度而不移动所述水平移动机构。
11.一种镀敷方法,其特征在于,所述镀敷方法包括:
通过基板保持器运送器将基板保持器放置在台上,所述基板保持器运送器能够保持所述基板保持器;
利用放置在所述台上的所述基板保持器安装并保持基板;
利用所述基板保持器运送器的保持部分保持所述基板保持器的一个端部;
当水平移动机构支撑所述基板保持器的另一个端部时,抬升所述保持部分并且水平地移动位于所述台上的所述水平移动机构,以将所述基板保持器的姿势从水平状态转换为竖直状态;
通过所述基板保持器运送器将所述基板保持器移动到保持镀敷溶液的镀敷部的上方的位置;和
通过所述基板保持器运送器降低所述基板保持器,以将所述基板浸没在所述镀敷溶液中。