一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，包括接头母体和与之适配的插头，接头母体包括中空的接头主体、套筒和弹簧，接头主体的前端设有环形凹槽，环形凹槽的底面上设有滚珠通孔，滚珠通孔内设有滚珠，套筒和弹簧套设于环形凹槽部位，套筒的内壁设有可挤压滚珠使其突出于接头主体内壁的凸缘，弹簧两端分别抵住套筒的凸缘和环形凹槽的侧槽壁；插头外侧设有与滚珠配合的凸起。本发明快速接头可实现工艺冷却水系统用水管快速便捷的断开和接合，断开水管后，即可对水管中的水垢进行清理，清理完毕后再将水管接合，操作十分简便，保证了工艺冷却水系统的稳定运行，大大提高了感应耦合等离子体刻蚀机的生产稳定性。
【专利说明】一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头。
【背景技术】
[0002]感应耦合等离子体刻蚀机主要用于生产晶圆，在生产过程中，有专用工艺冷却水系统对其进行温控，起到保温的作用。
[0003]现有工艺冷却水系统都是直接从水源端通过水管通入感应耦合等离子体刻蚀机中，长期使用后，水管中会堆积很多的水垢，进而很容易造成水管的堵塞，由此，工艺冷却水系统起不到温控和保温的作用，大大影响了晶圆的生产质量，造成大量废品、次品的出现，对企业造成极大的损失。
【发明内容】
[0004]本发明的目的，就是为了解决上述问题而提供了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头。
[0005]本发明的目的是这样实现的:
[0006]本发明的一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，包括接头母体和与之适配的插头，所述接头母体包括中空的接头主体、套筒和弹簧，其中，
[0007]所述接头主体的前端设有环形凹槽，所述环形凹槽的底面上设有滚珠通孔，所述滚珠通孔内设有滚珠，所述套筒套设于所述接头主体的环形凹槽部位，且所述套筒的内壁设有可挤压滚珠使其突出于所述接头主体内壁的凸缘，所述弹簧套设于所述接头主体的环形凹槽部位，且该弹簧两端分别抵住所述套筒的凸缘和所述接头本体环形凹槽的侧槽壁；
[0008]所述插头外侧设有与所述滚珠配合的凸起，且所述插头的外径从其前端至所述凸起处渐增。
[0009]上述的一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，其中，所述滚珠通孔的内径由所述接头主体内壁端朝外渐增。
[0010]本发明快速接头可实现工艺冷却水系统用水管快速便捷的断开和接合，断开水管后，即可对水管中的水垢进行清理，清理完毕后再将水管接合，操作十分简便，保证了工艺冷却水系统的稳定运行，大大提高了感应耦合等离子体刻蚀机的生产稳定性。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是本发明接头母体的剖视图；
[0012]图2是本发明插头的剖视图；
[0013]图3是本发明接头母体和插头的装配示意图。
【具体实施方式】
[0014]下面将结合附图，对本发明作进一步说明。[0015]请参阅图1和图2，本发明用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头包括接头母体I和与之适配的插头2。
[0016]请参阅图1，接头母体I包括中空的接头主体11、套筒12和弹簧13，其中，接头主体11的前端设有环形凹槽111，环形凹槽111的底面上设有滚珠通孔112，滚珠通孔112内设有滚珠13，滚珠通孔112的内径由接头主体11内壁端朝外渐增,套筒12套设于接头主体11的环形凹槽111部位，且套筒12的内壁设有可挤压滚珠13使其突出于接头主体11内壁的凸缘121，弹簧13套设于接头主体11的环形凹槽111部位，且该弹簧13两端分别抵住套筒12的凸缘121和接头本体11环形凹槽111的侧槽壁；
[0017]请参阅图2，插头2外侧设有与滚珠112配合的凸起21，且插头2的外径从其前端至凸起21处渐增。
[0018]请参阅图3，装配时，将插头2插入到接头母体I内，由于插头2的外径从其前端至凸起21处渐增，插头2前端的外壁可逐渐推动滚珠13沿着滚珠通孔112朝外移动，当插头2的凸起21通过滚珠13后，由于此处插头2的外径骤减，滚珠13在套筒12凸缘121的挤压作用下突出于接头主体11的内壁，进而抵住插头2的凸起21，使得插头2被锁紧于接头母体I内。
[0019]当拆卸时，推动套筒12向后侧移动，同时向外拔出插头2，此时滚珠13沿着滚珠通孔112朝外移动，使得插头2的凸起21可自由地向外移动，进而插头2离开接头母体1，套筒12在弹簧回复力的作用下复位。
[0020]以上实施例仅供说明本发明之用，而非对本发明的限制，有关【技术领域】的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本发明的范畴，应由各权利要求所限定。
【权利要求】
1.一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，包括接头母体和与之适配的插头，其特征在于，所述接头母体包括中空的接头主体、套筒和弹簧，其中， 所述接头主体的前端设有环形凹槽，所述环形凹槽的底面上设有滚珠通孔，所述滚珠通孔内设有滚珠，所述套筒套设于所述接头主体的环形凹槽部位，且所述套筒的内壁设有可挤压滚珠使其突出于所述接头主体内壁的凸缘，所述弹簧套设于所述接头主体的环形凹槽部位，且该弹簧两端分别抵住所述套筒的凸缘和所述接头本体环形凹槽的侧槽壁； 所述插头外侧设有与所述滚珠配合的凸起，且所述插头的外径从其前端至所述凸起处渐增。
2.如权利要求1所述的一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，其特征在于，所述滚珠通孔的内径由所述接头主体内壁端朝外渐增。
【文档编号】F16L37/23GK103867831SQ201210552689
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2012年12月18日 优先权日:2012年12月18日
【发明者】黄惠良, 李雪峰, 陈子勇 申请人:上海鸿辉光通科技股份有限公司