低温泵的制作方法
【专利说明】低温栗
[0001]本申请主张基于2014年10月7日申请的日本专利申请第2014-206158号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
技术领域
[0002]本发明涉及一种低温栗。
【背景技术】
[0003]作为低温栗的用途之一，有如溅射装置那样的真空处理装置。在真空处理装置中，可以反复执行一种真空工艺。低温栗在这种装置中的主要作用是持续保持适合于真空工艺的真空度。低温栗用于在上一次工艺和下一次工艺之间的装置的临时待机期间将真空度恢复至运许开始该工艺的适当的水平。恢复真空度所需时间称作再生时间。再生时间越短，越能够提前开始下一次的工艺，因此装置的生产率会提高。因此，希望再生时间尽可能较短。只要加大低温栗的排气速度即可缩短再生时间。因此，作为一种方法通常提高低温栗吸气口的开口率。
[0004]专利文献1:日本特开2010-84702号公报
[0005]专利文献2:日本特开2013-160105号公报
[0006]由于低温栗为捕集式真空栗，因此通过低温栗的真空排气运行气体会蓄积在低温栗。随着气体的蓄积，低温栗的排气速度逐渐降低，与此同时，再生时间也逐渐变长。因此，为了从低温栗排出蓄积的气体从而使排气速度及再生时间恢复到初期的水平，定期进行低温栗的再生。从前一次再生结束之后到进行下一次再生的真空排气运行期间又被称作再生间隔。
[0007]如上所述，以往认为提高低温栗吸气口的开口率有助于缩短再生时间。然而，本发明人发现这种见解在再生间隔的后期并不合理。实际上，在再生间隔的后期，若开口率较大，则反而会促使再生时间的增加。
【发明内容】
[0008]本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于，根据不同于以往见解的新的见解，抑制真空处理装置中的再生时间的增加，并延长低温栗的再生间隔，从而提高真空处理装置的生产率。
[0009]根据本发明的一种实施方式的低温栗具备:低温栗容器，确定低温栗吸气口 ；制冷机，具备容纳于所述低温栗容器中的第1冷却台及第2冷却台，所述第2冷却台冷却至低于所述第1冷却台的温度的温度；第1低温板，与所述第1冷却台热连接，并被所述低温栗容器包围；及第2低温板，与所述第2冷却台热连接，并被所述第1低温板包围。所述第1低温板具备入口低温板，该入口低温板在所述低温栗吸气口处具有入口开口部。所述入口开口部以所述入口低温板的气传导率与所述低温栗吸气口的开口气传导率的比例成为6%以下的方式形成于所述入口低温板。
[0010]另外，在方法、装置、系统等之间相互置换本发明的构成要件或表现形式，作为本发明的方式也同样有效。
[0011]根据本发明，能够抑制真空处理装置中的再生时间的增加，且能够延长低温栗的再生间隔。
【附图说明】
[0012]图1是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的低温栗的主要部分的侧剖视图。
[0013]图2是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的第2低温板的顶板的俯视图。
[0014]图3是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的第1低温板的板部件的俯视图。
[0015]图4是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的排气运行中的低温栗的图。
[0016]图5是例示本发明的一种实施方式所涉及的一种再生间隔中的再生时间的变化的示意图。
[0017]图6是示意地表示比较例所涉及的板部件的俯视图。
[0018]图7是示意地表示本发明的其他实施方式所涉及的第1低温板的板部件的俯视图。
[0019]图中:10-低温栗，12-吸气口，16-制冷机，18-第1低温板，20-第2低温板，22-第1冷却台，24-第2冷却台，32-板部件，38-低温栗容器，54-小孔。
【具体实施方式】
[0020]以下，参考附图，对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在以下说明中，对相同的要件标注相同的符号，并适当省略重复说明。并且，以下所述的结构为示例，并不限定本发明的范围。
[0021]图1是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的低温栗10的主要部分的侧剖视图。低温栗10例如安装于真空处理装置的真空腔室，其用于将真空腔室内部的真空度提高到所需工艺所要求的水平。安装有低温栗10的真空处理装置例如为溅射装置。溅射装置中的工艺气体压力例如在lmTorr至lOmTorr的范围。
[0022]低温栗10具有用于接收气体的吸气口 12。应排出的气体从安装有低温栗10的真空腔室通过吸气口 12进入低温栗10的内部空间14。图1示出低温栗10的内部空间14的包含中心轴A的剖面。
[0023]吸气口 12的直径例如在180mm至340mm的范围。由此，低温栗10的标称直径可以为8英寸、10英寸、12英寸、或者320mmo
[0024]另外，以下为了便于理解低温栗10的构成要件的位置关系，有时使用“轴向”、“径向”等术语。轴向表示通过吸气口 12的方向(图1中为沿单点虚线A的方向)，径向表示沿吸气口 12的方向(与单点虚线A垂直的方向)。为方便起见，关于轴向，有时将相对靠近吸气口 12的方向称为“上”，相对远离吸气口 12的方向称为“下”。即，有时将相对远离低温栗10的底部的方向称为“上”，相对靠近低温栗10的底部的方向称为“下”。关于径向，有时将靠近吸气口 12的中心(图1中的中心轴A)的方向称为“内”，靠近吸气口 12的周缘的方向称为“外”。另外，这种表现与低温栗10安装于真空腔室时的配置无关。例如，低温栗10也可以以吸气口 12沿铅垂方向朝下的方式安装于真空腔室。
[0025]并且，有时将围绕轴向的方向称为“周向”。周向为沿吸气口 12的第2方向，且为与径向正交的切线方向。
[0026]低温栗10具备制冷机16。制冷机16例如为吉福德-麦克马洪式制冷机(所谓GM制冷机)等超低温制冷机。$1」冷机16为具备第1冷却台22及第2冷却台24的二级式制冷机。制冷机16构成为将第1冷却台22冷却至第1温度水平，并将第2冷却台24冷却至第2温度水平。第2温度水平的温度低于第1温度水平的温度。例如，第1冷却台22被冷却至65Κ?120Κ左右，优选被冷却至80Κ?100Κ，第2冷却台24被冷却至10Κ?20Κ左右。
[0027]并且，制冷机16具备第1缸体23及第2缸体25。第1缸体23将制冷机16的室温部连接于第1冷却台22。第2缸体25为将第1冷却台22连接于第2冷却台24的连接部分。
[0028]图示的低温栗10为所谓的卧式低温栗。卧式低温栗通常为制冷机16配设成与低温栗10的内部空间14的中心轴Α交差(通常为正交)的低温栗。
[0029]低温栗10具备第1低温板18和被冷却至比第1低温板18更低的温度的第2低温板20。详细内容将后述，第1低温板18具备放射屏蔽件30和板部件32，并包围第2低温板20。在板部件32与第2低温板20之间形成有冷凝层72的主容纳空间21 (参考图4)。
[0030]首先，对第2低温板20进行说明。第2低温板20设置于低温栗10的内部空间14的中心部。第2低温板20以包围第2冷却台24的方式安装于第2冷却台24。由此，第2低温板20与第2冷却台24热连接，第2低温板20被冷却至第2温度水平。
[0031]图2是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的第2低温板20的顶板60的俯视图。如图1及图2所示，顶板60直接安装于制冷机16的第2冷却台24的上表面，第2冷却台24位于低温栗10的内部空间14的中心部。由此，冷凝层72的主容纳空间21占内部空间14的上半部分。
[0032]顶板60是为了将气体冷凝于其表面而设置的。顶板60为在第2低温板20中最靠近板部件32的部分，其具备与板部件32的背面对置的顶板前表面61。顶板前表面61具备中心区域62、包围中心区域62的外侧区域63。