专利名称：一种气浮平台的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光机电技术领域，具体涉及一种气浮平台，可以用于平板显示行业及太阳能电池行业玻璃基板的承载与运输。
背景技术：
当前，随着技术的发展与市场的需要，平板显示行业及太阳能电池行业的玻璃基板幅面不断扩大，G8. 5的玻璃基板尺寸已达2500 X 2200毫米，且厚度不足1毫米，这对生产线的制程技术要求更高。目前大尺寸的玻璃基板多采用接触式滚轮传输或皮带传输，这些接触传输的方式很容易造成对玻璃基板的划伤与污染，并且易造成基板破碎，严重影响产品的质量和成品率以及生产效率。
实用新型内容(一)要解决的技术问题本实用新型要解决的技术问题是如何避免玻璃基板传输过程中所造成的划伤与污染，以及基板的破碎，并提高产品的质量和成品率以及生产效率。( 二 )技术方案为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种气浮平台，其包括多个气浮模块，每个所述气浮模块包括内部设置为中空的腔体，所述腔体上部具有气浮平板，所述气浮平板上具有气浮块。上述气浮平台中，所述腔体一侧设有压缩空气入口。上述气浮平台中，还包括气动元件，通过所述压缩空气入口与所述腔体连接，用于为所述腔体提供压缩空气。上述气浮平台中，所述腔体底部设有调整板。上述气浮平台中，所述调整板上设置有升降螺钉和紧固螺钉。上述气浮平台中，所述气浮块有多个，间隔布置在所述气浮平板上。上述气浮平台中，所述气浮平板上设有真空孔。上述气浮平台中，所述气浮块上设有真空孔。上述气浮平台中，所述气浮平板由钢板、铝板或多孔材料制成，所述多孔材料为金属、碳石墨、陶瓷和树脂中的一种。上述气浮平台中，所述气浮块由多孔材料制成，所述多孔材料为金属、碳石墨、陶瓷和树脂中的一种。(三)有益效果上述技术方案采用多孔材料模块化设计形成气浮平台，根据不同用途设计出不同精度等级的模块或采用不同材质的气浮块，用于提供稳定的空气，减少空气的消耗量，抑制上浮空气。该气浮平台加工、装配简单，制造成本较低，操作简单方便，实现了非接触传输， 减轻了大尺寸玻璃基板的变形和应力，提高了生产效率。
图1是本实用新型实施例的气浮平台的原理示意图；图2是本实用新型实施例的气浮平台中气浮模块的结构示意图；图3是本实用新型实施例的气浮平台中气浮模块的侧视图；图4是本实用新型实施例的气浮平台中气浮模块的俯视图；图5是本实用新型实施例的气浮平台的结构示意图。其中，1 气浮平板；2 气浮块；3 腔体；4 调整板；5 真空孔；6 玻璃基板；7 压缩空气入口 ；8 升降螺钉；9 紧固螺钉。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。如图1所示，为本实用新型实施例的气浮平台的原理示意图，气浮平台采用压缩空气通过平台上的气浮块2排出空气，使平台与玻璃基板6之间形成空气膜，将玻璃基板6 浮起，达到非接触承载与无摩擦传输的目的。本气浮平台采用多孔材料模块化设计，形成气浮模块，可根据玻璃基板6幅面的大小将气浮模块组装成气浮平台；气浮模块根据不同用途设计出不同精度等级的模块或采用不同种类的气浮块。如图2-4所示，为本实用新型实施例的气浮平台中气浮模块的结构示意图，该气浮模块由气浮平板1、气浮块2、腔体3、调整板4和气动元件等组成。气浮平板1在腔体3 上部，气浮平板1上具有气浮块2，调整板4设置在腔体3底部，气动元件通过腔体3 —侧开设的压缩空气入口 7与腔体3连接。气浮平板1选用钢板或铝板制作，由于玻璃基板6在气浮平板1上方，气浮平板1 与玻璃基板6之间有气膜，所以要求气浮平板1具有一定的刚性和平面性，气浮平板1的平面性决定玻璃基板6的平面性。气浮平板1的大小可模块设计，制成多种规格，根据玻璃基板6的尺寸选定适合规格的气浮平板1组合成气浮平台或组成玻璃基板传输线。气浮块2由多孔材料制成，多孔材料孔隙的大小以及气浮块厚度决定出气量，从而决定上浮量，气浮块2可以是圆形、方形或根据平台结构制成特殊形状。气浮块2通常有多个，间隔布置在气浮平板1上。多孔材料可制成各种形状的板材，甚至气浮平板1整体也可由多孔材料制成，多孔材料可以是金属、碳石墨、陶瓷、树脂等。多孔材料的孔隙由浮起玻璃基板6的大小、重量以及上浮量计算决定。腔体3支撑着气浮平板1，气动元件接入腔体3为其供气，再由腔体3供气给各个气浮块2，使各气浮块2气压、流量一致。调整板4用于支撑腔体3和调整平台的高度。调整板4上设置有升降螺钉8和紧固螺钉9，通过调节升降螺钉8可调整气浮模块整体的高度，以便将气浮平台的若干个气浮模块的上表面调整到同一平面，紧固螺钉9可用于将整体紧固。气动元件用于提供洁净的压缩空气，并能够控制空气的流速、流量。对于高精度气浮平台，需在气浮平板1或气浮块2上增加真空孔5，使玻璃基板6 上浮精度提高。[0033]根据玻璃基板6幅面的大小以及传输要求和承载精度，设计出不同精度等级的气浮模块或采用不同材料的多孔气浮块2，将若干个气浮模块组合形成气浮平台，进行玻璃基板6的传输，如图5所示，图中箭头的方向表示玻璃基板6的传送方向。由以上实施例可以看出，本实用新型实施例通过采用多孔材料模块化设计形成气浮平台，根据不同用途设计出不同精度等级的模块或采用不同材质的气浮块，用于提供稳定的空气，减少空气的消耗量，抑制上浮空气。该气浮平台加工、装配简单，制造成本较低， 操作简单方便，实现了非接触传输，减轻了大尺寸玻璃基板的变形和应力，提高了生产效率。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种气浮平台，其特征在于，包括多个气浮模块，每个所述气浮模块包括内部设置为中空的腔体(3)，所述腔体(3)上部具有气浮平板(1)，所述气浮平板(1)上具有气浮块 ⑵。
2.如权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述腔体(3)—侧设有压缩空气入口⑵。
3.如权利要求2所述的气浮平台，其特征在于，还包括气动元件，通过所述压缩空气入口(7)与所述腔体(3)连接。
4.如权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述腔体(3)底部设有调整板(4)。
5.如权利要求4所述的气浮平台，其特征在于，所述调整板(4)上设置有升降螺钉(8) 和紧固螺钉(9)。
6.如权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述气浮块(2)有多个，间隔布置在所述气浮平板(1)上。
7.如权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述气浮平板(1)上设有真空孔(5)。
8.如权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述气浮块(2)上设有真空孔(5)。
9.如权利要求1-8中任一项所述的气浮平台，其特征在于，所述气浮平板(1)由钢板、 铝板或多孔材料制成，所述多孔材料为金属、碳石墨、陶瓷和树脂中的一种。
10.如权利要求9中任一项所述的气浮平台，其特征在于，所述气浮块(2)由多孔材料制成，所述多孔材料为金属、碳石墨、陶瓷和树脂中的一种。
专利摘要本实用新型属于光机电技术领域，具体公开了一种气浮平台，其包括多个气浮模块，每个所述气浮模块包括内部设置为中空的腔体，所述腔体上部具有气浮平板，所述气浮平板上具有气浮块。本实用新型的关键点在于采用多孔材料模块化设计形成气浮平台，根据不同用途设计出不同精度等级的模块或采用不同材质的气浮块，用于提供稳定的空气，减少空气的消耗量，抑制上浮空气。该气浮平台加工、装配简单，制造成本较低，操作简单方便，实现了非接触传输，减轻了大尺寸玻璃基板的变形和应力，提高了生产效率。
文档编号B65G49/06GK202124328SQ201120232629
公开日2012年1月25日 申请日期2011年7月1日 优先权日2011年7月1日
发明者常温, 文亦武, 韩学东 申请人:北京京城清达电子设备有限公司