专利名称：一种用于真空设备超高真空阀的阀头密封结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种高真空阀门技术，特别是一种用于高真空、 超高真空的电子管排气设备和特殊材料真空热处理设备的超高真空 阀的阀头密封结构。
背景技术：
本技术领域的人十分清楚一般高、低真空阀门，密封垫圈的材料
为橡胶，不能承受(S15(TC)高温烘烤。那么，能使用在超高真空设 备上的超高真空阀门必须满足1)能承受高温200 45CTC多次烘烤；
2)放气量小，气密性好；3)重复性好；4)流导大。
现行的超高真空阀门有小通径《Omm的全金属阀门，其主要部 件是无氧铜阀头，不锈钢阀体和传动导向机构。阀座刀口型式为直角， 导向机构起保证阀门重复性的作用，即刀口在阀头上压出的刀痕每次 都能重合。此类阀通道为S50mm，流导小，大型超高真空系统应用此 阀会严重影响抽速。大通道阀门阀头为氟橡胶圈，出气量较大 (8.2E-4Pa*L's-1 'cm-2h-1， 25°C)，烘烤温度高于20(TC时，氟 橡胶会发生失效。此类阀门装入真空系统中，真空度难以达到 5E-8Pa。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种用于真空设备超高真空阀的阀头 密封结构，能使系统真空度达到5E-8Pa，同时耐高温性能好。
为了实现本实用新型的目的，设计者提出的具体技术方案是它由活套法兰、阀门本体、阀头、阀头支撑、阀头运动机构、不锈钢波 纹管、阀门盖板组成，所述的阀头运动机构与阀头支撑之间通过不锈 钢波纹管连接，并布置在阀门本体内；所述的阀头与阀头支撑连接，
阀头的大圆柱面止口端布置在阀门本体内下端的刀口上，阀头的小圆 柱面嵌入阀门本体内下端的中心孔内，起导向定位作用。
为了保证气流的隔断和真空密封，设计者将阀门本体下端的刀口
设计为-70°~-75。，大圆柱面呈3。 8。斜角。
本实用新型经过试验证明由于本阀门密封结构采用CF刀口法 兰密封结构型式即-70° -75°角刀口，阀头加工成大小圆柱面，小圆柱 起预导向定位作用，大圆柱在上有3。 8。斜角，能精密定位和密封。
本阀门阀头能承受25CTC烘烤；放气量小，气密性好；反复开闭 能重复固定在同一密封面上，重复性好；阀头通径120mm，流导大。 实际装入高真空、超高真空的电子管排气设备和特殊材料真空热处理 设备上，系统真空度能达到了5E-8Pa (带负载)，为大型真空电子器 件的真空性能提升提供了保障。
附图1为本阀门的结构示意图。
附图2为阀头结构示意图。
附图3为阀门本体刀口结构示意图。
其中l-活套法兰、2-阀门本体、3-阀头、4-阀头支撑、5-阀头运 动机构、6-阀门盖板、7-不锈钢波纹管、8-连接螺栓、9-大圆柱面、 10-小圆柱面、11-刀口
具体实施方式
本实用新型在实施中，阀头系用膨胀聚四氟乙烯材料，阀门本体 上加工三个方向的CF150刀口，卯度两边套上活套法兰l，以方便
对接在真空系统上，尾部连接盖板6，用无氧铜垫密封，将阀头运动 机构固定在阀门本体2上。本体2中部加工一70度CF120刀口 11， 阀头3的大圆柱面4> 120mm压在此刀口 11上，小圆柱面10 0) 28mm， 这种结构能保持气流隔断和真空密封。阀头3固定在阀头支撑4上， 阀头支撑4与阀头运动机构5通过不锈钢波纹管7连接且隔断大气。
权利要求1.一种用于真空设备超高真空阀的阀头密封结构，它由活套法兰，阀门本体、阀头、阀头支撑、阀头运动机构、不锈钢波纹管、阀门盖板组成，其特征在于所述的阀头运动机构与阀头支撑之间通过不锈钢波纹管连接并布置在阀门本体内；所述的阀头与阀头支撑连接，阀头的大圆柱面止口端布置在阀门体内下端的刀口上，阀头的小圆柱面嵌入阀门本体内下端的中心孔内。
2. 根据权利要求1所述的一种用于真空设备超高真空阀的阀头密 封结构，其特征在于阀头本体下端的刀口为-70° -75°。
3. 根据权利要求1所述的一种用于真空设备超高真空阀的阀头密 封结构，其特征在于阀头大圆柱面呈3。 8。斜角。
专利摘要本实用新型提供一种用于真空设备超高直空阀的阀头密封结构，它由活套法兰、阀门本体、阀头、阀头支撑、阀头运动机构、不锈钢波纹管、阀门盖板组成，所述的阀头运动机构与阀头支撑之间通过不锈钢波纹管连接，并布置在阀门本体内；所述的阀头与阀头支撑连接，阀头的大圆柱面止口端布置在阀门本体内下端的刀口上，阀头的小圆柱面嵌入阀门本体内下端的中心孔内，起导向定位作用。为了保证气流的隔断和真空密封，设计者将阀门本体下端的刀口设计为-70°～-75°，大圆柱面呈3°～8°斜角，能精密定位和密封。
文档编号F16K1/32GK201363428SQ20092008339
公开日2009年12月16日 申请日期2009年1月14日 优先权日2009年1月14日
发明者姚安全, 李新益 申请人:湖北汉光科技股份有限公司