技术特征：
技术总结
本发明公开了一种前级真空系统以及抽真空控制方法。本发明中，仅采用一个前级真空泵通过主干路管道向各个分支管道及真空应用系统进行抽真空。与现有技术相比，仅需要一台前级真空泵即可完成对多路真空应用系统的前级抽真空操作，降低了成本，同时，因为通过管道连接，真空泵可以放到距离各个真空应用系统十几米至几十米远处，进而减少了空间占用，减轻了工作噪音，另外，在真空泵与管道以及管道与真空应用系统的连接处加装双波纹管，进而大幅降低从真空泵传递到真空应用系统的震动，本发明实施例中采用的总控制机柜连接中转站、中转站连接临近的子系统及下一个中转站的分层次布线方式使得线路简洁。
技术研发人员：刘大猛;张晨辉;王婷;雒建斌
受保护的技术使用者：清华大学
技术研发日：2017.09.06
技术公布日：2018.02.09