连续镀敷装置的制作方法

本实用新型涉及连续镀敷装置。

背景技术：

在日本特开2018－3150号公报(专利文献1)中记载有连续镀敷装置。连续镀敷装置具有放卷机、镀敷区域和卷绕机。

专利文献1：日本特开2018－3150号公报

技术实现要素：

本实用新型的目的在于，提供能够高精度地控制基材的高度的连续镀敷装置。

本实用新型所涉及的连续镀敷装置具有位置传感器、辊机构、电动致动器和控制部。位置传感器对基材的高度进行检测。辊机构对基材的倾斜度进行控制。电动致动器对辊机构进行控制。控制部基于由位置传感器检测出的基材的高度而对电动致动器的驱动进行控制。

实用新型的效果

根据本实用新型，能够提供能够高精度地控制基材的高度的连续镀敷装置。

附图说明

图1是表示本实施方式所涉及的连续镀敷装置的结构的俯视示意图。

图2是表示本实施方式所涉及的连续镀敷装置的结构的侧视示意图。

图3是表示基材的倾斜度调整机构的结构的俯视示意图。

图4是表示基材的倾斜度调整机构的结构的正面示意图。

图5是表示基材的倾斜度调整机构的结构的侧视示意图。

图6是表示基材的倾斜度调整机构的第1状态的侧视示意图。

图7是表示基材的倾斜度调整机构的第2状态的侧视示意图。

图8是表示基材的输送机构的结构的侧视示意图。

图9是表示镀敷区域的结构的俯视示意图。

图10是沿图9的x－x线的剖面示意图。

图11是沿图9的xi－xi线的剖面示意图。

标号的说明

1前处理区域

2镀敷区域

3后处理区域

4放卷机

5卷绕机

6第1轮

7第2轮

8链条

9电源

10夹紧工具

20喷流管

21正极电极

22镀敷槽

23管部

24喷流孔

25镀敷液

30辊机构

31第1辊

32第2辊

33第3辊

34支撑板

35上板

36旋转轴

37安装部

40变换机构

41第1连接部

42第2连接部

43第3连接部

50收容部

51控制部

52位置传感器

53电动致动器

61轴承

62台部

90倾斜度调整机构

100连续镀敷装置

a基材

b行进方向

c第1方向

d第2方向

e第3箭头

具体实施方式

[本实用新型的实施方式的说明]

下面，基于附图对本实用新型的实施方式进行说明。此外，在下面的附图中对相同或者相当的部分标注同一参照编号，不重复其说明。

(1)本实用新型所涉及的连续镀敷装置100具有位置传感器52、辊机构30、电动致动器53和控制部51。位置传感器52对基材a的高度进行检测。辊机构30对基材a的倾斜度进行控制。电动致动器53对辊机构30进行控制。控制部51基于由位置传感器52检测出的基材a的高度，对电动致动器53的驱动进行控制。

根据上述(1)所涉及的连续镀敷装置100，使用电动致动器53，对控制基材a的倾斜度的辊机构30进行控制。因此，能够高精度地控制基材a的高度。

(2)在上述(1)所涉及的连续镀敷装置100中，辊机构30包含：第1辊31，其配置于基材a的一侧；第2辊32，其配置于基材a的另一侧，且相对于第1辊31而配置于基材a的移动方向的下游；以及第3辊33，其配置于基材a的另一侧，且相对于第1辊31而配置于基材a的移动方向的上游。

(3)在上述(2)所涉及的连续镀敷装置100中，辊机构30还包含支撑板34，在该支撑板34分别配置有第1辊31、第2辊32及第3辊33。电动致动器53对支撑板34的倾斜度进行控制。

(4)在上述(1)至(3)中任一项所涉及的连续镀敷装置100中，可以还具有：放卷机4，其将基材a送出；镀敷区域2，其对基材a进行镀敷；以及卷绕机5，其对镀敷后的基材a进行回收。辊机构30可以位于镀敷区域2。

(5)上述(4)所涉及的连续镀敷装置100还具有夹紧工具10，该夹紧工具10在镀敷区域2中，在抓持着基材a的状态下输送基材a。

[本实用新型的实施方式的详细内容]

(连续镀敷装置)

首先，对本实用新型的一个实施方式(也称为本实施方式)所涉及的连续镀敷装置100的结构进行说明。

图1是表示本实施方式所涉及的连续镀敷装置的结构的俯视示意图。如图1所示，连续镀敷装置100主要具有放卷机4、卷绕机5、前处理区域1、镀敷区域2、后处理区域3、第1张力调整机构30和第2张力调整机构40。放卷机4是将镀敷前的基材a送出的机械。镀敷前的基材a以辊状卷绕于放卷机4。卷绕机5是将镀敷后的基材a回收的机械。镀敷后的基材a以辊状卷绕于卷绕机5。基材a的种类并不特别受到限定，例如为ccl(coppercladlaminate)。ccl例如是在聚酰亚胺层上形成有铜层。

图2是表示本实施方式所涉及的连续镀敷装置的结构的侧视示意图。如图2所示，前处理区域1配置于放卷机4和镀敷区域2之间。镀敷区域2配置于前处理区域1和后处理区域3之间。后处理区域3配置于镀敷区域2和卷绕机5之间。

从放卷机4放出的基材a输送至前处理区域1。在前处理区域1中进行镀敷前的基材a的清洗。在前处理区域1中例如进行脱脂处理。具体地说，在前处理区域1中进行酸处理、水洗处理等。经过了前处理区域1的基材a输送至镀敷区域2。在镀敷区域2中对基材a进行镀敷处理。经过了镀敷区域2的基材a输送至后处理区域3。在后处理区域3中进行镀敷后的基材a的清洗。在后处理区域3中例如将附着于基材a的镀敷液25去除。在后处理区域3中进行水洗处理、干燥处理等。

图3是表示基材的倾斜度调整机构的结构的俯视示意图。如图3所示，本实施方式所涉及的连续镀敷装置100具有基材的倾斜度调整机构90。基材的倾斜度调整机构90例如位于镀敷区域2(参照图2)。如图3所示，基材的倾斜度调整机构90主要具有位置传感器52、辊机构30、电动致动器53、控制部51、轴承61、收容部50、台部62和变换机构40。位置传感器52对基材a的高度进行检测。辊机构30对基材a的倾斜度进行控制。电动致动器53对辊机构30进行控制。

辊机构30具有第1辊31、第2辊32、第3辊33、支撑板34、上板35、旋转轴36和安装部37。第1辊31配置于基材a的一侧(在图3中为上侧)。第2辊32配置于基材a的另一侧(在图3中为下侧)。第2辊32相对于第1辊31而配置于基材a的行进方向b的下游。第3辊33配置于基材a的另一侧(在图3中为下侧)。第3辊33相对于第1辊31而配置于基材a的行进方向b的上游。

在支撑板34分别配置有第1辊31、第2辊32及第3辊33。从另一观点而言，支撑板34将第1辊31、第2辊32及第3辊33各自以能够旋转的状态进行支撑。如图3所示，在从相对于支撑板34垂直的方向观察时，第1辊31的一部分位于第2辊32和第3辊33之间。由此，第1辊31和第2辊32及第3辊33各自之间将基材a夹入。

上板35分别安装于第1辊31、第2辊32及第3辊33。上板35将第1辊31、第2辊32及第3辊33各自以能够旋转的状态进行保持。位置传感器52安装于收容部50。位置传感器52设置于基材a的两侧。位置传感器52能够测定基材a的高度。具体地说，位置传感器52安装于收容部50以使得能够对基材a的上端的高度(位移)进行测定。

如图3所示，电动致动器53配置于收容部50的外部。具体地说，电动致动器53为线性引导部。电动致动器53的驱动部沿图3的第3箭头e的方向进行直线运动。第3箭头e可以与基材a的行进方向b平行。电动致动器53对支撑板34的倾斜度进行控制。控制部51基于由位置传感器52检测出的基材a的高度，对电动致动器53的驱动进行控制。从另一观点而言，通过控制部51将由位置传感器52检测出的基材a的高度反馈至电动致动器53。控制部51例如为个人计算机。

图4是表示基材的倾斜度调整机构的结构的正面示意图。变换机构40具有第1连接部41、第2连接部42和第3连接部43。电动致动器53经由变换机构40而对辊机构30的倾斜度进行控制。第1连接部41安装于电动致动器53。第2连接部42安装于第1连接部41。第3连接部43安装于第2连接部42。

第3连接部43安装于旋转轴36。旋转轴36能够旋转地由轴承61支撑。支撑板34通过安装部37而安装于旋转轴36。旋转轴36进行旋转，由此支撑板34的倾斜度变化。电动致动器53的直线运动经由变换机构40而变换为旋转轴36的旋转运动。变换机构40是能够将直线运动变换为旋转运动的机构。

图5是表示基材的倾斜度调整机构的结构的侧视示意图。如图5所示，台部62设置于收容部50的内部。台部62配置于支撑板34的下方。在基材a的行进方向b上，台部62配置于第1辊31的前方。

图6是表示基材的倾斜度调整机构的第1状态的侧视示意图。如图6所示，在基材a低于规定的高度位置的情况下，支撑板34倾斜以使得支撑板34的上游侧的部分高于下游侧的部分。在该情况下，第3辊33的上端高于第1辊31的上端。第1辊31的上端高于第2辊32的上端。由此，基材a的行进方向b变化为具有上侧的成分的第1方向c。其结果，基材a的高度返回至规定的高度。

图7是表示基材的倾斜度调整机构的第2状态的侧视示意图。如图7所示，在基材a高于规定的高度位置的情况下，支撑板34倾斜以使得支撑板34的上游侧的部分低于下游侧的部分。在该情况下，第3辊33的上端低于第1辊31的上端。第1辊31的上端低于第2辊32的上端。由此，基材a的行进方向b变化为具有下侧的成分的第2方向d。其结果，基材a的高度返回至规定的高度。

如以上所述，控制部51基于由位置传感器52检测出的基材a的高度而对电动致动器53的驱动进行控制，由此对基材a的高度进行调整。具体地说，在基材a高于规定的高度位置的情况下，支撑板34倾斜以使得基材a朝向下侧移动。相反地，在基材a低于规定的高度位置的情况下，支撑板34倾斜以使得基材a朝向上侧移动。由此，能够将基材a的高度维持为恒定的高度。

图8是表示基材的输送机构的结构的侧视示意图。如图8所示，连续镀敷装置100例如还具有多个夹紧工具10、第1轮6、第2轮7和链条8。第1轮6在从镀敷区域2观察时配置于前处理区域1侧。第2轮7在从镀敷区域2观察时配置于后处理区域3侧。链条8安装于第1轮6及第2轮7。第1轮6及第2轮7旋转，由此链条8旋转。

在链条8安装有多个夹紧工具10。下侧的链条8的行进方向与基材a的行进方向b相同。上侧的链条8的行进方向与基材a的行进方向b相反。在经过了第1轮6的链条8的部分安装的夹紧工具10抓持基材a。在夹紧工具10正在经过镀敷区域2之上的期间，夹紧工具10在抓持着基材a的状态下输送基材a。在接近第2轮7的链条8的部分安装的夹紧工具10放开基材a。将基材a放开的夹紧工具10绕第2轮7进行旋转。如以上所述，夹紧工具10在镀敷区域2中，在抓持着基材a的状态下输送基材a。

图9是表示镀敷区域的结构的俯视示意图。如图9所示，镀敷区域2主要具有镀敷槽22、镀敷液25、正极电极21和喷流管20。如图9所示，正极电极21和喷流管20沿与基材a的行进方向b平行的方向交替地配置。正极电极21设置于基材a的两侧。喷流管20设置于基材a的两侧。正极电极21的形状例如为板状。

图10是沿图9的x－x线的剖面示意图。如图10所示，一对正极电极21各自浸渍于镀敷液25。一对正极电极21各自与电源9的正极电连接。一对正极电极21中的一者与基材a的一个面相对。一对正极电极21中的另一者与基材a的另一个面相对。夹紧工具10以夹着基材a的上端部的方式抓持基材a。夹紧工具10与电源9的负极电连接。经由夹紧工具10对基材a施加电压。夹紧工具10的一部分浸渍于镀敷液2。

图11是沿图9的xi－xi线的剖面示意图。如图11所示，一对喷流管20各自具有管部23和多个喷流孔24。在1个管部23形成的喷流孔24的数量并不特别受到限定，例如大于或等于5个而小于或等于10个。在一对喷流管20中的一者形成的多个喷流孔24与基材a的一个面相对。在一对喷流管20中的另一者形成的多个喷流孔24与基材a的另一个面相对。来自多个喷流孔24的镀敷液25朝向基材a的表面喷出。

接下来，对本实施方式所涉及的连续镀敷装置100的作用效果进行说明。

镀敷后的基材a与镀敷前的基材a相比变重。因此，在使用连续镀敷装置100对基材a进行镀敷的情况下，下游侧的基材a与上游侧相比变重。在该情况下，上游侧的基材a相对于下游侧的基材a向下侧移动。其结果，有时基材a的高度变化。

根据本实施方式所涉及的连续镀敷装置100，使用电动致动器53，对控制基材a的倾斜度的辊机构30进行控制。因此，能够高精度地控制基材a的高度。特别地，在使用电动致动器53对基材a的倾斜度进行控制的情况下，与使用气缸对基板的倾斜度进行控制的情况相比，能够高精度地控制基材a的高度。

应该认为本次实用新型的实施方式在所有方面都是例示，且并不是限制性的内容。本实用新型的范围不是由上述的说明表示，而是由实用新型的权利要求书表示，包含与实用新型的权利要求书等同的含义以及范围内的全部变更。