专利名称：一种中压单晶炉的安全阀的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用以防止设备或管道因超压而发生损坏的阀门，尤其是能够用于正负压变化的中压单晶炉中。
背景技术：
中压单晶炉是用于生产无位错单晶的设备，在其工作过程中需要先将设备抽真空到几帕以下，然后通入惰性气体生长单晶，正常工作时为正压，当压力超过规定压力值时需要安全阀能够快速开启泄压，目前使用的安全阀大多采用锥面密封，密封效果较差，设备真空度较难达到要求。
发明内容为了克服现有安全阀密封效果的不足，本实用新型提供一种能适用于有正负压变化的安全阀，其密封效果良好。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是结构主要包括管道连接件，阀瓣，阀体，锁紧螺母，螺杆，弹簧，0形圈，螺钉和出气口，管道连接件和阀体之间通过螺钉连接起来，阀体与螺杆通过螺纹连接。阀瓣与管道连接件间安装有0形橡胶圈。阀体与阀瓣间采用弹簧式结构，通过螺纹连接方便快速调节安全阀的泄压压力，安全阀开启压力调好后通过圆螺母进行锁紧，安全阀与被连接件间采用0形橡胶圈进行端面密封，使得设备安全阀与设备间良好密封，设备抽真空时能在较短时间达到3Pa以下。本实用新型的有益效果是，既实现了安全泄压又能保证中压单晶炉初始时的真空度，密封效果好，而且结构简单，成本低。
以下结合附图
和实施例对本实用新型进一步说明。附图I是安全阀实施例的剖视简图。图中I.管道连接件，2.阀瓣，3.阀体，4.锁紧螺母，5.螺杆，6.弹簧，7.0形圈，
8.螺钉，9.出气口
具体实施方式
参看附图，中压单晶炉安全阀结构主要由管道连接件(1)，阀瓣(2)，阀体(3)，锁紧螺母⑷，螺杆(5)，弹簧(6)，0形圈(7)，螺钉(8)，出气口(9)组成，管道连接件⑴和阀体(3)之间通过螺钉(8)连接起来，阀体(3)与螺杆(5)通过螺纹连接，调节好泄压压力后通过锁紧螺母(4)锁紧，以保证泄压值恒定，通过弹簧(6)实现阀瓣(2)的开启与闭合，0形圈(7)安装在阀体(3)与管道连接件⑴之间，形成良好的端面密封。泄压时，拧开锁紧螺母(4)，螺杆(5)被弹簧(6)弹开，同时阀瓣(2)开启，炉内气体从出气口(9)放出，实现泄压，泄压到一定要求值后重新拧紧锁紧螺母(4)，阀瓣(2)关闭，泄压过 程结束。
权利要求1.一种中压单晶炉的安全阀，其特征是结构主要包括管道连接件，阀瓣，阀体，锁紧螺母，螺杆，弹簧，O形圈，螺钉和出气口，管道连接件和阀体之间通过螺钉连接起来，阀体与螺杆通过螺纹连接。
2.根据权利要求I所述的一种中压单晶炉的安全阀，其特征是阀瓣与管道连接件间安装有O形橡胶圈。
专利摘要一种中压单晶炉的安全阀，结构主要由管道连接件，阀瓣，阀体，锁紧螺母，螺杆，弹簧，O形圈，螺钉，出气口组成，管道连接件和阀体之间通过螺钉连接起来，阀体与螺杆通过螺纹连接，调节好泄压压力后通过锁紧螺母锁紧，以保证泄压值恒定，通过弹簧实现阀瓣的开启与闭合，O形圈安装在阀体与管道连接件之间，形成良好的端面密封。
文档编号F16K17/04GK202469099SQ20112039207
公开日2012年10月3日 申请日期2011年10月13日 优先权日2011年10月13日
发明者孙海鸥 申请人:北京京仪世纪电子股份有限公司