一种分子泵底盘的制作方法

[0001]
本实用新型涉及真空泵技术领域，具体为一种分子泵底盘。


背景技术：

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分子泵是一种用于获得高真空及超高真空的真空泵。其原理是通过高速旋转的转子叶片击打气体分子，使气体分子逐级压缩，实现排气功能。分子泵底盘作为承载分子泵主轴，转子的重要零件，其底盘上需要有多重结构实现多种功能：
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1、转子驱动系统，包括驱动转子的主轴系统，主轴系统包括电机，轴承，以及润滑油的油窗，油池，注油孔和排油孔
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2、真空性能，包括与转子配合排气的牵引级定子，排气的排气口，各真空密封点。
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3、冷却系统，包括水路。
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4、辅助安装系统，包括支腿，吊装孔。
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因此分子泵底盘上需要安装多种零部件，其本体结构较为复杂，加工难度较高，除此之外现有技术分子泵底盘的冷却大多数都是冷却底盘底部，而不能深入的冷却电机及上轴承位置，冷却效果不佳。


技术实现要素：

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为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种分子泵底盘。
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本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：一种分子泵底盘，包括底盘主体1，所述底盘主体1的内部中心设有竖直向上的电机座2，所述底盘主体 1的内壁与所述电机座2的外壁之间设为向上方开口的凹槽3，所述电机座2的中心设有竖直贯穿所述底盘主体1的通孔4，所述通孔4内部自上而下间隔设有第一轴承座5、第二轴承座7，所述第一轴承座5与所述第二轴承座7之间形成用于安装电机主轴及电机定子的安装腔6，所述第二轴承座7的下部形成油池8，所述底盘主体1的下端面设有第一安装孔9，且所述第一安装孔9与所述安装腔6内部之间设有用于安装电机线缆的线缆通道10，且所述底盘主体1的侧壁上设有与所述线缆通道10连通的第二安装孔11，所述底盘主体1的内部设有冷却水管12，所述冷却水管12自所述底盘主体1底部一侧向内部延伸并沿着所述电机座2的侧壁内部向上延伸，且沿着所述电机座2顶部的侧壁内部弧形弯曲后向下延伸，并延伸至所述底盘主体1底部一侧。
[0010]
在优选的实施方案中，所述底盘主体1下部的外壁上设有与所述油池8连通的油位观察孔13、与所述油池8内的上部连通的注油孔14、与所述油池8内的下部连通的泄油孔15、与所述凹槽3连通的排气孔16。
[0011]
在优选的实施方案中，所述冷却水管12的两端分别于所述底盘主体1下部的外壁上形成进水孔17和出水孔18。
[0012]
在优选的实施方案中，所述底盘主体1为单件铝合金铸造而成，且所述冷却水管12作为预埋件铸在所述底盘主体1内。
[0013]
在优选的实施方案中，所述底盘主体1上部的外壁上设有多个吊装孔19。
[0014]
本实用新型的有益效果为：
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本实用新型集主轴、油池油路、排气口、冷却水、线缆通道等功能结构于一体，结构简单，在满足分子泵各种功能的同时，可以有效减少加工时间，降低零件成本；同时本实用新型通过设置冷却水管预埋件，可深入电机以及上轴承位置进行冷却，有效增强冷却效果。
附图说明
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下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。
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图1是本实用新型实施例所述的一种分子泵底盘的正视图；
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图2是本实用新型实施例所述的一种分子泵底盘的右视图；
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图3是本实用新型实施例所述的一种分子泵底盘的后视图；
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图4是本实用新型实施例所述的一种分子泵底盘的左视图；
[0021]
图5是本实用新型实施例所述的一种分子泵底盘的俯视图；
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图6是本实用新型实施例所述的一种分子泵底盘的仰视图；
[0023]
图7是本实用新型实施例所述的一种分子泵底盘的a-a截面图；
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图8是本实用新型实施例所述的一种分子泵底盘的b-b截面图；
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图中：
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1、底盘主体；2、电机座；3、凹槽；4、通孔；5、第一轴承座；6、安装腔；7、第二轴承座；8、油池；9、第一安装孔；10、线缆通道；11、第二安装孔；12、冷却水管；13、油位观察孔；14、注油孔；15、泄油孔；16、排气孔；17、进水孔；18、出水孔；19、吊装孔。
具体实施方式
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为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
[0028]
下面将参照附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。
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如图1-8所示，本实用新型实施例提供的一种分子泵底盘，包括底盘主体 1，底盘主体1的内部中心设有竖直向上的电机座2，底盘主体1的内壁与电机座2的外壁之间设为向上方开口的凹槽3，电机座2的中心设有竖直贯穿底盘主体1的通孔4，通孔4内部自上而下间隔设有第一轴承座5、第二轴承座7，第一轴承座5与第二轴承座7之间形成用于安装电机主轴及电机定子的安装腔 6，第二轴承座7的下部形成油池8，底盘主体1的下端面设有第一安装孔9，且第一安装孔9与安装腔6内部之间设有用于安装电机线缆的线缆通道10，且底盘主体1的侧壁上设有与线缆通道10连通的第二安装孔11，底盘主体1的内部设有冷却水管12，
冷却水管12自底盘主体1底部一侧向内部延伸并沿着电机座2的侧壁内部向上延伸，且沿着电机座2顶部的侧壁内部弧形弯曲后向下延伸，并延伸至底盘主体1底部一侧；
[0030]
本实用新型实施例中，第一安装孔9用于安装温控组件，第二安装孔11用于安装航空插头；本实用新型的冷却水管12自底盘主体1下部沿着电机座2的侧壁内部以及沿着电机座2顶部的侧壁内部弧形弯曲后返回至底盘主体下部，能深入的冷却电机及上轴承位置，具有很好的冷却效果。
[0031]
具体的实施例中，底盘主体1下部的外壁上设有与油池8连通的油位观察孔13、与油池8内的上部连通的注油孔14、与油池8内的下部连通的泄油孔 15、与凹槽3连通的排气孔16；其中油位观察孔13用于分子泵在使用过程中，观察油池8内的油位是否正常，润滑油是否乳化等；注油孔14用于油池8内的油位不足或者更换润滑油时，向油池8内注入润滑油，本实用新型实施例中的注油孔14向油池8内略微倾斜设置，便于注油；泄油孔15用于更换润滑油或发生乳化等现象时，将油池8内的油放掉；油池8内的油用于对分子泵系统进行润滑和冷却；排气孔16用于将凹槽3内被电机转子叶片高速打击的气体分子排出底盘主体1。
[0032]
具体的实施例中，冷却水管12的两端分别于底盘主体1下部的外壁上形成进水孔17和出水孔18，用于冷却水管12内的冷却液体的循环。
[0033]
具体的实施例中，底盘主体1为单件铝合金铸造而成，且冷却水管12作为预埋件铸在底盘主体1内；
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本实用新型实施例中，冷却水管12可采用不锈钢管弯管作为预埋件，在底盘主体1铸造时，铸于其内部，加强电机及上轴承位置的冷却。
[0035]
具体的实施例中，底盘主体1上部的外壁上设有多个吊装孔19。
[0036]
最后应说明的是：以上所述的各实施例仅用于说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或全部技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。