一种高可靠大容量吸氢泵及其制备方法与流程

文档序号:25890780发布日期:2021-07-16 19:44阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种高可靠的大容量吸氢泵,其特征是所述吸氢泵采用非蒸散型吸气合金作为有效吸气材料制备吸气元件,所述吸气元件为三明治结构,表面有数微米、数十微米的小孔隙,大于100微米的大孔隙,中间层只有数微米、数十微米的小孔隙;由非蒸散型吸气合金制作的吸气元件经氮化处理,得到成品吸气元件。2.根据权利要求1所述的一种高可靠的大容量吸氢泵,其特征是所述非蒸散型吸气合金是锆、铪、钛、钇材料或他们之间或他们中的一种或几种与钒、铁、锰、钴、铝、钼、稀土组成的二元或多元合金。3.如权利要求1所述的一种高可靠的大容量吸氢泵,其特征是包括以下步骤:1)采用平均粒径为5

30微米的1#非蒸散型吸气合金与平均粒径为100

200微米的2#非蒸散型吸气合金均匀混合,制得a混合粉;2)采用平均粒径为5

30微米的3#非蒸散型吸气合金,为b混合粉;3)在模具中分别平铺a混合粉/b混合粉/a混合粉,施加压力后再真空中高温烧结,制得片状吸气元件;4)制得的吸气元件置于管式电炉内,通入含有氮气的氩气,将上述吸气元件在炉内经300℃到500℃,30min到60min的处理后冷却取出,得到成品吸气元件。4.根据权利要求3所述的一种高可靠的大容量吸氢泵的制备方法,其特征是所述1#非蒸散型吸气合金、2#非蒸散型吸气合金、3#非蒸散型吸气合金都包括一种或多种锆、铪、钛、钇材料或他们之间或他们中的一种或几种与钒、铁、锰、钴、铝、钼、稀土组成的二元或多元合金。
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