柱塞膜片泵的制作方法

1.本技术涉及柱塞泵领域，特别是涉及柱塞膜片泵。


背景技术：

2.隔膜泵是借助薄膜将被输液体与活柱和泵缸隔开，从而保护活柱和泵缸，隔膜泵通过接收控制信号，借助动力操作去改变流体流量。
3.柱塞膜片泵亦称柱塞隔膜泵，在柱塞泵的液力端装上隔膜亦即膜片，把输送介质的过流部件和带动隔膜弹性变形的柱塞工作缸隔开，通过柱塞在缸体中往复运动，带动膜片往复运动形变，从而将物料吸入及压出。
4.传统柱塞膜片泵的作往复运动的柱塞与隔膜不直接连接，而是借助于柱塞工作腔内的工作介质例如压力液把两者运动连接起来，由柱塞的往复运动使工作腔内的容积及压力产生变化，带动隔膜前后鼓凸来完成输送流体的工作。
5.这就导致膜片往复运动形变较为缓慢，输送效率低；且其结构原理导致膜片寿命短、噪音相对较高。


技术实现要素：

6.基于此，有必要提供一种柱塞膜片泵。
7.一种柱塞膜片泵，包括进出液盖、压缩仓及底座，所述压缩仓设置于所述进出液盖及所述底座之间，所述压缩仓开设有进液仓及出液仓，还设有连通所述进液仓的进液管及连通所述出液仓的出液管，所述进出液盖密封盖设于所述进液仓及所述出液仓上；所述柱塞膜片泵还包括活塞膜片、连杆、偏心轮、轴承及至少二个伞形单向阀；
8.所述活塞膜片设置于所述底座上且固定于所述压缩仓及所述底座之间，所述压缩仓及所述活塞膜片之间形成有混液仓；
9.所述偏心轮通过所述轴承安装于所述连杆上，且所述偏心轮设置为被驱动电机的输出轴插接；
10.所述连杆的一端连接所述活塞膜片，所述连杆用于在所述偏心轮的带动下使所述活塞膜片产生形状变化，以调整所述混液仓相对于所述进液仓及所述出液仓的压力；
11.至少一个所述伞形单向阀朝向所述进出液盖设置，以在所述压力驱动下使所述混液仓及所述进液仓导通或封闭，至少一个所述伞形单向阀朝向所述底座设置，以在所述压力驱动下使所述混液仓及所述出液仓导通或封闭。
12.上述柱塞膜片泵通过驱动电机带动偏心轮控制连杆拉动活塞膜片前后运动，一方面有利于精密地控制柱塞膜片泵的排出流量；另一方面膜片直接连接连杆提升了膜片往复运动形变的速率，输送效率相对较高；再一方面在膜片两侧都不形成真空，有利于延长膜片的正常使用寿命；又一方面膜片直接连接连杆，配合膜片两侧都不形成真空，有利于减轻膜片的周期性振动，从而降低了使用噪音。
13.在其中一个实施例中，所述柱塞膜片泵还包括止逆弹簧及止回阀，所述止逆弹簧
一端抵接所述进出液盖，另一端抵接所述止回阀，所述止回阀在所述止逆弹簧的作用力下抵接于所述进液管连通所述进液仓的进水口，用于在进液状态下克服弹性力脱离所述进水口，以使所述进液管相对于所述进液仓导通，且在非进液状态下由弹性力作用封闭所述进水口，以使所述进液管相对于所述进液仓封闭。
14.进一步地，在其中一个实施例中，所述压缩仓的仓体于所述进水口处围设有定位安装槽，所述止回阀在所述止逆弹簧的作用力下抵接于定位安装槽以在弹性力作用下封闭所述进水口。
15.进一步地，在其中一个实施例中，所述进出液盖设有安装盲孔，所述止逆弹簧一端定位抵接所述安装盲孔处。
16.在其中一个实施例中，所述柱塞膜片泵还包括平膜片，所述平膜片设置于所述进出液盖及所述压缩仓之间，且所述止逆弹簧穿过所述平膜片的穿孔，或者所述止逆弹簧及部分所述止回阀穿过所述平膜片的穿孔。
17.进一步地，在其中一个实施例中，所述压缩仓的仓体邻近所述进出液盖的一侧，凸设有抵接所述平膜片的限位凸沿，以增强所述进液仓及所述出液仓相对于所述平膜片及所述进出液盖的密封性。
18.在其中一个实施例中，所述底座开设有容纳腔，所述偏心轮、所述轴承及所述连杆均设置于所述容纳腔中。
19.在其中一个实施例中，所述柱塞膜片泵还包括底盖，所述底盖设置于所述底座上以封盖所述容纳腔；及/或，
20.所述柱塞膜片泵还包括至少三个固定螺钉，各所述固定螺钉顺序穿过所述进出液盖及所述压缩仓，固定于所述底座上。
21.进一步地，在其中一个实施例中，所述底座开设有扣孔，所述底盖扣接于所述扣孔上以使所述底座设置于所述底座上。
22.进一步地，在其中一个实施例中，所述底座开设有滑槽，所述底盖滑动设置于所述滑槽上且在一定的滑动位置处扣接于所述扣孔上。
23.进一步地，在其中一个实施例中，所述底座开设有轴孔，所述输出轴穿过所述轴孔且进入所述容纳腔中。
24.进一步地，在其中一个实施例中，所述平膜片开设有至少三个避位口，所述避位口用于避让所述固定螺钉。
25.进一步地，在其中一个实施例中，所述进出液盖开设有至少三个第一安装孔，所述压缩仓开设有至少三个第二安装孔，所述底座上开设有至少三个第三安装孔，各所述固定螺钉、各所述第一安装孔、各所述第二安装孔及各所述第三安装孔一一对应设置，所述进出液盖、所述压缩仓及所述底座顺序通过对应的各所述第一安装孔、各所述第二安装孔及各所述第三安装孔螺接固定。
26.在其中一个实施例中，所述活塞膜片一体设有中心本部、安装部、中间部及凸端沿；
27.所述中心本部与所述安装部相连，且所述活塞膜片于所述中心本部及所述安装部之间形成有安装腔；
28.所述凸端沿固定于所述压缩仓及所述底座之间，所述中间部具有弯曲形状且形成
有回弯区；
29.所述连杆的一端插入于所述安装腔内且限位于所述安装部，或者限位于所述中心本部及所述安装部。
30.进一步地，在其中一个实施例中，所述中心本部增厚设置。
31.在其中一个实施例中，所述压缩仓的仓体开设有第一凹槽，所述底座的座体对应开设有第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽对应设置，所述凸端沿固定于所述第一凹槽与所述第二凹槽所形成的安装空间中。
32.在其中一个实施例中，所述连杆一体设有相连的杆部及轴装部，所述杆部的一端插入于所述安装腔内，所述偏心轮通过所述轴承安装于所述轴装部上。
33.在其中一个实施例中，所述伞形单向阀包括朝向所述进出液盖设置的至少一个进液伞形单向阀及朝向所述底座设置的至少一个出液伞形单向阀；所述压缩仓的仓体在所述混液仓及所述进液仓之间开设有与所述进液伞形单向阀对应的进液孔，在所述混液仓及所述出液仓之间开设有与所述出液伞形单向阀对应的出液孔；各所述进液孔与各所述进液伞形单向阀一一对应设置，每一所述进液伞形单向阀穿过对应的一个所述进液孔；各所述出液孔与各所述出液伞形单向阀一一对应设置，每一所述出液伞形单向阀穿过对应的一个所述出液孔。
34.进一步地，在其中一个实施例中，所述压缩仓的仓体于所述进液孔的两侧旁设有第一进液限位凸部及第二进液限位凸部，所述压缩仓的仓体于所述出液孔的两侧旁设有第一出液限位凸部及第二出液限位凸部；所述第一进液限位凸部及所述第一出液限位凸部分别用于配合所述进液伞形单向阀及所述出液伞形单向阀提升导通作用与封闭作用；所述第二进液限位凸部及所述第二出液限位凸部分别用于形成阻流作用以降低水流冲击力。
35.进一步地，在其中一个实施例中，所述压缩仓的仓体设有间隔所述进液仓及所述出液仓的隔离壁。
36.进一步地，在其中一个实施例中，所述进出液盖凸设有定位部，所述压缩仓对应所述定位部开设有定位装配口，所述定位部与所述定位装配口定位对接，以使所述进出液盖准确安装在所述压缩仓上。
37.在其中一个实施例中，所述柱塞膜片泵还包括所述驱动电机，所述驱动电机通过安装螺丝固定于所述底座上，所述驱动电机用于在工作状态下通过所述输出轴驱动所述偏心轮转动。
38.在其中一个实施例中，所述底座开设有至少二个螺丝孔，至少二个所述安装螺丝一一对应地穿过所述螺丝孔螺接于所述驱动电机。
附图说明
39.为了更清楚地说明本技术实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
40.图1为本技术所述柱塞膜片泵一实施例的外形示意图。
41.图2为图1所示实施例的另一方向示意图。
42.图3为图1所示实施例的分解示意图。
43.图4为图3所示实施例的另一方向示意图。
44.图5为图1所示实施例的另一方向示意图。
45.图6为图5所示实施例的a-a方向剖视示意图。
46.图7为图6所示实施例的b处放大示意图。
47.图8为图1所示实施例的另一方向示意图。
48.图9为图1所示实施例的另一方向示意图。
49.图10为图9所示实施例的分解示意图。
50.图11为图10所示实施例的另一方向示意图。
51.图12为本技术所述柱塞膜片泵另一实施例的外形示意图。
52.图13为图12所示实施例的另一方向示意图。
53.图14为图13所示实施例的分解示意图。
54.图15为图12所示实施例的另一方向示意图。
55.图16为图15所示实施例的c-c方向剖视示意图。
56.图17为图15所示实施例的另一方向剖视示意图。
57.图18为图15所示实施例的部分结构示意图。
58.图19为图18所示实施例的另一方向示意图。
59.图20为本技术所述柱塞膜片泵一实施例的压缩仓的结构示意图。
60.图21为图20所示实施例的另一方向示意图。
61.图22为图20所示实施例的另一方向示意图。
62.图23为图22所示实施例的另一方向示意图。
63.附图标记：
64.固定螺钉110、进出液盖120、平膜片130、止逆弹簧140、止回阀150、压缩仓160、伞形单向阀170、活塞膜片180、连杆190、偏心轮210、轴承220、安装螺丝230、驱动电机240、底座250、底盖260；
65.第一安装孔121、安装盲孔122、定位部123、避位口131、穿孔132；
66.第二安装孔161、仓体162、进液管163、出液管164、进液仓165、出液仓166、进液孔167、出液孔168、混液仓169；
67.进水口1621、定位安装槽1622、定位装配口1623、隔离壁1624、限位凸沿1625、第一凹槽1626、第一进液限位凸部1671、第二进液限位凸部1672、第一出液限位凸部1681、第二出液限位凸部1682；
68.进液伞形单向阀171、出液伞形单向阀172、中心本部181、安装部182、中间部183、凸端沿184、安装腔185、回弯区186、杆部191、轴装部192；
69.偏心孔211、输出轴241、第三安装孔251、座体252、容纳腔253、第二凹槽254、轴孔255、螺丝孔256、扣孔257。
具体实施方式
70.为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申
请。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
71.需要说明的是，当组件被称为“固定于”或“设置于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。本技术的说明书所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
72.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
73.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”、“下”可以是第一特征直接和第二特征接触，或第一特征和第二特征间接地通过中间媒介接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
74.除非另有定义，本技术的说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本技术的说明书所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
75.本技术公开了一种柱塞膜片泵，其包括以下实施例的部分结构或全部结构；即，所述柱塞膜片泵包括以下的部分技术特征或全部技术特征。在本技术一个实施例中，一种柱塞膜片泵，包括进出液盖、压缩仓及底座，所述压缩仓设置于所述进出液盖及所述底座之间，所述压缩仓开设有进液仓及出液仓，还设有连通所述进液仓的进液管及连通所述出液仓的出液管，所述进出液盖密封盖设于所述进液仓及所述出液仓上；所述柱塞膜片泵还包括活塞膜片、连杆、偏心轮、轴承及至少二个伞形单向阀；所述活塞膜片设置于所述底座上且固定于所述压缩仓及所述底座之间，所述压缩仓及所述活塞膜片之间形成有混液仓；所述偏心轮通过所述轴承安装于所述连杆上，且所述偏心轮设置为插接穿入驱动电机的输出轴；所述连杆的一端连接所述活塞膜片，所述连杆用于在所述偏心轮的带动下使所述活塞膜片产生形状变化，以调整所述混液仓相对于所述进液仓及所述出液仓的压力；至少一个所述伞形单向阀朝向所述进出液盖设置，以在所述压力驱动下使所述混液仓及所述进液仓导通或封闭，至少一个所述伞形单向阀朝向所述底座设置，以在所述压力驱动下使所述混液仓及所述出液仓导通或封闭。上述柱塞膜片泵通过驱动电机带动偏心轮控制连杆拉动活塞膜片前后运动，一方面有利于精密地控制柱塞膜片泵的排出流量；另一方面膜片直接连接连杆提升了膜片往复运动形变的速率，输送效率相对较高；再一方面在膜片两侧都不形成真空，有利于延长膜片的正常使用寿命；又一方面膜片直接连接连杆，配合膜片两侧都不形成真空，有利于减轻膜片的周期性振动，从而降低了使用噪音。下面结合图1至图23，详细说明本技术所述柱塞膜片泵的结构设计及其对应的技术效果。
76.在其中一个实施例中，一种柱塞膜片泵如图1及图2所示，其包括进出液盖120、压
缩仓160及底座250，结合图3及图4，所述柱塞膜片泵还包括至少二个伞形单向阀170、活塞膜片180、连杆190、偏心轮210及轴承220；所述压缩仓160开设有进液仓165及出液仓166，还设有连通所述进液仓165的进液管163及连通所述出液仓166的出液管164，所述进出液盖120密封盖设于所述进液仓165及所述出液仓166上。
77.为了增强进出液盖120与压缩仓160之间的密封效果，避免液体泄露，本实施例中，所述柱塞膜片泵还包括平膜片130，所述平膜片130设置于所述进出液盖120及所述压缩仓160之间。在一个具体应用的实施例中，所述平膜片130为硅胶制件。
78.结合图5及图6，所述压缩仓160设置于所述进出液盖120及所述底座250之间，所述活塞膜片180设置于所述底座250上且固定于所述压缩仓160及所述底座250之间，所述压缩仓160及所述活塞膜片180之间形成有混液仓169；所述偏心轮210通过所述轴承220安装于所述连杆190上，且所述偏心轮210设置为被驱动电机240的输出轴241插接。在一个具体应用的实施例中，所述连杆190及所述偏心轮210均采用聚甲醛(polyformaldehyde，pom)制件；所述轴承220采用型号为mr85zz的微型深沟球轴承。
79.所述活塞膜片180亦可称为膜片，结合图7，所述连杆190的一端连接所述活塞膜片180，所述连杆190用于在所述偏心轮210的带动下使所述活塞膜片180产生形状变化，以调整所述混液仓169相对于所述进液仓165及所述出液仓166的压力；在其中一个实施例中，所述活塞膜片180一体设有中心本部181、安装部182、中间部183及凸端沿184；所述中心本部181与所述安装部182相连，且所述活塞膜片180于所述中心本部181及所述安装部182之间形成有安装腔185；所述凸端沿184固定于所述压缩仓160及所述底座250之间，所述中间部183具有弯曲形状且形成有回弯区186；所述连杆190的一端插入于所述安装腔185内且限位于所述安装部182，或者限位于所述中心本部181及所述安装部182。进一步地，在其中一个实施例中，所述中心本部181增厚设置。这样的设计，形成了与传统膜片完全不同的形状及结构，降低了运动阻力，一方面有利于增强膜片的结构强度，延长膜片的正常使用寿命；另一方面由于中间部183及回弯区186的设计，提供了一个形变结构及空间，有利于膜片在连杆的作用下提升了泵入泵出的效率，且在产品试制中发现该结构有利于降低噪音；再一方面膜片直接连接连杆提升了膜片往复运动形变的速率，输送效率相对较高；又一方面由于阻力降低，因此有利于降低工作电流。
80.结合图4及图7，至少一个所述伞形单向阀170朝向所述进出液盖120设置，以在所述压力驱动下使所述混液仓169及所述进液仓165导通或封闭，至少一个所述伞形单向阀170朝向所述底座250设置，以在所述压力驱动下使所述混液仓169及所述出液仓166导通或封闭。在实际产品中，所述伞形单向阀170过长的或是多余的脚部会被剪除。
81.在其中一个实施例中，如图8及图9所示，所述柱塞膜片泵还包括所述驱动电机240，所述驱动电机240通过安装螺丝230固定于所述底座250上，所述驱动电机240用于在工作状态下通过所述输出轴241驱动所述偏心轮210转动。本实施例中，所述驱动电机240的输出轴241插入所述偏心轮210且与所述偏心轮210相插接。在其中一个实施例中，所述底座250开设有至少二个螺丝孔256，至少二个所述安装螺丝230一一对应地穿过所述螺丝孔256螺接于所述驱动电机240。在一个具体应用的实施例中，所述安装螺丝230采用镀镍十字沉头螺钉；所述驱动电机240采用型号为dc-130sh的圆柱型电机。
82.在其中一个实施例中，如图10及图11所示，所述柱塞膜片泵还包括至少三个固定
螺钉110，各所述固定螺钉110顺序穿过所述进出液盖120及所述压缩仓160，固定于所述底座250上。对于具有平膜片130的实施例，进一步地，在其中一个实施例中，所述平膜片130开设有至少三个避位口131，所述避位口131用于避让所述固定螺钉110。进一步地，在其中一个实施例中，所述进出液盖120开设有至少三个第一安装孔121，所述压缩仓160开设有至少三个第二安装孔161，所述底座250上开设有至少三个第三安装孔251，各所述固定螺钉110、各所述第一安装孔121、各所述第二安装孔161及各所述第三安装孔251一一对应设置，所述进出液盖120、所述压缩仓160及所述底座250顺序通过对应的各所述第一安装孔121、各所述第二安装孔161及各所述第三安装孔251螺接固定。这样的设计，有利于快速、稳固地装配所述柱塞膜片泵，亦便于维修维护时的拆装检查。在一个具体应用的实施例中，所述固定螺钉110采用镀镍十字盘头螺钉或者不锈钢十字盘头螺钉。
83.在其中一个实施例中，一种柱塞膜片泵如图12及图13所示，其不带驱动电机或者待安装驱动电机，本实施例中，所述柱塞膜片泵还包括底盖260，所述底盖260设置于所述底座250上以封盖所述容纳腔253。进一步地，在其中一个实施例中，结合图14，所述底座250开设有扣孔257，所述底盖260扣接于所述扣孔257上以使所述底座250设置于所述底座250上。进一步地，在其中一个实施例中，所述底座250开设有滑槽，所述底盖260滑动设置于所述滑槽上且在一定的滑动位置处扣接于所述扣孔257上。进一步地，在其中一个实施例中，所述底座250开设有轴孔255，所述输出轴241穿过所述轴孔255且进入所述容纳腔253中。
84.结合图15及图16，在其中一个实施例中，所述底座250开设有容纳腔253，所述偏心轮210、所述轴承220及所述连杆190均设置于所述容纳腔253中。
85.在其中一个实施例中，如图17及图18所示，所述连杆190一体设有相连的杆部191及轴装部192，所述杆部191的一端插入于所述安装腔185内，所述偏心轮210通过所述轴承220安装于所述轴装部192上。结合图19，所述偏心轮210开设有偏心孔211，所述驱动电机240的输出轴241插入所述偏心孔211中，且与所述偏心轮210相连接，以在所述输出轴241转动时，带动所述偏心轮210转动。这样的设计，驱动电机240带动偏心轮210促使连杆190拉动活塞膜片前后运动，从而实现抽水抽液功能。
86.在其中一个实施例中，如图11及图19所示，所述伞形单向阀170包括朝向所述进出液盖120设置的至少一个进液伞形单向阀171及朝向所述底座250设置的至少一个出液伞形单向阀172；结合图20，所述压缩仓160的仓体162在所述混液仓169及所述进液仓165之间开设有与所述进液伞形单向阀171对应的进液孔167，在所述混液仓169及所述出液仓166之间开设有与所述出液伞形单向阀172对应的出液孔168；各所述进液孔167与各所述进液伞形单向阀171一一对应设置，每一所述进液伞形单向阀171穿过对应的一个所述进液孔167；各所述出液孔168与各所述出液伞形单向阀172一一对应设置，每一所述出液伞形单向阀172穿过对应的一个所述出液孔168。进一步地，在其中一个实施例中，结合图21，所述压缩仓160的仓体162于所述进液孔167的两侧旁设有第一进液限位凸部1671及第二进液限位凸部1672，所述压缩仓160的仓体162于所述出液孔168的两侧旁设有第一出液限位凸部1681及第二出液限位凸部1682；所述第一进液限位凸部1671及所述第一出液限位凸部1681分别用于配合所述进液伞形单向阀171及所述出液伞形单向阀172提升导通作用与封闭作用；所述第二进液限位凸部1672及所述第二出液限位凸部1682分别用于形成阻流作用以降低水流冲击力。进一步地，在其中一个实施例中，所述压缩仓160的仓体162设有间隔所述进液仓
165及所述出液仓166的隔离壁1624。进一步地，在其中一个实施例中，所述进出液盖120凸设有定位部123，所述压缩仓160对应所述定位部123开设有定位装配口1623，所述定位部123与所述定位装配口1623定位对接，以使所述进出液盖120准确安装在所述压缩仓160上。
87.在其中一个实施例中，如图20及图21所示，所述压缩仓160开设有进液仓165及出液仓166，还设有连通所述进液仓165的进液管163及连通所述出液仓166的出液管164。为了避免进液管163返流，在其中一个实施例中，结合图18及图19，所述柱塞膜片泵还包括止逆弹簧140及止回阀150，所述止逆弹簧140一端抵接所述进出液盖120，另一端抵接所述止回阀150，所述止回阀150在所述止逆弹簧140的作用力下抵接于所述进液管163连通所述进液仓165的进水口1621，用于在进液状态下克服弹性力脱离所述进水口1621，以使所述进液管163相对于所述进液仓165导通，且在非进液状态下由弹性力作用封闭所述进水口1621，以使所述进液管163相对于所述进液仓165封闭。进一步地，在其中一个实施例中，所述压缩仓160的仓体162于所述进水口1621处围设有定位安装槽1622，所述止回阀150在所述止逆弹簧140的作用力下抵接于定位安装槽1622以在弹性力作用下封闭所述进水口1621。在一个具体应用的实施例中，所述止逆弹簧140采用sus304不锈钢制件。所述止回阀150采用三元乙丙橡胶(ethylene propylene diene monomer，epdm)制件。
88.为了定位防呆安装所述止逆弹簧140于所述进出液盖120上，进一步地，在其中一个实施例中，结合图3及图14，所述进出液盖120设有安装盲孔122，所述止逆弹簧140一端定位抵接所述安装盲孔122处。在其中一个实施例中，所述柱塞膜片泵还包括平膜片130，所述平膜片130设置于所述进出液盖120及所述压缩仓160之间，且所述止逆弹簧140穿过所述平膜片130的穿孔132，或者所述止逆弹簧140及部分所述止回阀150穿过所述平膜片130的穿孔132。进一步地，在其中一个实施例中，所述压缩仓160的仓体162邻近所述进出液盖120的一侧，凸设有抵接所述平膜片130的限位凸沿1625，结合图16及图17，以增强所述进液仓165及所述出液仓166相对于所述平膜片130及所述进出液盖120的密封性。
89.为了于外边缘处稳固地设置活塞膜片180，在其中一个实施例中，如图22及图23所示，所述压缩仓160的仓体162开设有第一凹槽1626，所述底座250的座体252对应开设有第二凹槽254，所述第一凹槽1626与所述第二凹槽254对应设置，结合图7及图16，所述凸端沿184固定于所述第一凹槽1626与所述第二凹槽254所形成的安装空间中。
90.进一步地，在其中一个实施例中，所述柱塞膜片泵还包括霍尔流量计，所述霍尔流量计固定于所述进出液盖120或所述底座250上，且所述霍尔流量计用于检测上下运动频率，来实现流量检测。这样可以实现所述柱塞膜片泵的流量检测。
91.需要说明的是，本技术的其它实施例还包括，上述各实施例中的技术特征相互组合所形成的、能够实施的柱塞膜片泵。
92.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
93.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术的专利保护范围应以所附权利要求为准。