专利名称：具有气浮与吸附双向功能的复合式平台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种平台，特别涉及一种具有气浮与吸附双向功能的复合式平台。
背景技术：
如图1所示，现有一种气浮式平台包括一个基座1、四个设置于该基座1底面角落 的出气件2，及四根分别与该出气件2连接的供气管3，所述出气件2分别具有一个与所述 供气管3连通的气孔201，及一个设置于底侧且与该气孔201连通的导气槽202。借此，当高 压气体经所述供气管3、所述气孔201、所述导气槽202朝一个工作平台(图未示)喷出时， 利用气体压力与该工作平台接触，可产生气浮式悬浮效果，将该基座1朝上顶升，而与该工 作平台呈不接触状态，如此，该平台即可作为载重移动式平台或量测平台之用。然而，由于 高压气体只能集中地从该基座l底面的四个角落处喷出，因此，此种平台在载物时极易于 发生重心不稳的问题。此外，此种平台也无法适用于吸附一个工件(图未示)进行相关作 业。
发明内容
本发明的目的是提供一种可平稳地承载或吸附工作物的具有气浮与吸附双向功 能的复合式平台。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，包括一个石材基座及一块 透气陶瓷板。该石材基座具有一个第一顶面、一个第一底面、一个连接于该第一顶、底面之 间的第一周面、一个形成于该第一顶面的安装槽，及一条从该第一周面延伸至该第一顶面 的气道，该气道具有一个邻近该第一周面的第一端部，及一个邻近该第一顶面的第二端部。 该透气陶瓷板气密式地固设于该石材基座的安装槽，该透气陶瓷板具有一个第二顶面、一 个第二底面、一个连接于该第二顶、底面之间的第二周面，该第二底面与该石材基座的第一 顶面之间配合界定出一个与该气道的第二端部连通的气室。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，该石材基座的第一顶面具 有一个槽底面部、一个围绕该槽底面部的环面部，及一个介于该槽底面部与该环面部之间 的槽周面部，该槽底面部与该槽周面部配合界定出该安装槽，该气道从该第一周面延伸至 该槽底面部，该第二端部相邻于该槽底面部，该气室界定于该透气陶瓷板的第二底面与该 槽底面部之间。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，该气室具有一段形成于该 槽底面部的第一环圈段、多段形成于该槽底面部且连通该第一环圈段与该气道的第二端部 的第一连通段、一段形成于该透气陶瓷板的第二底面且对应于该第一环圈段的第二环圈 段，及多段形成于该第二底面并分别对应于所述第一连通段的第二连通段，所述第二连通 段分别与该第二环圈段连通并互相连通。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，所述第一连通段呈放射状 分布于该槽底面部，所述第二连通段呈放射状分布于该第二底面。
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本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，该具有气浮与吸附双向功 能的复合式平台还包括一层胶层，该胶层涂布于该槽底面部与该第二底面之间且位于该第 一环圈段、该第二环圈段之外，并涂布于该槽周面部与该第二周面之间。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，该第一顶面与第二顶面呈 齐平状。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，该具有气浮与吸附双向功 能的复合式平台还包括二支设置于该槽底面部且朝上延伸出的定位销，该透气陶瓷板具有 二个贯穿该第二顶面、第二底面的定位孔，当该透气陶瓷板固设于该石材基座的安装槽时， 所述定位销分别延伸入所述定位孔，且不超出该第二顶面。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，该具有气浮与吸附双向功 能的复合式平台还包括一个配气阀组，该配气阀组设置于该气道的第二端部内，且低于该 槽底面部，该配气阀组具有一个连通该气室与该气道的气孔。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，该配气阀组具有一个设置
于该第二端部内的阀座，及一个与该阀座螺接的气塞，该气孔形成于该气塞内。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，该具有气浮与吸附双向功
能的复合式平台还包括一个气嘴，该气嘴螺固于该气道的第一端部。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，该具有气浮与吸附双向功 能的复合式平台还包括多个螺桩，所述螺桩埋设于该石材基座的第一底面并朝该第一顶面 延伸，所述螺桩不超出该第一底面，所述螺桩分别具有一个螺孔。 本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，该石材基座的材质是天然 花岗石或人造石。 本发明的有益效果在于利用该透气陶瓷板供高压气体均匀地喷出至一个工作平 台(或一个工件)，而在两者间形成涵盖大范围面积的均压气膜，使两者可平稳地相对移 动，亦可透过该透气陶瓷板将两者间的空气抽除，而吸附定位该工件。
图1是现有一种气浮式平台的立体示意图； 图2是本发明的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台一较佳实施例的分解立 体示意图； 图3是该较佳实施例的一块透气陶瓷面板的倒置立体示意图； 图4是该较佳实施例的组合立体示意图； 图5是该较佳实施例的组合剖视示意图； 图6是图5的局部放大示意图； 图7是该较佳实施例的使用状态示意图，说明该较佳实施例气浮于一个工作平台 上方； 图8是该较佳实施例的使用状态示意图，说明一个工件被该较佳实施例吸附定 位； 图9是一类似于图8的视图，说明该工件气浮于该透气陶瓷板上方。
具体实施例方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。 有关本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图的一较佳 实施例的详细说明中，将可清楚的明白。 参阅图2至图5，为本发明具有气浮与吸附双向功能的复合式平台100的一较佳实 施例，该复合式平台100包括一个石材基座10、二支定位销20、一块透气陶瓷板30、一个 气室40、一个气嘴50、一个配气阀组60、多个螺桩70及一层胶层80。 该石材基座10具有一个第一顶面11、一个第一底面12、一个连接于该第一顶面11 及第一底面12之间的第一周面13、一个形成于该第一顶面11的安装槽14，及一条从该第 一周面13延伸至该第一顶面11的气道15。 该第一顶面11具有一个槽底面部111、一个围绕该槽底面部111的环面部112，及 一个介于该槽底面部111与该环面部U2之间的槽周面部113，该槽底面部111与该槽周面 部113可配合界定出该安装槽14。该气道15从该第一周面13贯通至该槽底面部111，该 气道15具有一个邻近该第一周面13的第一端部151，及一个邻近该槽底面部111的第二端 部152。在本实施例中，该石材基座10的材质可为天然花岗石或人造石。
所述定位销20设置于该石材基座10的槽底面部111且朝上延伸出。
该透气陶瓷板30具有一个第二顶面31、一个第二底面32、一个连接于该第二顶面 31及第二底面32之间的第二周面33，及二个贯穿该第二顶面31及第二底面32的定位孔 34。在本实施例中，该透气陶瓷板30具有透气、高硬度、耐磨的物性，且该透气陶瓷板30气 密式地固设于该石材基座10的安装槽14。 如图4、图5所示，当该透气陶瓷板30固设于该安装槽14时，该第一顶面11及第 二顶面31呈齐平状，所述定位销20分别延伸入所述定位孔34，且不超出该第二顶面31，
如图2、图3、图5所示，该气室40界定于该透气陶瓷板30的第二底面32与该石 材基座10的槽底面部111之间，并与该气道15的第二端部152连通，在本实施例中，该气 室40具有一段形成于该槽底面部111的第一环圈段41、多段形成于该槽底面部111的第一 连通段42、一段形成于该第二底面32且对应于该第一环圈段41的第二环圈段43，及多段 形成于该第二底面32并分别对应于所述第一连通段42的第二连通段44，所述第一连通段 42呈放射状分布且分别连通该第一环圈段41与该气道15的第二端部152，所述第二连通 段44呈放射状分布，且所述第二连通段44分别与该第二环圈段43连通并互相交会连通， 该第一环圈段41 、第二环圈段43与所述第一连通段42及第二连通段44配合界定出该气室 40。 如图4、图5所示，该气嘴50螺固于该气道15的第一端部151。 如图2、图5、图6所示，该配气阀组60设置于该气道15的第二端部152内，且低于
该槽底面部111，该配气阀组60具有一个设置于该第二端部152内的阀座61，及一个与该
阀座61螺接的气塞62，该气塞62具有一个连通该气室40与该气道15的气孔621。该气
孔621由下至上是由一大径段、一细径段及一半圆段所构成，气孔621顶端(即半圆段处)
与该第一连通段42、第二连通段44连通，因此，气体进入气孔621后自然会流动至该第一连
通段42、第二连通段44内。 如图2、图5所示，所述螺桩70埋设于该石材基座10的第一底面12并朝该第一顶
6面11延伸，所述螺桩70不超出该第一底面12且分别具有一个螺孔71。
如图4、图5所示，当该透气陶瓷板30固设于该安装槽14时，该胶层80涂布于该槽底面部111与该第二底面32之间且位于该第一环圈段41、第二环圈段43之外，并涂布于该槽周面部113与该第二周面33之间，如此，即可使该透气陶瓷板30与该石材基座10之间产生气密式的固接关系，要说明的是，该胶层80涂布于该槽底面部111与该第二底面32之间的部分与涂布于该槽周面部113与该第二周面33之间的部分可采用不同种类的胶，此外，该透气陶瓷板30与该石材基座10之间也可利用其他固接方式(例如螺栓锁固)配合该胶层80来产生气密的作用。 借此，如图7所示，当使用者要利用本发明的复合式平台100进行气浮式的量测作业或载重作业时，可使该透气陶瓷板30朝向一个工作平台200，而使该石材基座10朝上作为一个载台，如此，使用者即可将一个适当的量测装置(图未示)与所述螺桩70的螺孔71螺接，而定位于该石材基座10上，或将一个工件(图未示)摆置于该石材基座10上，因此，当一台空气压縮机(图未示)将高压气体经该气嘴50、该气道15与该配气阀组60的气孔621输入该气室40内时，高压气体可均匀地分布至该第一环圈段41、第二环圈段43与所述第一连通段42、第二连通段44内，并穿透该透气陶瓷板30朝该工作平台200喷出，使该透气陶瓷板30与该工作平台200之间形成一涵盖大范围面积的均压气膜，如此，该复合式平台100即可相对于该工作平台200平稳且轻易地移动，而便于使用者进行标准量测作业或载重作业。 此外，如图8所示，当使用者要利用本发明的复合式平台IOO进行一个工件300 (例如半导体或面板)的吸附作业时，可使该透气陶瓷板30朝上，并将该石材基座10朝下摆置，如此，当该工件300摆置于该透气陶瓷板30上时，可利用一个抽真空装置(图未示)经该透气陶瓷板30、该气室40、该配气阀组60气孔621、该气道15与该气嘴50，将该工件300与该透气陶瓷板30之间的空气抽出，形成真空吸附的作用，使该工件300稳定地定位于该透气陶瓷板30上，而供使用者进行加工或检测作业。要说明的是，该石材基座10可利用所述螺桩70定位于一个工作平台(图未示)或一个设备(图未示)上；相反地，如图9所示，当使用者要利用本发明的复合式平台100进行该工件300的气浮输送作业时，可将高压气体经该气嘴50、该气道15与该配气阀组60的气孔621输入该气室40内，如此，高压气体也可均匀地从该透气陶瓷板30朝该工件300喷出，而使该透气陶瓷板30与该工件300之间同样形成一涵盖大范围面积的均压气膜，因此，该工件300即可相对于该透气陶瓷板30平稳且轻易地移动，而便于使用者将该工件300移动至下一个工序。
经由以上的说明，可再将本发明的优点归纳如下 —、本发明的透气陶瓷板30可供高压气体均匀地朝下喷出至该工作平台200或朝上喷出至该工件300，而在两者间形成涵盖大范围面积的均压气膜，使该复合式平台100可相对于该工作平台200平稳地移动，或使该工件300可相对于该透气陶瓷板30平稳地移动，且以天然花岗石制成的石材基座10较金属具有更优秀的物、化特性，而该透气陶瓷板30则具有高硬度、耐磨的物性，因此，本发明可应用于各种要求高硬度、性质稳定及耐磨特性的工作场合，例如搭配量规、量具进行标准量测作业或精密加工业或检测作业。
二、此外，本发明的透气陶瓷板30也可用于吸附定位该工件300，而供使用者进行加工或检测作业，因此，本发明具有气浮与吸附双向功能。
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归纳上述，本发明所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，不但可平稳地承载工作物而适用于多种要求高硬度、性质稳定及耐磨特性的工作场合，且可用于工件的吸附定位，所以确实能达到本发明的目的。 以上所述仅为本发明较佳实施例，然其并非用以限定本发明的范围，任何熟悉本项技术的人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可在此基础上做进一步的改进和变化，因此本发明的保护范围当以本申请的权利要求书所界定的范围为准。
权利要求
一种具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于，该具有气浮与吸附双向功能的复合式平台包括一个石材基座，具有一个第一顶面、一个第一底面、一个连接于该第一顶面与该第一底面之间的第一周面、一个形成于该第一顶面的安装槽，及一条从该第一周面延伸至该第一顶面的气道，该气道具有一个相邻于该第一周面的第一端部，及一个相邻于该第一顶面的第二端部；及一块透气陶瓷板，气密式地固设于该石材基座的安装槽，该透气陶瓷板具有一个第二顶面、一个第二底面、一个连接于该第二顶面及该第二底面之间的第二周面，该第二底面与该石材基座的第一顶面之间配合界定出一个与该气道的第二端部连通的气室。
2. 根据权利要求1所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于， 该石材基座的第一顶面具有一个槽底面部、一个围绕该槽底面部的环面部，及一个介于该槽底面部与该环面部之间的槽周面部，该槽底面部与该槽周面部配合界定出该安装 槽，该气道从该第一周面延伸至该槽底面部，该第二端部相邻于该槽底面部，该气室界定于 该透气陶瓷板的第二底面与该槽底面部之间。
3. 根据权利要求2所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于， 该气室具有一段形成于该槽底面部的第一环圈段、多段形成于该槽底面部且连通该第一环圈段与该气道的第二端部的第一连通段、一段形成于该透气陶瓷板的第二底面且对应 于该第一环圈段的第二环圈段，及多段形成于该第二底面并分别对应于所述第一连通段的 第二连通段，所述第二连通段分别与该第二环圈段连通并互相连通。
4. 根据权利要求3所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于， 所述第一连通段呈放射状分布于该槽底面部，所述第二连通段呈放射状分布于该第二底面。
5. 根据权利要求3所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于， 该具有气浮与吸附双向功能的复合式平台还包括一层胶层，该胶层涂布于该槽底面部与该第二底面之间且位于该第一环圈段、该第二环圈段之外，并涂布于该槽周面部与该第 二周面之间。
6. 根据权利要求2所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于， 该第一顶面与第二顶面呈齐平状。
7. 根据权利要求2所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于， 该具有气浮与吸附双向功能的复合式平台还包括二支设置于该槽底面部且朝上延伸出的定位销，该透气陶瓷板具有二个贯穿该第二顶面、第二底面的定位孔，当该透气陶瓷板 固设于该石材基座的安装槽时，所述定位销分别延伸入所述定位孔，且不超出该第二顶面。
8. 根据权利要求2所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于， 该具有气浮与吸附双向功能的复合式平台还包括一个配气阀组，该配气阀组设置于该气道的第二端部内，且低于该槽底面部，该配气阀组具有一个连通该气室与该气道的气孔。
9. 根据权利要求8所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于， 该配气阀组具有一个设置于该第二端部内的阀座，及一个与该阀座螺接的气塞，该气孔形成于该气塞内。
10. 根据权利要求1所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于，该具有气浮与吸附双向功能的复合式平台还包括一个气嘴，该气嘴螺固于该气道的第一端部。
11. 根据权利要求1所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于， 该具有气浮与吸附双向功能的复合式平台还包括多个螺桩，所述螺桩埋设于该石材基座的第一底面并朝该第一顶面延伸，所述螺桩不超出该第一底面，所述螺桩分别具有一个 螺孔。
12. 根据权利要求1所述的具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，其特征在于， 该石材基座的材质是天然花岗石或人造石。
全文摘要
一种具有气浮与吸附双向功能的复合式平台，包括一个具有一个第一顶面、一个第一底面、一个第一周面、一个形成于该第一顶面的安装槽、一条从该第一周面延伸至该第一顶面的气道的石材基座，及一个具有一个第二顶面、一个第二底面、一个第二周面的透气陶瓷板，该气道具有一个邻近该第一周面的第一端部，及一个邻近该第一顶面的第二端部，该透气陶瓷板气密式地固设于该石材基座的安装槽，该第二底面与该石材基座的第一顶面之间配合界定出一个与该气道的第二端部连通的气室。本发明所述的复合式平台可平稳地在工作平台上气浮式移动，吸附定位一工件或使该工件产生气浮式移动。
文档编号G01D11/00GK101745903SQ20081018582
公开日2010年6月23日 申请日期2008年12月15日 优先权日2008年12月15日
发明者张建中, 陈威廷, 陈心茹 申请人:财团法人石材暨资源产业研究发展中心