专利名称：悬吊式气浮工作平台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气浮平台，特别是涉及一种利用气压而能吸附工件呈悬吊状态的 悬吊式气浮工作平台。
背景技术：
在现代科技的产品制程中，诸多电子零组件是容易因触碰而受损的，例如用于液 晶显示器(LCD)制程的玻璃基板、用于IC晶片制程的晶圆或者是能广泛应用的印刷电路板 (PCB)等，因此，在加工或检测的过程中必须十分小心，要避免触碰而造成电子零组件的损害。有鉴于此，请参阅图1，目前已发展出一种气浮式平台1，是能将欲处理的物件91 悬空地撑于气浮式平台1上方，以非接触的方式进行加工或检测，气浮式平台1包括一本体 11、一形成在本体11内部的气室12、多数个形成本体11上且与气室12连通的吹气孔13及 一连通气室12的送气孔14，并搭配一连接于送气孔14的正压输出机92，借由正压输出机 92经由送气孔14将气体送入气室12，再由气室12将气体分配至连通的吹气孔14，进而产 生向上的吹力支撑物件91，使得物件91悬空地被撑于气浮式平台1上方。由此可见，上述现有的气浮式平台在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而 亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道， 但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问 题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种悬吊式气浮工作平台，实属当 前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。
发明内容
本发明的目的在于，克服现有的气浮式平台存在的缺陷，而提供一种新型结构的 悬吊式气浮工作平台，所要解决的技术问题是使悬吊式气浮工作平台能将一工件间隔地吸 附于平台下方而使工件呈悬吊状态。本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出 的一种悬吊式气浮工作平台，适于连接一正压源与一负压源，用以将一工件吸附于该平台 下方，其中该悬吊式气浮工作平台包含一底板，包括一底板本体、多数个上下贯穿该底板 本体的第一气孔及第二气孔，该底板本体具有一底板本体顶面及一底板本体底面；及一气 室座，叠置于该底板本体顶面并且能供该正压源及该负压源连接，该气室座形成一连通所 述第一气孔与该正压源的正压气室及一连通所述第二气孔与该负压源的负压气室；借该负 压源提供的负压，能于该底板本体底面的所述第二气孔产生吸附该工件的负压，以及借该 正压源提供的正压，能于该底板本体底面的所述第一气孔产生正压，使该工件与该底板本 体底面悬空地保持一间隔。本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中所述第一气孔与该底板本体底面的孔
4径小于所述第二气孔与该底板本体底面的孔径。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中该气室座包括一叠置于该底板本体顶 面的气流分配板及一叠置于该气流分配板上的盖板，该气流分配板与该盖板相叠置而界定 出一负压气室，而该气流分配板与底板相叠置而界定出一正压气室。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中该气流分配板具有一板体、一对应所述 第一气孔设置的导气槽，该板体具有一板体顶面及一板体底面，该导气槽是由该板体底面 向内凹陷形成，通过该气流分配板叠置于该底板本体顶面，该导气槽与该底板本体顶面界 定出该正压气室，且该正压气室连通所述第一气孔。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中该气流分配板还具有多数个上下贯穿 该板体且对应所述第二气孔设置的第一通气孔，通过该盖板与该气流分配板相叠置，该负 压气室经由所述第一通气孔连通所述第二气孔。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中该气流分配板还具有一由该板体顶面 向下贯穿该板体且与该导气槽连通的第二通气孔。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中该气流分配板的导气槽具有多数个第 一槽道及多数个连通该第一槽道的第二槽道，所述第一槽道与所述第二槽道是对应所述第 一气孔设置。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中该盖板具有一顶壁及一围绕该顶壁且 向下延伸的围绕壁，该顶壁与该围绕壁界定出一气室空间，通过该盖板叠置于该气流分配 板上，该气室空间形成该负压气室。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中该盖板还具有一贯通该顶壁的输气孔 及一由顶壁往下延伸并且连通该输气孔的导气管段，该输气孔供连接该正压源，通过该盖 板结合于该气流分配板上，该导气管段经由该第二通气孔连通形成于该导气槽与该底板本 体顶面间的正压气室。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中该盖板还具有一贯通该顶壁且连通该 气室空间的抽气孔，该抽气孔供连接该负压源。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中该抽气孔的孔径大于该输气孔的孔径。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中该负压气室的容积大于该正压气室的 容积。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中还包含多数个对应地形成于该底板、该 气流分配板及该盖板的连接孔，用以连接该底板、该气流分配板及该盖板。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中所述第一槽道与所述第二槽道相互垂 直交错地连通设置。较佳地，前述的悬吊式气浮工作平台，其中所述第二气孔与所述第一气孔相互间 隔分布于该底板本体。本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上可知，为达到上述目 的，本发明提供了一种悬吊式气浮工作平台适于连接一正压源与一负压源，用以将一工件 吸附于平台下方。悬吊式气浮工作平台包含一底板及一气室座。底板包括一底板本体、多 数个上下贯穿底板本体的第一气孔及第二气孔，底板本体具有一底板本体顶面及一底板本 体底面，而气室座叠置于底板本体顶面并且能供该正压源及负压源连接。气室座形成一连通第一气孔与正压源的正压气室及一连通第二气孔与负压源的负压气室，借由负压源提供 的负压，能于底板本体底面的第二气孔产生吸附工件的负压，以及借正压源提供的正压，能 于底板本体底面的第一气孔产生正压，使工件与底板本体底面悬空地保持一间隔。本发明 悬吊式气浮工作平台的一特征在于第一气孔于底板本体底面的孔径小于第二气孔于底板 本体底面的孔径。本发明悬吊式气浮工作平台的一特征在于气室座包括一盖板及一气流分 配板，借由盖板、气流分配板及底板由上而下相互叠置，而于盖板与气流分配板间界定出一 负压气室，气流分配板与底板间界定出一正压气室，并且负压气室与正压气室互不连通。本发明的有益效果在于借由气室座与底板的气室配置以及孔洞的配合，而能在 平台的底板底面产生能吸附工件的负压力以及小于负压力的正压力，负压力能使工件被吸 附在平台的底板底面，以便于能在工件下方进行检测或加工等作业，而正压力则能将工件 推离底板底面，使工件与底板底面之间仍留有间隔，避免工件表面直接与底板底面接触而 造成刮伤。综上所述，本发明在技术上有显着的进步，并具有明显的积极效果，诚为一新颖、 进步、实用的新设计。上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段， 而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够 更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
图1是一剖面示意图，说明以往的气浮平台；图2是一立体示意图，说明本发明的悬吊式气浮工作平台；图3是一立体分解图，说明该悬吊式气浮工作平台的各组件的连结关系；图4是一立体示意图，说明该底板的顶面；图5是一立体示意图，说明该底板的底面；图6是一立体示意图，说明该盖板的顶面；图7是一立体示意图，说明该盖板的底部；图8是一立体示意图，说明该气流分配板的顶面；图9是一立体示意图，说明该气流分配板的底面；图10是一俯视示意图，说明该悬吊式气浮工作平台的顶面；图11是图10中A-A的剖面示意图，说明该悬吊式气浮工作平台的孔洞连接关系。
具体实施例方式为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合 附图及较佳实施例，对依据本发明提出的悬吊式气浮工作平台，其具体实施方式
、结构、特 征及其功效，详细说明如后。请参阅图2与图3，本发明悬吊式气浮工作平台2适用于连接一正压源21与一负 压源22 (图未示)，用以将一工件8吸附于平台2下方，本发明的较佳实施例包含一底板3 及一气室座4，气室座4叠置于底板3上且供连接正压源21 (如打气泵)及负压源22 (如鼓 风机)，而且，借由底板3与气室座4相互配合形成一正压气室23与一负压气室24，使得底板3底面产生负压及正压，而其他详细构造说明如下。在本实施例中，悬吊式气浮工作平台2是架设于一支撑架6上，用以使平台2的底 板3下方形成一操作空间，该操作空间能供被平台2吸附的工件8进行加工或检测，但该平 台2的架设并不以该支撑架6为限，悬吊式气浮工作平台2也能与其他制程平台或机具装 置结合而进行加工或检测。请参阅图4与图5，底板3包括一大致呈方形的底板本体31、多数个第一气孔32 及多数个第二气孔33，底板本体31具有一底板本体顶面311及一底板本体底面312，第一 气孔32与第二气孔33上下贯穿底板本体31的顶面311与底面312且均勻间隔分布于底 板本体31上。气室座4包括一盖板41及一气流分配板42。盖板41叠置于气流分配板42上，请 参阅图6与图7，盖板41包括一顶壁411、一围绕壁412、多数个导气管段415、多数个贯穿 顶壁411的输气孔416与一抽气孔417。围绕壁412是由顶壁411边缘向下延伸形成，且围 绕壁412与顶壁411相互配合形成一气室空间413，而导气管段415是呈中空管状由顶壁 411底面对应输气孔416地往下延伸而连通输气孔416，输气孔416供连接正压源21，而抽 气孔417供连接负压源22，此外，盖板41还包括多数个由顶壁411底面往下延伸且连接围 绕壁412的肋片414，所述肋片414纵横向地交错连结而能使得整个盖板41具有较佳结构 强度，在本实施例中，该抽气孔417设置于该顶壁411中央而所述输气孔416围绕该抽气孔 417而设置，当然输气孔416与抽气孔417设置位置与数量不以此为限，也能仅设置一输气 孔416与一抽气孔417，而抽气孔417上设置一抽气管座7，以便于连接负压源22。气流分配板42叠置于盖板41下方而介于盖板41与底板3之间。参阅图8与图 9，气流分配板42具有一板体420、多数个导气槽421、多数个第一通气孔422及多数个第二 通气孔423，板体420具有一板体顶面426及一板体底面427，导气槽421是由板体底面427 凹陷形成，并且具有多数个第一槽道424及多数个第二槽道425，第一槽道424与第二槽道 425设计成相互垂直连通且均勻地分布于板体底面427，而第一通气孔422及第二通气孔 423贯穿板体420，且第二通气孔423底端是连通导气槽421。请参阅图10与图11，通过盖板41、气流分配板42及底板3由上而下相互叠置，在 盖板41与气流分配板42之间，盖板41的气室空间413与气流分配板42的板体顶面426 形成负压气室24，而盖板41顶壁411的抽气孔417则是借由负压气室24与气流分配板42 的第一通气孔422相连通，而气流分配板42的第一通气孔422是与底板3的第二气孔33 相连通。在气流分配板42与底板3之间，气流分配板42的导气槽421与底板3的底板本 体顶面311形成正压气室23，盖板41的导气管段415底端分别对应连通气流分配板42的 第二通气孔423，因而使得盖板41顶壁411的输气孔416借由导气管段415与气流分配板 42的第二通气孔423相连通，而借由气流分配板42的第二通气孔423连通导气槽423，使 得正压气室23与底板3的第一气孔32相连通。通过正压源21与负压源22设置在气室座4并且被启动，负压源22所提供的负压 经由负压气室24连通气流分配板42的第一通气孔422，再经由第一通气孔422连通底板3 的第二气孔33，因而于底板3的第二气孔33产生具有吸附力的负压力，因此，便能将工件8 吸附在底板3下方，而正压源21提供的正压，则经由盖板41的导气管段415连通气流分配 板42的第二通气孔423，再经由第二通气孔423连通正压气室23及底板3的第一气孔32，因而于底板3的第一气孔32产生吹气的正压力，在工件8被吸附在底板3底面的同时，能 对工件8吹气，将工件8推离底板本体底面312，使工件8与底板3底面之间悬空地保持一 间隔。如上所述，利用设计盖板41、气流分配板42以及底板3相互叠置形成互不干扰的 正压气室23与负压气室24，使得第一气孔32能产生正压并且不干扰第二气孔33产生负 压，将能以使平台2保持一间隔地吸附设置于平台2下方的工件8。值得注意的是，为了使得工件8能间隔地被吸附于平台2下方，本发明设计盖板41 与气流分配板42的板体顶面426形成的负压气室容积大于气流分配板42的导气槽421与 底板本体顶面311形成的正压气室容积，以及抽气孔417的孔径大于输气孔416的孔径，不 仅如此，第一气孔32与第二气孔33位于底板本体顶面311的孔径是设计成相同的，而位于 底板本体底面312的孔径是设计成第一气孔32的孔径小于第二气孔33的孔径，都是用以 使正压小于负压，达成工件8能间隔地被吸附于平台2下方。此外，请参阅图4-图9，悬吊式气浮工作平台2由上而下于盖板41、气流分配板42 以及底板3设置多数个相对应连通的连接孔5，再借由多数个能与连接孔5配合的锁栓件 (图未示)，用以连接盖板41、气流分配板42以及底板3，在本实施例中，使用许多尺寸不同 的连接孔5，且广泛相对应地分布于盖板41、气流分配板42以及底板3，将使得盖板41、气 流分配板42以及底板3紧密连接，通过悬吊式气浮工作平台2使用，将不易发生漏气的情 形。附带说明的是，在本实施例中，正压气室23是位于负压气室24下方，但在其他的 实施形态中，正压气室23与负压气室24的相对位置并不以此为限，此外，该平台2在使用 时，也能搭配其他治具或挡块等，设置在平台2的边缘以供工件8靠抵或辅助定位，避免工 件8被吸附于底板3底面时，位置游离不定，影响检测或加工作业的进行。综上所述，本发明悬吊式气浮工作平台2借由盖板41、气流分配板42以及底板3 相互叠置而产生互不干扰的正压气室23与负压气室24，能于底板本体底面312的第一气孔 32产生正压与第二气孔33产生负压，且利用设计第一气孔32、第二气孔33、输气孔416及 抽气孔417的孔径大小，以及正压气室23与负压气室24的容积，调整负压与正压的大小， 使得工件8能与底板本体底面312保持一间隔地被吸附于底板3底面而呈悬吊状态，以便 于能在工件8下方进行检测或加工等作业，另一方面，借由提供较小于吸附的负压力的吹 气正压力，也能让工件8与底板本体底面312仍留有间隔，避免工件8表面因接触平台2而 导致刮伤，所以确实能达成本发明的目的。以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽 然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人 员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰 为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质 对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
一种悬吊式气浮工作平台，适于连接一正压源与一负压源，用以将一工件吸附于该平台下方，其特征在于该悬吊式气浮工作平台包含一底板，包括一底板本体、多数个上下贯穿该底板本体的第一气孔及第二气孔，该底板本体具有一底板本体顶面及一底板本体底面；及一气室座，叠置于该底板本体顶面并且能供该正压源及该负压源连接，该气室座形成一连通所述第一气孔与该正压源的正压气室及一连通所述第二气孔与该负压源的负压气室；借该负压源提供的负压，能于该底板本体底面的所述第二气孔产生吸附该工件的负压，以及借该正压源提供的正压，能于该底板本体底面的所述第一气孔产生正压，使该工件与该底板本体底面悬空地保持一间隔。
2.如权利要求1所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于所述第一气孔与该底板本体 底面的孔径小于所述第二气孔与该底板本体底面的孔径。
3.如权利要求2所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于该气室座包括一叠置于该底 板本体顶面的气流分配板及一叠置于该气流分配板上的盖板，该气流分配板与该盖板相叠 置而界定出一负压气室，而该气流分配板与底板相叠置而界定出一正压气室。
4.如权利要求3所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于该气流分配板具有一板体、 一对应所述第一气孔设置的导气槽，该板体具有一板体顶面及一板体底面，该导气槽是由 该板体底面向内凹陷形成，通过该气流分配板叠置于该底板本体顶面，该导气槽与该底板 本体顶面界定出该正压气室，且该正压气室连通所述第一气孔。
5.依如权利要求4所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于该气流分配板还具有多数 个上下贯穿该板体且对应所述第二气孔设置的第一通气孔，通过该盖板与该气流分配板相 叠置，该负压气室经由所述第一通气孔连通所述第二气孔。
6.依如权利要求5所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于该气流分配板还具有一由 该板体顶面向下贯穿该板体且与该导气槽连通的第二通气孔。
7.依如权利要求6所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于该气流分配板的导气槽具 有多数个第一槽道及多数个连通该第一槽道的第二槽道，所述第一槽道与所述第二槽道是 对应所述第一气孔设置。
8.依如权利要求3至6其中任一所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于该盖板具有 一顶壁及一围绕该顶壁且向下延伸的围绕壁，该顶壁与该围绕壁界定出一气室空间，通过 该盖板叠置于该气流分配板上，该气室空间形成该负压气室。
9.依如权利要求8所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于该盖板还具有一贯通该 顶壁的输气孔及一由顶壁往下延伸并且连通该输气孔的导气管段，该输气孔供连接该正压 源，通过该盖板结合于该气流分配板上，该导气管段经由该第二通气孔连通形成于该导气 槽与该底板本体顶面间的正压气室。
10.依如权利要求9所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于该盖板还具有一贯通该 顶壁且连通该气室空间的抽气孔，该抽气孔供连接该负压源。
11.依如权利要求10所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于该抽气孔的孔径大于该 输气孔的孔径。
12.依如权利要求10所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于该负压气室的容积大于该正压气室的容积。
13.依如权利要求10所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于还包含多数个对应地形 成于该底板、该气流分配板及该盖板的连接孔，用以连接该底板、该气流分配板及该盖板。
14.依如权利要求10所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于所述第一槽道与所述第 二槽道相互垂直交错地连通设置。
15.依如权利要求10所述的悬吊式气浮工作平台，其特征在于所述第二气孔与所述第 一气孔相互间隔分布于该底板本体。全文摘要
本发明涉及一种悬吊式气浮工作平台，其包含一底板及一气室座，底板包括一底板本体、多数个上下贯穿底板本体的第一气孔及第二气孔，而气室座叠置于底板本体顶面并且能供该正压源及负压源连接，气室座形成一连通第一气孔与正压源的正压气室及一连通第二气孔与负压源的负压气室，借由负压源提供的负压，能于底板本体底面的第二气孔产生吸附工件的负压，以及借正压源提供的正压，能于底板本体底面的第一气孔产生正压，使工件与底板本体底面悬空地保持一间隔。
文档编号H01L21/683GK101894781SQ200910143009
公开日2010年11月24日 申请日期2009年5月21日 优先权日2009年5月21日
发明者庄国彬, 洪英民 申请人:由田新技股份有限公司