专利名称：隔振装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种支撑装置，尤其涉及一种具有隔振功能的支撑装置。
背景技术：
在现代半导体行业的自动化和半自动化生产、平板印刷设备、光学领域以及电子 设备行业等工业成产以及实验过程中，都需要高稳定度的防振技术，振动带来的危害无疑 是致命的。然而， 一方面，我们脚下站立的这块地板却在无时无刻的经受外界的各种干扰， 如地振、附近来往的车辆、沉重的正在运转的机械、行走中的工作人员以及其他能产生振动 的动作都会给地板带来或大或小的振动，对防振动要求不高的物质来说是没有任何的影 响，但是对防振动要求较高的物质来说确是有破坏性的，比如半导体工业中的光刻工艺、光 栅制作以及高分辨率电子显微镜来说，这种干扰就已经足够具有致命的破坏性；另一方面， 由于设备自身的内部运转部件在加速和减速时会产生高动态力，从而造成机构性的振动现 象，这个振动现象的强弱与加速和减速时候的迅速程度有关，因此，由于振动现象的存在， 促使了设备在进行敏感运行前的的延迟现象。 为了尽量减小甚至避免这种振动对工业生产带来的破坏和对设备本身带来的危 害，多年来一直在试验各种各样的防振措施，在对防振要求较高的领域中， 一种较为常见的 方法是一种由海绵橡皮、橡胶橡皮、纤维板以及纸张为主要材料制作而成的防振装置，用于 校正器、压光机、压榨、刮刀、网部等多个部位进行行程调节和张力控制，橡胶空气弹簧成为 举升设备中常见的举升元件，然而，这种装置的缺点是，不能调整被支撑物的水平固有频率 和水平阻尼，且还会被支撑物出现延迟现象。
发明内容本实用新型的目的是提供一种能调整被支撑物的水平固有频率和水平阻尼且使 被支撑物没有延迟的隔振装置。 为实现上述目的，本实用新型提供了一种隔振装置，所述隔振装置包括底架、隔振 平台、机座、主动电控气动系统及隔振器，所述底架具有水平安装面，所述隔振平台具有水 平支撑面，所述机座的一端与所述底架的水平安装面连接，所述隔振器的一端可伸縮地与 所述机座的另一端连接，所述隔振器的另一端呈水平状且与所述隔振平台的水平支撑面相 抵触，所述主动电控气动系统与所述隔振器连接，所述主动电控气动系统控制所述隔振器 相对于所述机座的伸縮，所述隔振平台由多个大理石板连接而成。 较佳地，所述隔振装置还包括支撑法兰，所述支撑法兰的一端与所述底架的水平 安装面连接，所述支撑法兰的另一端呈水平状。设置所述支撑法兰的目的在于移动或者运 输所述隔振装置的时，利用支撑法兰呈水平状的一端来承载隔振平台的水平支撑面，从而 达到支撑所述隔振平台的目的；另，由于所述支撑法兰的另一端成水平状，因此能与所述隔 振平台的水平支撑面很好地抵触，此外，本实用新型隔振装置不工作的时候，由所述支撑法 兰来支撑所述隔振平台，减短了隔振器的工作时间，因此延长了隔振器的使用寿命。[0007] 较佳地，所述隔振器包括薄膜空气弹簧及水平空气弹簧。薄膜空气弹簧阻尼效果 高，能够始终保持所述隔振平台以及放置在本实用新型隔振装置上的被支撑物的水平，且 具有自动进行水平调整的功能；水平空气弹簧可调整水平固有平率以及水平阻尼，没有粘 滑和滞后现象。 较佳地，所述主动电控系统提供六个自由度的控制，每个自由度由可编程逻辑控 制器、现场控制总线、一控制器以及一高速气动伺服阀进行控制。六个自由度的控制足以确 定与所述主动电控系统相连的所述隔振器的空间位置，因此控制精度高，而设置所述控制 总线、所述控制器以及所述高速气动伺服阀则能够及时地对隔振器因外界振动而引起的位 置变化作出应对措施，灵敏度高。 较佳地，所述底架包括方钢和钢板，所述方钢焊接于所述钢板下表面上，所述钢板 上表面为水平安装面。所述方钢的质量大稳定性好，且机械承受能力强，所述钢板设置成水 平安装面能够平稳地安装所述机座以及所述支撑法兰，为本实用新型隔振装置提供了一个 很好的安装平台。 与现有技术相比，本实用新型隔振装置的底架具有水平安装面，因此所述钢板设 置成水平安装面能够平稳地安装所述机座以及所述支撑法兰，为本实用新型隔振装置提供 了一个很好的安装平台。所述隔振器的一端可伸縮地与所述机座的另一端连接，所述隔振 器的另一端呈水平状且与所述隔振平台的水平支撑面相抵触，所述主动电控气动系统与所 述隔振器连接，所述主动电控气动系统控制所述隔振器相对于所述机座的伸縮。因此足以 控制与所述主动电控系统相连的所述隔振器的空间位置，在所述底架受到外界振动时，由 于所述隔振器相对所述机座的伸縮，以保持与所述隔振器相抵触的水平支撑平台保持空间 位置的不变。本实用新型隔振装置的隔振器能够对水平固有频率和水平阻尼进行调整，没 有延迟现象，而且隔振平台是多个由大理石组成，大理石的自身惯性大，热膨胀系数小，有 利于防振。 通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本 实用新型的实施例。
图1为本实用新型隔振装置的结构示意图。 图2为图1的分解示意图。
具体实施方式现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如上所述，如图1和图2所示，本实用新型提供的隔振装置100包括底架3、隔振平台 1、机座2、主动电控气动系统及隔振器5，所述底架3具有水平安装面31b，所述隔振平台1 具有水平支撑面IO，所述机座2的一端2a与所述底架3的水平安装面31b连接，所述隔振 器5的一端5a可伸縮地与所述机座2的另一端2b连接，所述隔振器5的另一端5b呈水平 状且与所述隔振平台1的水平支撑面10相抵触，所述主动电控气动系统与所述隔振器5连 接，所述主动电控气动系统控制所述隔振器5相对于所述机座2的伸縮，具体地，所述主动 电控系统提供六个自由度的控制，每个自由度由可编程逻辑控制器、现场控制总线、一控制3/3页
器以及一高速气动伺服阀进行控制。由于六个自由度的控制足以确定与所述主动电控系统 相连的所述隔振器5的空间位置，因此控制精度高，而设置所述控制总线、所述控制器以及 所述高速气动伺服阀则能够及时地对隔振器因外界振动而引起的位置变化作出应对措施， 使得本实用新型隔振装置100灵敏度高。具体地，本实用新型隔振装置100还包括支撑法 兰4，所述支撑法兰4的一端4a与所述底架3的水平安装面31b连接，所述支撑法兰4的另 一端4b呈水平状，具体地，所述支撑法兰4与所述底架3的水平安装面31b分别具有相对 应的安装孔4c、31c，通过安装孔4c、31c将所述支撑法兰固定于所述水平安装面31b上；设 置所述支撑法兰4的目的在于移动或者运输所述隔振装置100的时候，利用支撑法兰4呈 水平状的一端4b来承载隔振平台1的水平支撑面IO，从而达到支撑所述隔振平台1的目 的；另，由于所述支撑法兰4的另一端4b成水平状，因此能与所述隔振平台1的水平支撑面 10很好地抵触，此外，本实用新型隔振装置100不工作的时，由所述支撑法兰4来支撑所述 隔振平台1，减短了隔振器5的工作时间，因此延长了隔振器5的使用寿命；所述隔振平台1 由多个大理石板11连接而成，大理石11的自身惯性大，热膨胀系数小，有利于防防振。 较佳者，所述隔振器5包括薄膜空气弹簧及水平空气弹簧。薄膜空气弹簧阻尼效 果高，能够始终保持所述隔振平台1以及放置在本实用新型隔振装置100上的被支撑物的 水平，且具有自动进行水平调整的功能；水平空气弹簧可调整被支撑物的水平固有频率和 水平阻尼，且使被支撑物没有粘滑和滞后现象发生。 较佳者，如图1和图2所示，所述底架3包括方钢30和钢板31，所述方钢3焊接于 所述钢板31下表面31a上，所述钢板31上表面为水平安装面31b。所述方钢30的质量大 稳定性好，且机械承受能力强，所述钢板31设置成水平安装面31b能够平稳地安装所述机 座2以及所述支撑法兰4，为本实用新型隔振装置100提供了一个很好的安装平台。 结合图1及图2，对本实用新型隔振装置100的工作原理作一详细的说明，本实用 新型隔振装置100的底架3包括方钢30和钢板31，所述方钢3焊接于所述钢板31下表面 31a上，所述钢板31上表面为水平安装面31b，因此所述钢板31设置成水平安装面31b能 够平稳地安装所述机座2以及所述支撑法兰4，为本实用新型隔振装置100提供了一个很 好的安装平台。所述隔振器5的一端5a可伸縮地与所述机座2的另一端2b连接，所述隔 振器5的另一端5b呈水平状且与所述隔振平台1的水平支撑面10相抵触，所述主动电控 气动系统与所述隔振器5连接，所述主动电控气动系统控制所述隔振器5相对于所述机座 2的伸縮。因此足以控制与所述主动电控系统相连的所述隔振器5的空间位置，在所述底 架3受到外界振动时，由于所述隔振器5相对所述机座2的伸縮，以保持与所述隔振器5相 抵触的所述水平支撑平台IO保持空间位置的不变。本实用新型隔振装置100的隔振器5 能够对水平固有频率和水平阻尼进行调整，没有延迟现象，而且隔振平台是多个由所述大 理石11组成，所述大理石11的自身惯性大，热膨胀系数小，有利于防防振，而且所述隔振器 5的主要材料都具有防腐蚀的性能，不容易受到外界空气或者其他物质的腐蚀而变质，不会 使得本实用新型隔振装置100失效。 本实用新型隔振装置100所涉及的薄膜空气弹簧、水平空气弹簧以及主动电控系
统的工作原理都是本技术领域工程技术人人员所熟悉，在此不再赘述。 以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭
示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型发明的本质进行的修改、等效组合。
权利要求一种隔振装置，其特征在于包括底架、隔振平台、机座、主动电控气动系统及隔振器，所述底架具有水平安装面，所述隔振平台具有水平支撑面，所述机座的一端与所述底架的水平安装面连接，所述隔振器的一端可伸缩地与所述机座的另一端连接，所述隔振器的另一端呈水平状且与所述隔振平台的水平支撑面相抵触，所述主动电控气动系统与所述隔振器连接，所述主动电控气动系统控制所述隔振器相对于所述机座的伸缩，所述隔振平台由多个大理石板连接而成。
2. 如权利要求l所述的隔振装置，其特征在于还包括支撑法兰，所述支撑法兰的一端 与所述底架的水平安装面连接，所述支撑法兰的另一端呈水平状。
3. 如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于所述隔振器包括薄膜空气弹簧及水平 空气弹簧。
4. 如权利要求1所述的隔振装置，其特征在于所述主动电控系统提供六个自由度的 控制，每个自由度由可编程逻辑控制器、现场控制总线、一控制器及一高速气动伺服阀进行 控制。
5. 如权利要求l所述的隔振装置，其特征在于所述底架包括方钢和钢板，所述方钢焊 接于所述钢板下表面上，所述钢板上表面为水平安装面。
专利摘要本实用新型公开了一种隔振装置，其中，包括底架、隔振平台、机座、主动电控气动系统及隔振器，底架具有水平安装面，隔振平台具有水平支撑面，机座的一端与底架的水平安装面连接，隔振器的一端可伸缩地与机座的另一端连接，隔振器的另一端呈水平状且与隔振平台的水平支撑面相抵触，主动电控气动系统与隔振器连接，主动电控气动系统控制隔振器相对于机座的伸缩，隔振平台由多个大理石板连接而成。本实用新型隔振装置的隔振器可对水平固有频率和水平阻尼进行调整，没有延迟现象，且隔振平台是由大理石组成，自身惯性大，热膨胀系数小，有利于防振。
文档编号F16F15/027GK201448399SQ20092005925
公开日2010年5月5日 申请日期2009年6月26日 优先权日2009年6月26日
发明者张永红, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司