通过线性移动以气密方式闭合流动路径的真空阀和闭合构件的制作方法

通过线性移动以气密方式闭合流动路径的真空阀和闭合构件的制作方法
【专利摘要】本发明涉及用于通过线性移动以气密方式闭合流动路径（F）的真空阀（1），该真空阀包括：闭合构件（5），其可线性地移位；阀外壳（2）的第一密封面（10），该第一密封面闭合开口（3）；以及，闭合构件（5）的第二密封面（11），该第二密封面对应于第一密封面（10）。在闭合位置（C），第二密封面(11)与第一密封面（10）密封接触，所述接触在闭合方向（8）上压到第一密封面（10）上，并且闭合构件（5）以气密方式闭合开口（3）。在开口（3）与第一密封面（10）之间的区域，阀外壳（2）包括封闭开口（3）的第一倾斜面（22），闭合构件（5）包括平行于第一倾斜面（22）延伸并且对应于第一倾斜面（22）的第二倾斜面（23）。相对于几何调整轴线（6）具有在3度至15度之间的倾斜角（24）的倾斜面（22,23）相对于彼此定位使得在闭合构件（5）的闭合位置（C），第二倾斜面（23）被布置在与第一倾斜面（22）相对的平行位置，而彼此间具有0至0.6mm的距离（v）。
【专利说明】通过线性移动以气密方式闭合流动路径的真空阀和闭合构件
[0001]本发明涉及根据权利要求1的前序部分所述的通过线性移动以气密方式闭合流动路径的真空阀以及根据权利要求11的前序部分所述的对应的闭合构件。
[0002]根据权利要求1的前序部分所述的真空阀和根据权利要求11的前序部分所述的闭合构件特别地已知为由瑞士的Haag的VAT Vakuumventile AG公司开发为产品名称为“M0N0VAT系列02和03”的矩形插入阀的输送阀的形式。这种阀的设计和操作方法在例如US4, 809, 950 (Geiser)和 US4, 881，717 (Geiser)中以示意性的方式被描述。
[0003]一般而言，从现有技术的各种实施方式已知以基本上气密的方式闭合流动路径的真空阀，所述流动路径引导通过在阀外壳中实现的开口。真空闸阀特别地用于集成电路和半导体的生产领域中，集成电路和半导体的生产必须在受保护的气氛中进行，在可能的情况下不存在污染的粒子。例如，在用于半导体晶片或液晶基板的制造厂中，高度敏感的半导体或液晶元件循序地运行穿过若干处理室，在这些处理室中，位于处理室内的半导体元件均由处理装置进行处理。在处理室内的处理过程期间和从处理室到处理室的传送期间，高度敏感的半导体元件必须总是处于受保护的气氛中，尤其处于真空中。处理室例如由通路连接在一起，能利用真空闸阀打开处理室以将零件从一个处理室输送到下一个处理室并且随后以气密方式闭合这些处理室以执行相应的处理阶段。这些类型的阀根据所描述的应用领域也被称作真空输送阀，并且由于它们的矩形开口截面也被称作矩形闸阀。
[0004]在使用输送阀时，尤其是在制造高度敏感的半导体元件期间，特别地由于致动阀而造成粒子的生成，并且必须保持阀室中的自由粒子数量尽可能低。粒子的生成主要是由于摩擦，例如由于金属与金属接触以及由于研磨的结果。
[0005]对于结合真空阀使用的密封件的要求很高。一方面，在阀的闭合状态下，必须确保阀的紧密性。由于真空区域中的高差压和因此造成的作用于阀闭合件上的较大力，因而这为巨大的挑战。如在过量挤压的情况下，所使用的密封件经受高于平均值的高水平的磨损或者被破坏，阀的设计必须使得差压力不能作用于密封件上或者仅可以以被限制的方式作用于密封件上。此外，密封件上的横向负荷和纵向负荷保持得尽可能小。尤其是，在相对于密封件的纵向方向位于横向上的横向负荷的情况下，利用O形环密封件，存在O形环密封件从它们的保持件(尤其为固定它们的凹槽)脱离的风险。即使硫化密封件也仅可以暴露于很有限的横向力。在阀的打开状态和闭合状态下，密封件部分地暴露于侵蚀性介质，并且因此必须被形成为使得它们能耐受这样的影响和/或它们从介质的流动路径移出，因此也避免研磨。对密封件造成的过量的磨损表示处理可靠性的不确定因素并且需要定期更换密封件,这继而导致处理中增加的停工时间。
[0006]真空阀，尤其是该真空阀的密封及驱动技术的各种实施方式为现有技术中已知的，并且除了其它方面之外其目的是为了增加所使用的密封件的使用寿命以及改进处理可靠性。
[0007]基于相应的驱动技术，特别地在闸阀(也被称作阀门或矩形闸门)与梭阀之间进行区别，现有技术中的闭合和打开在大部分情况下以两个阶段来实现。在第一阶段中，阀闭合构件(尤其为闭合致动器)在例如从US6，416，037 (Geiser)或US6，056, 266 (Blecha)已知的特别地L形闸阀的情况下基本上平行于阀座在开口上线性地移位，或者阀闭合构件(尤其为闭合致动器)在例如从US6，089, 537 (Olmsted)已知的梭阀的情况下，绕枢转轴线在开口上枢转，同时在闭合致动器与阀外壳的阀座之间并不发生任何接触。在第二阶段中，闭合致动器借助其闭合侧压到阀外壳的阀座上，使得以气密方式闭合开口。例如能借助布置于闭合致动器的闭合侧上并且压到绕开口延伸的阀座上的密封件或者借助阀座(闭合致动器的闭合侧压到该阀座上)上的密封环来实现密封。尤其为密封环的密封件可被保持在凹槽中和/或硫化于该凹槽中。
[0008]从现有技术，例如从US6，629，682B2 (Duelli)已知各种密封装置。用于密封环的合适材料为例如以商标名称Viton?已知的。
[0009]除了以精确的方式控制通流的可能性之外，所述的两阶段移动的首要优点在于密封件主要仅被竖直地挤压，而不使密封件在横向上或纵向上承受负荷，在所述两阶段移动中，闭合构件首先在横向上被推到开口上而不与阀座进行密封接触并且闭合构件随后基本上被竖直地压到阀座上。但是，尤其由使得闭合构件能够进行L形移动的单个驱动器或者由多个驱动器(例如两个线性驱动器，或者一个线性驱动器和一个扩展驱动器)形成的驱动器的相对复杂的设计是不利的。扩展驱动器在大部分情况下布置于闭合致动器的紧后方并且相对于这些扩展驱动器所在的轴在竖直方向上向阀座上调整所述闭合致动器，这些扩展驱动器也具有以下缺点:相对于彼此执行相对移动的许多机械零件布置在阀内部。这一方面增加了设计复杂性，并且另一方面，生成了对处理有害的摩擦粒子。多阶段移动的另一缺点在于，在完全打开状态与完全闭合状态之间闭合构件的调整速度是有限的。单纯地以线性方式调整的楔形阀的确能具有高调整速度，但由于密封件上的横向负荷因此仅适合于以有限的方式用作真空区域中的主要密封件，并且如果可以，那么仅用于几个调整周期。
[0010]利用闸阀来解决所述问题，在所述闸阀中，闭合和密封操作确实受到单个线性移动影响，但密封件的几何形状使得完全避免密封件上的横向负荷。这种阀为例如由瑞士的Haag的VAT Vakuumventile AG公司生产的输送阀，该输送阀以产品名称“M0N0VAT系列02和03”被已知并且被开发为矩形插入阀。这种阀的设计和操作方法在例如US4, 809, 950 (Geiser)和 US4, 881，717 (Geiser)中被描述。
[0011]本文所描述的阀在其外壳中具有密封面，当在阀通路开口的轴线方向上观看时，该密封面具有前后接连地定位的部分并且这些部分借助恒定地延伸的弯曲而会聚到在侧向上向外延伸的平坦密封面中，然而，具有若干部分的所述一体式密封面的假想母线平行于阀通路开口的轴线定位。对密封面进行机械加工。闭合构件具有与所述密封面相对应并且用于周向闭合密封件的支承面。更详言之，所谓的阀门具有闸外壳和闸通路开口，可由能在该闸通路开口的平面内移位的闭合构件来闭合该闸通路开口。在该闸通路开口的区域内设有密封面，在闭合构件的闭合位置，布置于所述密封面上的周向闭合的密封件抵靠该密封面，密封面的假想的直母线平行于闸通路开口的轴线定位。周向闭合的一体式密封件具有位于不同平面中的各种长度和/或形式的部分，周向闭合的密封件的两个主要部分位于与闸通路开口的轴线成直角并且彼此间隔开的平面中。密封件的两个主要部分由侧部连接。对于外壳的密封面的改进而言，闭合构件具有以对应方式延伸并且支承周向闭合的密封件的面。周向闭合的密封件的侧部以U形方式延伸。以U形方式延伸的所述侧部的腿均位于一平面中。密封面的当在闸通路开口的轴向方向上观看时前后接连地定位的部分会聚到平坦的密封面部分内，所述平坦的密封面部分在侧向上向外延伸以在以下区域中抵接密封件的主要部分，在该区域中，所述平坦的密封面部分具有共同的、直的、且轴向平行的母线。所述平坦的密封面部分位于彼此平行并且平行于闸通路开口的轴线的平面中。
[0012]用于可通过线性移动闭合的这样的输送阀的合适驱动器被提供于JP6241344(Buriida Fuuberuto)中。其中所描述的驱动器具有偏心安装的杆，以使供安装闭合构件的连接杆线性地移位。
[0013]除了其它方面，US2008/0053957A1 (Wakabayashi)描述了用于基板处理系统的阀门，所述阀门具有扭结或弯曲的阀截面，并且所述阀门可通过多阶段L形移动或通过线性移动而闭合。
[0014]参考图8a和图Sb在下文中描述从现有技术已知并且描述于US4, 809, 950 (Geiser)中的阀门。其中仅以示意性方式示出的阀门具有圆形开口截面以便于更好地示出密封面的改进，而由瑞士的Haag的VAT Vakuumventile AG公司以产品名称“M0N0VAT系列02和03”已知并且开发为矩形插入阀的输送阀具有矩形开口截面，该矩形开口截面的宽度显著地大于其高度。
[0015]如在图8a中所示，通过线性移动以气密方式闭合流动路径的阀101具有阀外壳102，阀外壳102具有用于流动路径的开口 103，开口 103具有沿着流动路径的几何开口轴线104。在图8b中示出的闭合构件105能够在闭合构件平面107中沿着相对于开口轴线104在横向上延伸的几何调整轴线106以线性方式在闭合方向108上从释放开口 103的打开位置移位至被线性地推到开口 103上的闭合位置中，并且能够在打开方向109上反向地往回移动，如图8a所示。
[0016]图8a和图8b以拆卸状态单独地示出了阀外壳102和闭合构件105，特别地调整轴线106说明了这两个部分102和105的相对位置和可调整性。
[0017]弯曲的第一密封面110包围阀外壳102的开口 103。闭合构件105的与第一密封面110对应并且具有与该第一密封面110对应的形式的第二密封面111布置于闭合构件105上。在下文中主要描述阀外壳102的第一密封面110的设计。由于与第一密封面110对应的等效设计，因此可免去对相对应的第二密封面111的详细描述。
[0018]例如呈硫化密封件或O形环形式的密封件(未图示)优选地布置于第二密封面111和/或第一密封面110上，所述密封件沿着相应的密封面，尤其是沿着所示的点划线延伸。为了简化起见，密封面110和111将在下文中被描述为密封作用面，其为密封件或阀座。
[0019]第一密封面110由都不平行于调整轴线106的各个形成部分112a、112b、114a、114b组装而成。第一密封面110的部分112a、112b、114a、114b的表面法线120具有均平行于调整轴线106的方向分量。换言之，第一密封面110的所有表面法线120都至少部分地(即以一定方向分量)指向打开方向109，如在图8a中由以短线示出的表面法线120所示的。同样，换言之，第一密封面110竖直或倾斜地指向打开方向109并且并无任何部分平行于调整轴线106延伸。因此，第一密封面的表面法线120都不平行于由调整轴线106竖直地穿过的几何法向平面延伸。
[0020]图8a的第一密封面110的第一主要部分112a以及图8b的第二密封面111的对应的第一主要部分112a’沿着几何第一主要平面113a延伸。第一主要部分112a的表面法线120位于第一主要平面113a中。相比而言，图8a的第一密封面110的第二主要部分112b以及图8b的第二密封面111的对应的第二主要部分112b’沿着几何第二主要平面113b延伸。所述主要部分112b的表面法线120位于第二主要平面113b中。第一主要平面113a和第二主要平面113b彼此间隔开，平行于彼此并且平行于闭合构件平面107延伸。因此，第一主要部分112a和相对的第二主要部分112b相对于彼此具有相对于调整轴线106在横向上和在开口轴线104的方向上的几何偏移。开口 103在沿着调整轴线106延伸的区域中布置于两个相对的主要部分112a与112b之间。
[0021]第一密封面110的侧向第一 U形侧部114a在第一密封面110的一侧连接第一主要部分112a和第二主要部分112b，而第一密封面110的侧向第二 U形侧部114b在第一密封面110的另一侧连接第一主要部分112a与第二主要部分112b。
[0022]第一 U形侧部114a和第二 U形侧部114b均具有:与第一主要部分112a相关联的第一腿115a ;与第二主要部分112b相关联的第二腿115b ;以及基部115c。两个第一腿115a均沿着第一腿平面延伸，所述第一腿平面均平行于调整轴线6并且均位于第一主要平面113a上。换言之，第一主要部分112a和两个第一腿115a沿着一平面(即第一主要平面113a)延伸，第一腿115a和第一主要部分112a的表面法线位于所述第一主要平面113a中。而两个第二腿115b均沿着第二腿平面延伸，所述第二腿平面平行于调整轴线6并且均位于第二主要平面113b上。换言之，第二腿115b和第二主要部分Ilb沿着一平面(即第二主要平面113b)延伸，两个第二腿115b和第二主要部分112b的表面法线位于所述第二主要平面113b中。也像第一主要部分112a和第二主要部分112b那样，因此两个第一腿115a相对于两个第二腿115b具有相对于调整轴线106在横向上并且在开口轴线104的方向上的几何偏移。
[0023]第一 U形侧部114a和第二 U形侧部114b的各基部115c均将第一腿115a与第二腿115b连接在一起并且在平行于开口轴线104的方向上桥接相对于调整轴线106在横向上的几何偏移。两个基部115c位于公共的几何平面E上，该公共的几何平面E由调整轴线106竖直地穿过并且平行于开口轴线104定位。
[0024]通过使闭合构件105以线性方式沿着调整轴线106在闭合方向108上移位，第二密封面111可移动到闭合位置中，在该闭合位置，第二密封面111在闭合方向8上被压在第一密封面110上并且因此与第一密封面110密封接触，因此，闭合构件105借助其侧向闭合面119以气密方式闭合开口 103。
[0025]从现有技术已知并且可通过单一线性移动而闭合的所述真空阀相对于可由两种移动闭合并且需要相对复杂设计的驱动器的输送阀或者相对于以横向方式作用于密封件的楔形阀具有许多优点。由于上述的真空阀的闭合构件为一体式的，因此其可暴露于高加速度力，使得所述阀也可用于快速作用和紧急闭合。可通过单一线性移动来实现闭合和密封，使得能进行阀的很快速的闭合和打开。周向密封件在其所有部分中提供了用于多种闭合操作的明显可再现的条件。如在闭合期间和当出现闭合压力时，基本上仅在竖直方向到密封件上的线性闭合移动的方向上或者部分地在纵向上，但不相对于纵向延伸部在横向上对密封件起作用，从而避免了对密封件的横向力，所述真空阀适合用于真空和高真空范围内的高品质的密封任务。密封面也可被机械加工以便满足对密封件的高要求。闭合构件本身具有尽可能少的朝向彼此移动的部分，因此，能以广泛的方式避免对处理有害并且尤其是由摩擦特别地由金属研磨造成的粒子和金属与塑料材料元件的研磨粒子的生成。
[0026]然而，如从图8a和图8b可以看出，所述的阀101的缺点在于，在侧向上靠近开口103布置的两个侧部114a和114b相对于开口 103的宽度增加了阀外壳102的宽度。因此两个密封面110和111的U形过渡区域增加了阀外壳102在宽度上的延伸。与具有L形移动改进的L型闸阀相比，所述的可线性调整的阀101相对较宽。在多种应用的情况下，这不成问题，然而存在尤其输送阀的操作范围，其中，开口宽度应尽可能大同时维持预定的外壳宽度。当然能使主要部分112a和112b的侧面以更陡的方式上升并且因此使表面法线120与调整轴线106之间的角度变大，因此，密封面110和111的对准将接近相对于调整轴线106的平行对准，但是因此，密封件上的纵向负荷将在陡侧面的区域中沿着其纵向扩展而增力口。这确实相对于开口宽度减小了阀的安装宽度，但密封件将经受更大的磨损。
[0027]所述的阀的重要优点在于，由于其改进，因此在闭合期间，密封件并不经受至密封件的纵向延伸部的横向上的横向负荷。另一方面，由于其相对于开口轴线104的横向延伸部，因此密封件难以吸收以下力，这些力沿着开口轴线104产生并且尤其在闭合构件105存在大量差压力的情况下作用于闭合构件105上，这需要闭合构件105、其驱动器和其安装布置以坚固的方式设计。
[0028]尽管所述的阀已经具有非常小的粒子生成的区别特征，但还尝试来进一步减少阀中不希望的粒子的生成。
[0029]在许多处理中，使用侵蚀性气体，例如侵蚀性等离子体流，其在很大程度上化学攻击密封件的密封材料。这特别地为半导体行业的领域中的蚀刻处理或涂布处理中的情况。即使在闭合构件的闭合位置中，尤其是在闭合的阀盘的情况下，在所述介质移动到动态主要密封件并且被其阻挡时，阀盘的动态主要密封件恒定地暴露于存在于阀一侧的侵蚀性介质。因此，阀盘的动态主要密封件暴露于侵蚀性介质并且经受一定的增加的磨损量。
[0030]由于半导体技术发展的结果，在近些年来对于真空阀技术的需求不断地增加。因此新的半导体制造方法需要以甚至更短的间隔来替换真空阀的密封件。从现有技术目前已知的真空阀能使得部分地更换密封件，例如通过更换被实现为静态密封件的O形环。但相比而言，真空阀和其连接件具有硫化的静态密封件，使得不能快速地更换密封件，从而有时必须要更换整个阀盘。
[0031]因此，所提到类型的真空阀被常规地设计为能简单地更换动态密封件，例如，通过移除供布置密封件的阀盘和用新的阀盘来替换该阀盘。被设计用于该目的的真空闸阀在US7, 134, 642 (Seitz)中被描述，该真空闸阀提供了用于简单地移除阀盘的维护开口以及适于在阀盘与阀驱动器的连接杆之间进行快速更换的接口以及合适的操作工具。
[0032]但是，即使相对快速、简单地更换一个或多个密封件或者整个阀闭合件也需要中断处理，从而可能使室充满环境空气和使用替换零件。将期望延长密封件的使用寿命并因此延长维护与更换间隔。
[0033]因此，本发明的目的在于提供一种用来以基本上气密的方式中断流动路径的阀以及对应的闭合构件，所述闭合构件的动态密封件具有延长的使用寿命。
[0034]本发明的再一目的在于形成一种在导言中提到的类型的真空阀以及对应的闭合构件，其特征在于简单的设计、高调整速度、密封件上的较小负荷、减小的安装宽度和增加的载荷能力。[0035]通过实现独立权利要求的特征来实现所述目的。以替代或有利的方式进一步改进本发明的特征能够在从属权利要求中找到。
[0036]如本发明中所要求保护的、用于通过线性移动以气密方式闭合流动路径的真空阀包括:阀外壳，所述阀外壳具有用于流动路径的开口 ；以及能够沿着调整轴线以线性方式移位的闭合构件。所述流动路径通常应被理解为在两个区域之间，尤其为例如用于太阳能或其它应用的任何类型的两个涂布设施之间，或者在用于半导体制造的处理室与另一处理室或外界之间的待被闭合的开口路径。所述流动路径例如为位于两个互连的处理室之间的通道，该通道能够借助真空阀打开处理室以将半导体零件从一个处理室输送到下一个处理室并且随后以气密方式闭合这些处理室来执行相应生产步骤。由于所描述的应用领域，因此这些类型的阀也被称作真空输送阀，并且由于它们的矩形截面因此在大部分情况下也被称作矩形闸门。但显然，如在本发明中所要求保护的、用于以基本上气密的方式闭合任意流动路径的真空阀的任何其它任意应用也是可行的。
[0037]开口能够具有任意的、尤其为矩形的、圆形的或椭圆形的截面。真空阀优选地被实现为输送阀，所述输送阀具有细长的、尤其为基本上矩形的开口截面，与调整轴线成直角的开口宽度优选地为平行于调整轴线的开口高度的至少两倍或至少三倍或至少五倍。但是，也能够以另外的方式来改进开口截面，例如以圆形方式，真空阀例如为泵阀。开口具有这样的中心轴线，该中心轴线在开口的区域中在平行于所述流动路径的流动路径的中心延伸。所述几何开口轴线例如竖直地立于由开口跨越的面上并且沿着流动路径延伸。
[0038]闭合构件大体上为能够以气密方式闭合开口的闭合件。可实现为阀盘的闭合构件能够在闭合构件面中在打开位置与闭合位置之间沿着相对于开口轴线在横向上延伸几何调整轴线以线性方式移位。调整轴线优选地相对于开口轴线竖直地延伸并且位于由开口轴线竖直地穿过的平面上。作为此另选方式，调整轴线倾斜于因此不平行于开口轴线延伸，相交角尤其在90度至45度之间。几何调整轴线位于几何闭合构件面上。闭合构件面能够平行于由闭合元件限定的闭合面延伸并且优选地基本上平行于由开口跨越的面。闭合构件面大体上应被理解为这样的几何面，调整轴线位于该几何面上并且在特定实施方式中开口轴线形成该几何面的表面法线，而与闭合面的实际形式无关。
[0039]在闭合构件的打开位置，该闭合构件通过被部分地或完全地布置于开口的投影范围外侧而部分地或完全地释放开口。在闭合位置，闭合构件完全位于开口的投影范围内，闭合构件的闭合面指向开口并且优选地完全覆盖开口。闭合构件的沿着调整轴线从打开位置到闭合位置的调整方向被称作闭合方向，而从闭合位置到打开位置的相反的调整方向被定义为打开方向。
[0040]所述开口由与阀外壳相关联的、至少部分地弯曲的第一密封面包围。这意味着第一密封面完全布置于开口周围。形式与第一密封面对应的第二密封面位于闭合构件上。因此第二密封面与第一密封面对应，这些密封面具有彼此相对应的形式而使得第二密封面能够被安置于第一密封面上，这些密封面沿着它们的伸展部在平行于调整轴线的方向上以恒定的量间隔开。闭合构件的第二密封面包围该闭合构件的以下闭合面，该闭合面的尺寸使得其能完全覆盖开口。
[0041]第一密封面和第二密封面彼此相对地定位，因此能够通过沿着调整轴线来调整闭合构件而减小或增加到相对位置的间隔。[0042]在闭合构件的闭合位置，第二密封面位于第一密封面上，通过在闭合方向上将第二密封面压到第一密封面上而在这些密封面之间获得气密接触。
[0043]第一密封面和第二密封面均由各个形成部分组装而成，各个形成部分均不平行于调整轴线。换言之，第一密封面和第二密封面的这些部分的表面法线均具有平行于调整轴线的方向分量。因此，第一密封面竖直地或倾斜地指向打开方向，并且第二密封面竖直地或倾斜地指向闭合方向。如果这些密封面在闭合位置一个位另一个之上并且在闭合方向上被彼此压靠，则位于它们之间的密封件并不仅在纵向上或甚至在横向上被作用，而且至少部分地被恒定、竖直地挤压。第一密封面和第二密封面的单独部分彼此对应，只要它们在闭合位置一个位于另一个之上即可。因此，在下文中仅部分地描述第一密封面的相应部分。
[0044]一般而言，阀外壳和闭合构件的在闭合位置一个位于另一个之上并且形成密封接触的那些面将被视为密封面。因此，一个密封面能够由尤其为O形环密封件或硫化密封件的密封件的竖直地指向外的部分形成，并且另一密封面由作为密封件的支承面的阀座形成。这些密封面因此为实际上由于在闭合位置的相互接触而形成气密密封的那些面。密封件能够优选地布置于闭合构件上，而作为其另选形式，也可以布置于阀外壳上或两个零件上。
[0045]第一密封面和第二密封面均具有基本上沿着几何第一主面延伸的第一主要部分。换言之，第一主要部分均沿着第一主面在纵向上延伸。第一主要部分能够在第一主面中或基本上沿着第一主面以笔直或非笔直的方式延伸。特别地，所述第一主要部分能够具有弯曲形状。第一主要部分并非强制地必须以几何精确的方式在第一主面中延伸。
[0046]此外，第一密封面和第二密封面均具有第二主要部分，在特定实施方式中该第二主要部分的形状能够基本上对应于第一主要部分。但是，第一主要部分和第二主要部分还可以具有不同的形式。第一密封面和第二密封面的各第二主要部分沿着公共的几何第二主面延伸，就像第一主要部分那样，其也能在第二主面中以笔直或非笔直的方式延伸，或者仅基本上沿着第二主面延伸。
[0047]几何第一主面和几何第二主面基本上彼此平行地延伸，略微歪斜的位置也是可以的，并且几何第一主面和几何第二主面至少在密封面的区域中间隔开。第一主面和第二主面基本上平行于闭合构件面定位。闭合件轴线因此基本上平行于第一主面和第二主面延伸。由于两个主面之间的间隔，因此第一主要部分和相对的第二主要部分相对于彼此具有基本上在开口轴线的方向上相对于调整轴线在横向上的几何偏移。
[0048]开口在沿着调整轴线延伸的区域中被布置在阀外壳的第一密封面的第一主要部分与相对的第二主要部分之间。闭合构件的闭合面位于第二密封面对第一主要部分与第二主要部分之间。
[0049]第一密封面的侧向第一 U形侧部在第一密封面的一侧将第一主要部分与第二主要部分连接在一起，而第一密封面的侧向第二 U形侧部在第一密封面的另一侧将第一主要部分与第二主要部分连接在一起，因此，第一密封面被闭合。相对应的U形侧部被布置于第二密封面上。
[0050]第一 U形侧部和第二 U形侧部均由与第一主要部分相关联的第一腿和与第二主要部分相关联的第二腿组装而成，并且在特定实施方式中，所述第一 U形侧部和第二 U形侧部均由由第一腿、第二腿以及基部形成。所述基部例如实现为二维弓形、平面或螺旋的三维区段，或者具有用来连接所述腿的另外的形式。
[0051 ] 第一密封面的第一 U形侧部的第一腿尤其基本上沿着第一 U形侧部的第一腿平面延伸。第一密封面的第二 U形侧部的第一腿也尤其基本上沿着第二 U形侧部的第一腿平面延伸。第一密封面的所述两个第一腿平面优选地平行于调整轴线延伸。换言之，两个第一腿均沿着平行于调整轴线的第一腿平面延伸。如也在主面的情况下，并非强制地需要第一腿精确地位于第一腿平面上。例如，这些腿也可以沿着腿平面的略微弯曲地伸展。作为此另选方式，这些腿可位于自由形式的面上。
[0052]第一密封面的两个第二腿也尤其均基本上沿着第二腿平面延伸，所述第二腿平面均平行于调整轴线延伸。在特定实施方式中，所述第二腿平面可由第二主面形成。
[0053]第一腿和第二腿均相对于彼此具有相对于调整轴线在横向上的几何偏移。在特定实施方式中，所述偏移能够对应于两个主要部分的偏移。均布置于一对腿之间的各基部均将第一腿和第二腿连接在一起并且桥接相对于调整轴线在横向上的几何偏移。
[0054]如在本发明的第一方面中所要求保护的，在阀的闭合位置，不仅在阀的两个主要密封面之间产生密封接触，而且，由于在开口周围或在闭合构件上的不平行于闭合构件的调整轴线布置的两个倾斜面，因此由处于闭合位置的两个倾斜面在开口区域与密封面之间形成屏障，处于闭合位置的两个倾斜面处于靠近或接触相对位置并且因此保持侵蚀性介质大程度地远离阀的两个主要密封面。换言之，两个倾斜面形成在开口与主要密封件之间起作用的楔状附加密封件或者预密封件。
[0055]阀外壳在开口与第一密封面之间的区域中具有包围开口的第一倾斜面。换言之，在开口与第一密封面的不同部分之间径向地延伸的尤其为环形或框形的第一倾斜面布置于开口周围。第一倾斜面优选地在内侧由开口直接地或间接地限定并且在外侧由第一密封面限定。闭合构件具有第二倾斜面，该第二倾斜面平行于第一倾斜面延伸，与第一倾斜面对应，并且具有第一倾斜面对应的形式。这意味着两个倾斜面在开口的周围的至少一部分中具有在功能上彼此对应的形式并且能够移动成一个位于另一个之上或者几乎一个位于另一个之上，其中沿着开口的外周具有恒定的间隙。
[0056]第一倾斜面和第二倾斜面至少在闭合构件的闭合位置或者也在打开位置(在每种情况下均相对于闭合构件面以一定倾斜角倾斜)都倾斜地站立并且当然略微倾斜地站立，使得阀外壳的第一倾斜面倾斜地指向打开方向并且闭合构件的第二倾斜面倾斜地指向闭合方向。这意味着彼此平行的两个倾斜面不是平行于闭合构件面而是大致平行于该闭合构件面，并且也不平行于调整轴线而是大致平行于该调整轴线，而是相对于调整轴线倾斜地站立，即以所提到的特定倾斜角站立。第一倾斜面和第二倾斜面在它们的几何延伸部中以所提到的特定倾斜角与几何调整轴线相交。
[0057]如在本发明中所要求保护的，所述倾斜角在3度至15度之间。换言之，两个倾斜面被设定为相对于闭合构件面以3度至15度之间的角倾斜。
[0058]第一倾斜面和第二倾斜面相对于彼此定位成在闭合构件的闭合位置，第二倾斜面被布置在与第一倾斜面相对的平行位置，其中第一倾斜面和第二倾斜面相对于彼此具有在O至0.6_之间的相对间隔。换言之，两个倾斜面能够通过将闭合构件从打开位置调整到闭合位置而在闭合方向上以楔状方式朝向彼此移动，使得在闭合位置这些倾斜面之间的竖直间隔仅仍在O至0.6mm之间，并且因此防止承靠在阀的开口上的侵蚀性介质直接渗透到阀的第一密封面和第二密封面。在开口周围的间隔优选地为基本上相同的值，其中小于10%优选地为不合格的。只要间隔等于0，则在开口周围在这些倾斜面之间存在接触。
[0059]在可行的实施方式中，阀外壳的第一倾斜面和闭合构件的第二倾斜面都以非弹性的方式实现。这是指两个倾斜面不包括所希望的弹性材料的情形。尤其是，两个倾斜面为阀外壳或闭合构件的基本材料的加工面。尤其是，两个倾斜面由金属面形成。在所述实施方式中，真空阀被实现为使得在闭合构件的闭合位置倾斜面之间的间隔尽可能小，但避免两个倾斜表面之间相对于彼此的触碰接触。在使用两个金属倾斜面的情况下，这样的接触将导致摩擦粒子的生成，因此，由于粒子的生成而可能会危及处理的纯度。基于侵蚀性介质的类型，在两个倾斜面之间的间隔在0.05mm至0.6mm的情况下，实现良好的结果，并且在间隔在0.05mm至0.3mm之间的情况下实现最佳的结果。由于小于0.6mm的这种小间隙，因此侵蚀性介质不再能不受阻碍地传递到主要密封件而使得所述密封件受到大程度的保护。
[0060]为了以大程度上完全的方式保护主要密封件避免与侵蚀性介质直接接触，本发明还设置为将第一倾斜面或第二倾斜面由附加的弹性密封件形成。也可以使第一倾斜面和第二倾斜面两者都由附加的弹性密封件形成。在此情况下，在闭合构件的闭合位置，两个倾斜面之间的间隔等于O。换言之，在此情况下，两个倾斜面在闭合位置彼此触碰并且尤其是略微受到挤压，使得由倾斜面在开口周围形成至少略微密封的接触，因此，保护位于外侧更远的主要密封面(尤其是弹性主要密封件)。至少一个附加的弹性密封件例如能由O形环形成，所述O形环布置于阀外壳和/或闭合构件上的凹槽中。O形环可具有任意的截面，但优选地为圆形截面、肾形界面或X形截面。具有这种类型的截面的O形环是已知的，例如由TRELLEB0RG制造的商标名称QL'ADRINGK,。作为此另选方式，能由硫化于阀外壳上和/或闭合构件上的密封件形成附加的弹性密封件。
[0061]为了不仅保护主要密封件而且也附加地能够对由可由阀分开的两个区域进行电屏蔽，本发明在进一步改进的框架内设置为阀外壳的第一倾斜面实现为导电金属面，该导电金属面在电势方面与阀外壳耦合并且第二倾斜面实现为闭合的导电保护屏蔽件。所述导电保护屏蔽件在闭合构件上布置成使得在闭合构件的闭合位置，该导电保护屏蔽件完全覆盖开口并且在开口周围电连接到第一倾斜面。在闭合位置间隔等于O以在开口周围产生电接触。由于与阀外壳的所述周围电接触，因此保护屏蔽件与阀外壳以电势方式耦合。
[0062]本发明的进一步改进设置为阀外壳和/或闭合构件尤其在阀外壳的第一倾斜面与第一密封面之间的环状或框架状区域中具有包围第一倾斜面的凹部，所述凹部尤其呈凹槽或底切部的形式，并且所述凹部在阀外壳和/或闭合构件上被布置和扩展成使得在该凹部的区域中，阀外壳与闭合构件之间的间隔为至少为0.8mm,尤其在0.8mm至6mm之间。换言之，沟槽状凹部包围第一倾斜面。所述沟槽状凹部相对于倾斜面的深度优选地在0.8mm至5_之间。借助所述凹部，形成迷宫状湍流结构，该湍流结构使得穿过倾斜面之间的窄区域的介质涡旋，从而所述介质附加地受到阻碍而不能进一步穿透到主要密封面。所述凹部的宽度特别地为其深度的四分之一到四倍，尤其为其深度的二分之一到二倍。
[0063]此外，本发明的第一方面包括闭合构件，尤其为本发明所要求保护的在导言中所描述的真空阀。由于闭合构件的特征已经结合如在本发明中所要求保护的真空阀和其各种进一步改进而直接地或间接地进行了描述，因此参考上文做出的陈述。
[0064]用于通过线性移动以气密方式闭合流动路径的闭合构件具有位于闭合构件面和第二密封面中的几何调整轴线。所述第二密封面由各个形成部分组装而成，这些部分均不与调整轴线平行。第二密封面的这些部分的表面法线具有均平行于调整轴线的方向分量。因此，第二密封面竖直地或倾斜地指向调整轴线的打开方向。第二密封面的第一主要部分基本上沿着几何第一主面延伸。第二密封面的第二主要部分基本上沿着几何第二主面延伸。第一主面和第二主面平行于调整轴线延伸，彼此间隔开，并且基本上平行于闭合构件面延伸。因此，第一主要部分和相对的第二主要部分相对于彼此具有相对于调整轴线在横向上的几何偏移。第二密封面的侧向第一U形侧部在第二密封面的一侧连接第一主要部分与第二主要部分，而第二密封面的侧向第二U形侧部在第二密封面的另一侧连接第一主要部分与第二主要部分。第一 U形侧部和第二 U形侧部均具有:与第一主要部分相关联的第一腿；与第二主要部分相关联的第二腿；以及基部。第一腿和第二腿相对于彼此具有相对于调整轴线在横向上的几何偏移。各基部均连接第一腿与第二腿并且桥接相对于调整轴线在横向上的几何偏移。借助第二密封面，在闭合构件的闭合位置，可通过在调整轴线的闭合方向上以线性方式将第二密封面压到第一密封面上而产生与真空阀的第一密封面的密封接触，从而以气密的方式来闭合真空阀的开口。
[0065]如在本发明中所要求保护的，闭合构件的第二倾斜面布置在第二密封面的那些部分之间的区域中。第二倾斜面相对于闭合构件面以一倾斜角倾斜，使得第一倾斜面倾斜地指向与闭合方向相反的打开方向，并且使得第一倾斜面在其几何延伸部中被几何调整轴线以所述倾斜角相交。所述倾斜角在3度至15度之间。第二倾斜面被实现为在闭合构件的闭合位置，第二倾斜面能够移动到与第一倾斜面相对的平行位置，所述第一倾斜面包围所述开口并且布置在开口与第一密封面之间的区域中。
[0066]如在闭合构件的第一个进一步改进中所要求保护的，第二倾斜面被实现为闭合的导电保护屏蔽件，在闭合位置，借助该保护屏蔽件能够完全覆盖开口。作为此另选方式，第二倾斜面由附加的弹性密封件形成，所述附加的弹性密封件尤其由布置于凹槽中的O形环形成，所述O形环尤其具有圆形截面、肾形截面或X形截面，或者所述附加的弹性密封件由硫化于闭合构件上的密封件形成。
[0067]所提到的本发明的第一方面能够与输送阀的特征组合，所述输送阀在导言中已经被描述，从现有技术中尤其以瑞士的Haag的VAT Vakuumventile AG的产品名称为“M0N0VAT 系列 02 和 03”已知，并且例如在 US4, 809，950 (Geiser)和 US4, 881，717 (Geiser)中被描述。
[0068]在阀和闭合致动器的已知的其余设计的所述情况下，两个第一腿均基本上沿着平行于调整轴线的第一腿平面延伸。两个第二腿也基本上沿着平行于调整轴线的第二腿平面延伸。第一主面、第二主面、闭合构件面、第一倾斜面和第二倾斜面均由几何平面形成。第一腿平面位于第一主面的几何平面上并且第二腿平面位于第二主面的几何平面上。但是主面也可以尤其绕平行于调整轴线的弯曲轴线弯曲或扭结。
[0069]如在本发明的可与本发明的第一方面组合的第二方面中所要求保护的和在本发明的可与本发明的第二方面组合的第一方面中所要求保护的，第一腿平面均相对于与它相关联的第一主面的几何第一切向平面成至少15度的角。换言之，第一腿不在第一主面或第一主要部分的第一切向平面中延伸，而是以至少15度从所述第一主面或第一切向平面枢转出，枢转轴线平行于调整轴线延伸。为了能使第一密封面从第一主要部分过渡到相应的第一腿，而在第一密封面的第一主要部分与两个第一腿之间均布置有第一密封面的第一弯曲部分。沿着第一主面在第一主要部分中延伸的第一密封面在第一主要部分的两端处会聚到各的第一弯曲部分中。从第一主要部分到一个第一弯曲部分和另一个第一弯曲部分的所述相应过渡均实现于几何第一切向平面中。所述一个第一切向平面为在第一主要部分的一端处第一主面的切向平面。所述另一第一切向平面为在第一主要部分的另一端处第一主面的切向平面。两个第一切向平面基本上平行于调整轴线。两个第一腿平面均相对于相应的第一切向平面成至少15度的角。沿着第一主面在第一主要部分中延伸的第一密封面因此以至少15度的角尤其以几何弯曲从第一主面引导出，并且均会聚到相应的第一腿平面中。所述导出和过渡均实现于第一弯曲部分中。换言之，借助所述各第一弯曲部分，沿着第一主面在第一主要部分中延伸的第一密封面因此以所提到的至少15度从第一主面引导出并且会聚到第一腿平面中。各第一弯曲部分因此位于枢转轴线的区域中并且能使第一密封面从第一主面过渡到第一腿平面中。第一弯曲部分能够为几何弯曲，例如弓形、平面之间的扭结或者另外的二维或三维的形状。
[0070]在本发明的进一步改进中，两个第一腿平面也均相对于与它们相关联的第二主面的相邻的几何第二切向平面均成至少约15的角。第一密封面的第二弯曲部分均布置于第一密封面的第二主要部分与两个第二腿之间。沿着第二主面在第二主要部分中延伸的第一密封面均会聚到第二弯曲部分中，从第二主要部分到各第二弯曲部分中的各过渡均实现于第二主面的几何第二切向平面中。两个第二腿平面均相对于相应的第二第一切向平面成至少约15度的角。在第二主要部分中沿着第二主面延伸的第一密封面在第二弯曲部分中从第二主面以至少15度的角尤其以几何弯曲引导出，并且会聚到第二腿平面中。换言之，第一密封面均以至少15度的角从第二主面引导出并且均会聚到两个第二腿平面中。各第二弯曲部分在其形状上能够与相邻的第一弯曲部分对应或者可以以另外的方式改进。在特定实施方式中，第一 U形侧部的各第一腿平面和各第二腿平面基本上彼此平行地延伸，在另一实施方式中，第二 U形侧部的第一腿平面和第二腿平面也基本上彼此平行地延伸。
[0071]换言之，本发明的所述第二方面与在导言中已经描述并且从现有技术已知的通过线性移动以气密方式来闭合流动路径的真空阀的不同尤其在于，其中相对于调整轴线在横向上桥接两个主要部分的几何偏移并且将偏移的主要部分引到一起的两个侧部在开口轴线的方向上以至少15度向内枢转或向外枢转。优选地绕基本上平行于调整轴线的枢转轴线进行的所述侧部的向内或向外的所述枢转使得偏移的密封部分的过渡区域也在开口轴线的方向上并且不仅相对于开口轴线在横向上延伸。在特定实施方式中，尤其在90度的枢转角的情况下，所述过渡区域甚至仅沿着开口轴线延伸。因此，阀外壳变得更窄，而开口宽度保持相同，阀外壳和闭合构件的深度略微变大。
[0072]以令人诧异的方式显示出由于所述侧部的向内或向外的所述枢转也产生很多另外的显著优点。因此，所描述的密封面的三维延伸部被证明为是闭合构件和阀外壳的特别刚硬的扩展部，使得可以转换甚至更大的纵向延伸部，能够以广泛的方式避免在高压差的情况下变形。因此，开口宽度可显著变大，这在用来输送宽半导体和基板单元的输送阀的情况下是特别有利的。此外，侧部的向内枢转使得在现有技术中仅可在闭合方向上承载负荷的密封件现在也能在沿着开口轴线的方向上承载负荷，在此情况下，密封件不再仅相对于其纵向延伸部在横向上作用于侧部中，而是竖直地并且在纵向上作用于侧部。因此，在压差的情况下，密封件可吸收作用于闭合构件上的力的一部分。如在本发明中所要求保护的密封件几何形状在很大程度上对压差不敏感。
[0073]由于在阀外壳中得到的宽度，因此也能利用侧向安装空间来安装线性驱动器。因此线性驱动器被从关键粒子区域移出从而进一步减小了粒子的生成。阀的特征为所述驱动器布置和附加地紧凑的安装方法。由于进行直接的移动传递，因此高加速度也是可能的。
[0074]第一腿平面和/或第二腿平面相对于主面成至少15度的角，即，它们从第一主面或第二主面枢转出来。在本发明的进一步改进中，所述角度为至少30度或至少45度或至少60度。角度最大应为120度，优选地最大为90度。
[0075]第一主面可由几何平面，即第一主要平面形成。在此情况下，两个第一切向平面和第一主要平面一个位于另一个之上使得第一切向平面由第一主要平面形成。第二主面也可由几何平面，即第二主要平面形成，两个第二切向平面和第二主要平面一个位于另一个之上使得第二切向平面由第二主要平面形成。同样可以由闭合构件面提供几何平面并因此提供了闭合构件平面。如果两个主面因此为主要平面，则两个主要部分均在一个平面上延伸。但这些主要部分并非强制地必须以几何精确的方式在第一主要平面或第二主要平面中延伸。这些主要部分能仅基本上沿着第一主要平面或第二主要平面延伸，即，在几何上并不精确地平行于相应的主要平面，例如作为沿着相应的主要平面的弧。
[0076]但对于某些应用而言，有利地，取代使用具有平坦基本截面的阀，而是使用具有弯曲基本截面的阀。在此情况下，闭合构件不具有带平坦闭合构件平面的平坦盘形式，而是具有围绕尤其基本上平行于调整轴线的弯曲轴线至少在一部分中弯曲的基本形式。尤其在宽输送阀的情况下，基本截面的弯曲扩展具有显著的优点。在例如超过60度的大弯曲角的情况下，能相对于开口轴线以倾斜的方式进行通过阀的输送。在90度的弯曲角的情况下，例如能沿着相对于开口轴线例如呈45度的第一输送轴线将半导体元件(尤其为晶片)通过打开的阀移动到处理室内并且使它们沿着第二输送轴线移动通过打开的阀而从处理室出来，所述第二输送轴线相对于第一输送轴线例如呈90度和相对于开口轴线例如呈45度。弯曲的基本截面的另外的优点在于，在闭合构件的闭合位置，阀的稳定性增加。由于由弯曲的基本截面得到的密封面的三维延伸，因此闭合构件和阀外壳的特别刚硬的扩展部甚至以仅15度的弯曲产生，使得能附加地避免在高压差下的变形并且能使开口宽度显著地变大。这特别地在用来输送宽半导体和基板单元的输送阀的情况下是有利的。因此，本发明的另一方面设置为第一主面、第二主面和闭合构件面至少在一部分中弯曲，尤其在若干部分中或者在整个区域中绕弯曲轴线弯曲，所述弯曲轴线尤其基本上平行于调整轴线。至少在所述部分中的弯曲可由圆柱形面或另一自由形式形成。尤其是，第一主面、第二主面和闭合构件围绕弯曲轴线至少部分地以至少15度弯曲，尤其以至少30度，尤其以至少45度，尤其在45度至105度之间的角度弯曲。能绕若干弯曲轴线和在各种弯曲方向上例如以波形弯曲的形式实现弯曲。弯曲轴线优选地基本上平行于调整轴线延伸。但是也可以使弯曲轴线以不平行于调整轴线并且与调整轴线以不等于90度的角相交的方式延伸或者相对于调整轴线以歪斜方式延伸。一般而言，弯曲轴线相对于供调整轴线竖直地穿过的平面以不平行的方式延伸。尤其是，弯曲轴线与所述平面以在90度至60度之间的角，尤其在90度至45度之间的角，尤其在90度至30度之间的角相交。弯曲半径可大于或小于开口宽度或者等于开口宽度。该半径也可较小使得弯曲提供扭结。在本发明的特定实施方式中，弯曲轴线与开口轴线相交，尤其以大约90度的相交角相交。
[0077]主要部分可具有沿着主面的任意扩展部。例如，它们可以以弧形方式在相应的主面上延伸，如在真空闸的情况下，真空闸在导言中已经被描述并且从现有技术已知。
[0078]包括主面的弯曲的本发明的第二方面的所述部分方面也可与在导言中所提到的类型的阀组合，在导言中所提到的类型的阀从现有技术已知并且以产品名称“M0N0VAT系列 02 和 03” 已知并且在 US4, 809，950 (Geiser)和 US4, 881，717 (Geiser)中被描述。
[0079]但在对于输送阀而言特别优选的本发明的进一步改进中，主要部分沿着主面以笔直方式延伸。第一主要部分在第一水平面上延伸，调整轴线形成第一水平面的表面法线。第二主要部分在第二水平面上延伸，调整轴线也形成第二水平面的表面法线。第一水平面与第二水平面彼此平行并且彼此间隔开。在所述实施方式的情况下，主面优选地相对于水平面竖直地定位。水平面并不是指世界坐标系的绝对水平，而是指阀外壳和其宽度延伸部。因此，两个主要部分优选地彼此平行地延伸。为了在调整轴线的方向上桥接主要部分的所述偏移，两个第一腿、两个第二腿和两个基部在第一水平面与第二水平面之间延伸，两个第一腿和/或两个第二腿和/或两个基部由于至少部分地在平行于调整轴线的方向上延伸而至少部分地桥接第一水平面与第二水平之间的间隔。
[0080]在特定的进一步改进中，两个基部在公共的第三水平面上延伸，所述第三水平面位于第一水平面与第二水平面之间并且调整轴线形成该第三水平面的表面法线。换言之，第三水平面平行于其它水平面延伸并且在本发明的特定的进一步改进中布置在第一水平面与第二水平面之间的中央。由于基部位于第三水平面上，因此在所述发明变型的情况下，这些基部并不沿着调整轴线延伸并且并不造成在平行于调整轴线的方向上对主要部分之间的间隔的桥接。但在另选变型中，基部并不位于水平面上。这两个基部通过均实现为尤其基本上平行于调整轴线延伸的螺旋区段而部分地桥接第一水平面与第二水平面之间的间隔。
[0081]第一密封面的两个第一弯曲部分可在第一主面上延伸并且两个第二弯曲部分可在第二主面上延伸。在所述情况下，这些弯曲部分并不在平行于调整轴线的方向上桥接主要部分的偏移。但是，这些弯曲部分还可以不仅如上文中已经描述的那样围绕平行于调整轴线延伸的弯曲轴线弯曲，而且也围绕相对于调整轴线在横向上定位的弯曲轴线弯曲。在此情况下，第一密封面也在该第一密封面的相对部分的方向上向内弯曲。因此，两个第一弯曲部分和两个第二弯曲部分在第一水平面与第二水平面之间延伸，两个第一弯曲部分和两个第二弯曲部分部分地桥接第一水平面与第二水平面之间的间隔。可例如由于两个第一弯曲部分和两个第二弯曲部分被实现为基本上平行于调整轴线延伸的螺旋区段而实现所描述的弯曲。
[0082]此外，本发明的第二方面包括闭合构件，尤其为如在本发明中所要求保护的并且在导言中描述的真空阀。由于已经结合如在本发明中所要求保护的真空阀和其各种另外的改进直接地或间接地描述了闭合构件的特征，因此参考上文做出的陈述。
[0083]一般而言，用于通过线性移动而以气密方式闭合流动路径的闭合构件包括在闭合构件面和第二密封面中的几何调整轴线，所述第二密封面由均不平行于调整轴线的各个形成部分形成。第二密封面的这些部分的表面法线均具有平行于调整轴线的方向分量。因此，第二密封面竖直地或倾斜地指向调整轴线的打开方向。第二密封面的第一主要部分基本上沿着几何第一主面延伸，而第二密封面的第二主要部分基本上沿着几何第二主面延伸。第一主面和第二主面彼此间隔开并且平行于调整轴线并且基本上平行于闭合构件面延伸。因此，第一主要部分和相对的第二主要部分相对于彼此具有相对于调整轴线在横向上的几何偏移。闭合构件的在【具体实施方式】中基本上平行于闭合构件面延伸的闭合面布置于两个相对的主要部分之间。第二密封面的侧向第一U形侧部在第二密封面的一侧连接第一主要部分与第二主要部分，而第二密封面的侧向第二 U形侧部在第二密封面的另一侧连接第一主要部分与第二主要部分。第一U形侧部和第二U形侧部均由与第一主要部分相关联的第一腿、与第二主要部分相关联的第二腿和基部组装而成。两个第一腿均基本上沿着平行于调整轴线定位的第一腿平面延伸。第一腿和第二腿相对于彼此具有相对于调整轴线在横向上的几何偏移，各基部均连接第一腿与第二腿并且桥接相对于调整轴线在横向上的几何偏移。借助第二密封面，在闭合构件的闭合位置，通过将第二密封面在调整轴线的闭合方向上以线性方式压到第一密封面上而产生与真空阀的第一密封面的密封接触，从而以气密的方式闭合真空阀的开口。
[0084]而且如在具有所描述的闭合构件的真空阀的情况下，在如本发明所要求保护的闭合构件的情况下，两个第一腿平面均相对于第一主面成至少15度的角。在每种情况下，第二密封面的第一弯曲部分均布置于第一主要部分与两个第一腿之间。在第一主要部分中沿着第一主面延伸的第二密封面均会聚到第一弯曲部分中，从第一主要部分到各第一弯曲部分中的各过渡均实现为第一主面的几何第一切向平面。两个第一腿平面均相对于相应的第一切向平面成至少15度的角。在第一主要部分中沿着第一主面延伸的第二密封面在第一弯曲部分中以至少15度的角尤其以几何弯曲从第一主面引导出，使得第二密封面会聚到第一腿平面中。
[0085]闭合构件具有相同的进一步改进的变型，这些变型已经结合真空阀进行了描述并且在这里对其进行参考。具体地，一个进一步的改进包括基本上沿着平行于调整轴线的第二腿平面延伸的两个第二腿和均布置于第二主要部分与两个第二腿之间的第二密封面的第二弯曲部分。在第二主要部分中沿着第二主面延伸的第二密封面均会聚到第二弯曲部分中，从第二主要部分到各第二弯曲部分中的各过渡均实现为第二主面的几何第二切向平面。两个第二腿平面均相对于相应的第二切向平面成至少15度的角。在第二主要部分中沿着第二主面延伸的第二密封面在第二弯曲部分中以至少15度的角尤其以几何弯曲从第二主面引导出，并且在第二弯曲部分中会聚到第二腿平面内。此外，第一 U形侧部的第一腿平面和第二腿平面能基本上彼此平行地延伸，并且此外，第二 U形侧部的第一腿平面和第二腿平面能基本上彼此平行地延伸。
[0086]如也在真空阀的情况下，第一主面可由几何平面，即第一主要平面形成。在此情况下，两个第一切向平面和第一主要平面一个位于另一个之上，使得第一切向平面由第一主要平面形成。第二主面也可由几何平面，即由第二主要平面形成，两个第二切向平面和第二主要平面一个位于另一个之上，使得第二切向平面由第二主要平面形成。同样，闭合构件面也可以提供几何平面并且因此为闭合构件平面。如果两个主面因此为主要平面，则两个主要部分均在一个平面上延伸。但主要部分并非强制地必须以几何精确的方式在第一主要平面或第二主要平面中延伸。主要部分也可以仅基本上沿着第一主要平面或第二主要平面延伸，也就是说在几何上并非精确地平行于相应的主要平面，例如为沿着相应的主要平面的弧。
[0087]但如结合真空阀已经说明的那样，对于某些应用而言，有利的是，取代具有平坦基本截面的阀，而使用具有弯曲基本截面的阀。在此情况下，闭合构件并不具有带平坦闭合构件平面的平坦盘形式，而是具有围绕尤其基本上平行于调整轴线的弯曲轴线而至少在一部分中弯曲的基本形式。因此，本发明的另一方面设置为第一主面、第二主面和闭合构件面在至少一部分中弯曲，尤其在若干部分中或者在整个区域中围绕基本上平行于调整轴线的弯曲轴线弯曲。至少在所述部分中的弯曲可由圆柱形面或另外的自由形式形成。特别地，第一主面、第二主面和闭合构件面围绕弯曲轴线以至少15度，尤其至少30度，尤其至少45度，尤其在45度至105度之间的角至少在一部分中弯曲。如也在真空阀的情况下，能实现围绕若干弯曲轴线和在各个弯曲方向上的弯曲，例如呈波形弯曲的形式。弯曲半径可大于或小于开口宽度或者等于开口宽度。半径也可较小以使得弯曲提供扭结。在本发明的特定实施方式中，弯曲轴线与开口轴线相交，尤其以大约90度的相交角相交。
[0088]已经结合真空阀描述的进一步改进也包括于涉及闭合构件的本发明中并且参考上文的陈述。
[0089]如在本发明中所要求保护的真空阀和在本发明中所要求保护的闭合构件在下文中仅以在附图中示意性地示出的具体示例性实施方式更详细地举例说明，也给出了本发明的另外的优点的细节，在附图中:
[0090]图1a示出了真空阀的第一实施方式的阀外壳的半剖面的立体图；
[0091]图1b示出了阀外壳的侧向剖视图；
[0092]图2a示出了真空阀的第一实施方式的具有平坦主面的闭合构件的俯视图；
[0093]图2b示出了闭合构件的正视图；
[0094]图2c示出了闭合构件的侧视图；
[0095]图2d示出了闭合构件的立体图；
[0096]图2e示出了闭合构件的一部分的细节的俯视图；
[0097]图2f示出了闭合构件的第一弯曲变型的俯视图，其中主面在第一方向上弯曲；
[0098]图2g示出了闭合构件的第二弯曲变型的俯视图，其中主面在第二方向上弯曲；
[0099]图3a示出了如在本发明中所要求保护的真空阀的第一实施方式的正视图，其中闭合构件处于闭合位置；
[0100]图3b示出了来自图3a的真空阀的侧向剖视图；
[0101]图3c示出了如在本发明中所要求保护的真空阀的第一实施方式的正视图，其中闭合构件处于打开位置；
[0102]图3d示出了来自图3c的真空阀的侧向剖视图；
[0103]图3e示出了如在本发明中所要求保护的真空阀的第一实施方式的立体图，其中闭合构件处于闭合位置；
[0104]图4a示出了如在本发明中所要求保护的真空阀的第二实施方式的侧向剖视图，其中闭合构件处于打开位置；
[0105]图4b示出了如在本发明中所要求保护的真空阀的第二实施方式的阀外壳的半剖面的立体图；
[0106]图5a示出了如在本发明中所要求保护的真空阀的第二实施方式的如在本发明中所要求保护的闭合构件的俯视图；
[0107]图5b示出了闭合构件的正视图；
[0108]图5c示出了闭合构件的侧视图；
[0109]图5d示出了闭合构件的斜视图；
[0110]图5e示出了闭合构件的一部分的细节的俯视图；
[0111]图6a示出了在无附加弹性密封件的实施方式中，具有倾斜面的阀外壳和闭合构件的侧向剖视图；
[0112]图6b示出了在具有圆形截面的O形环的实施方式中，具有倾斜面的阀外壳和闭合构件的侧向剖视图；
[0113]图6c示出了在具有保护屏蔽件的实施方式中，具有倾斜面的阀外壳和闭合构件的侧向剖视图；
[0114]图6d示出了在具有肾形截面的O形环的实施方式中，具有倾斜面的阀外壳和闭合构件的侧向剖视图；
[0115]图6e示出了在具有X形截面的O形环的实施方式中，具有倾斜面的阀外壳和闭合构件的侧向剖视图；
[0116]图6f示出了在阀外壳上具有圆形截面的O形环的实施方式中，具有倾斜面的阀外壳和闭合构件的侧向剖视图；
[0117]图7a示出了来自图6a的闭合构件的立体图；
[0118]图7b示出了来自图6b的闭合构件的立体图；
[0119]图7c示出了来自图6c的闭合构件的立体图；
[0120]图7d示出了来自图6d的闭合构件的立体图；
[0121]图7e示出了来自图6e的闭合构件的立体图；
[0122]图8a示出了从现有技术已知的真空闸的阀外壳；以及
[0123]图Sb示出了从现有技术已知的真空闸的闭合构件。
[0124]图1a至图2e、图3a至图3e和图4a至图5e从各种视图和各种详细程度示出了均如本发明中所要求保护的真空阀或者处于各种状态下的闭合构件的常见示例性实施方式。因此，在每种情况下，所述附图组被一起描述了。根据图2f和图2g的变型以及根据图4a至图5e的示例性实施方式与根据图1a至图2e和图3a至图3e的示例性实施方式仅在一些特征方面不同，这就是仅给出变型和实施方式之间的不同的细节的部分原因。部分地，将不再给出在前面的图中已经说明的参考和特征的细节。图8a和图Sb已经结合现有技术的表述详细地陈述。
[0125]图1a至图2e和图3a至图3e示出了真空阀I及其闭合构件5的第一实施方式。利用真空阀1，引导通过阀外壳2的开口 3的流动路径F可以通过闭合构件5的线性移动以气密方式闭合。用于流动路径F的开口 3以矩形通路的形式形成于阀外壳2中，开口 3的宽度b在所示的示例性实施方式中大约为开口 3的高度h的六倍，如在图3c中所示。真空阀I被实现为输送阀。
[0126]如图1b所示，沿着开口 3的扩展部在中心延伸穿过阀外壳2的几何开口轴线4沿着流动路径F行进穿过开口 3。如图3a至图3e所示，布置于阀外壳2中呈阀盘形式的闭合构件5可以沿着几何调整轴线6以线性方式调整。调整轴线6在闭合构件面7中相对于开口轴线4在横向上(即竖直地)行进，闭合构件面7由闭合构件平面形成并且其在图1b和图2c中以点划线示出。闭合构件5能够借助驱动器20沿着调整轴线6以线性方式在闭合方向8上从打开位置O移位到闭合位置C，在所述打开位置O，开口 3被释放，如图3c和图3d所示，在所述闭合位置C，闭合构件被线性地推到开口 3上，如图3a、图3b和图3e所示。通过使闭合构件5以线性方式在相反的打开方向9上移位，该闭合构件能以线性方式从闭合位置C移位回到打开位置O。
[0127]阀外壳2的开口 3由阀外壳2的至少部分地弯曲的第一密封面10包围，如图1a中以阴影面所示。闭合构件5具有第二密封面11，该第二密封面11与所述第一密封面10对应并且具有对应于第一密封面10的形式，如图2a至图2e所示。
[0128]如图3a和图3b所示，通过将第二密封面11在闭合方向8上压至其第一密封面10上使得闭合构件5借助其闭合面19以气密方式闭合开口 3，而在闭合位置C在第二密封面11与第一密封面10之间存在气密接触。例如通过将两个密封面中的一个密封面实现为弹性密封件(例如O形环或硫化密封件)或者通过承载这样的密封件，能够形成密封接触。所述密封件可布置于闭合构件5上,如附图所不,或者布置于阀外壳2上。换言之,第一密封面10可形成密封件并且第二密封面11可形成阀座，密封件能以气密方式被安置于阀座上，或反之亦然。各种密封材料和密封件类型为从现有技术已知的并且无需在这里进一步说明。
[0129]阀外壳2的第一密封面10由各个形成部分12a、12b、14a、14b、17a、17b组装而成，各个形成部分均不平行于调整轴线6，如在下文中更详细地说明的。第一密封面10的所有所述部分12a、12b、14a、14b、17a、17b的表面法线都具有均平行于调整轴线6的方向分量。因此，第一密封面10竖直地或倾斜地指向打开方向9，如从图1a和图1b可以看出的。因此，整个第一密封面10在图中指向上。
[0130]闭合构件的第二密封面11也具有各个形成部分12aM2bM4aM4bM7a\17b’，各个形成部分均不平行于调整轴线6并且对应于第一密封面10的部分12a、12b、14a、14b、17a、17b，如图2a至图2e所示。第二密封面11的所述部分12a’、12b’、14a’、14b’、17a’、17b’的表面法线也具有均平行于调整轴线6的方向分量，使得第二密封面11竖直地或倾斜地指向调整轴线6的打开方向9。因此第二密封面11在所示的示例性实施方式中指向下。
[0131]第一密封面10沿着其扩展部由第一主要部分12a、第一弯曲部分17a、第一 U形侧部14a、第二弯曲部分17b、第二主要部分12b、另一第二弯曲部分17b、第二 U形侧部14b和另一弯曲部分17a组装而成，其中，第一 U形侧部14a继而包括第一腿15a、基部15c和第二腿15b,第二 U形侧部14b继而包括第二腿15b、基部15c和第一腿15a,并且另一第一弯曲部分17a继而连接到第一主要部分12a的另一端，如图1a所示。
[0132]对应于第一密封面10，闭合构件5的第二密封面11也沿着其扩展部由第一主要部分12a’、第一弯曲部分17a’、第一 U形侧部14a’、第二弯曲部分17b’、第二主要部分12b’、另一第二弯曲部分17b’、第二 U形侧部14b’和另一第一弯曲部分17a’组装而成，其中第一U形侧部14a’继而包括第一腿15a’、基部15c’以及第二腿15b’，第二 U形侧部14b’继而包括第二腿15b’、基部15c’和第一腿15a’，并且另一第一弯曲部分17a’连接到第一主要部分12a’的另一端，如图2a至图2e所示。由于这些部分彼此对应，因此在下文中仅部分地更精确地说明第一密封面10的那些部分。[0133]第一密封面10的第一主要部分12a和第二密封面11的第一主要部分12a’基本上沿着几何平坦的第一主面13a’延伸，如图1b或图2c和图2e所示。第一密封面10的第二主要部分12b和第二密封面11的第二主要部分12b’也基本上沿着几何平坦的第二主面13b’延伸。第一主面13a’和第二主面13b’彼此平行并且彼此距一定间隔定位。第一主面13a’和第二主面13b’平行于平坦的闭合构件面7延伸。第一主要部分12a或12a’和相对的第二主要部分12b或12b’相对于彼此具有相对于调整轴线6在横向上的几何偏移，如图1a和图1b或图2a、图2c、图2d和图2e所示。开口 3如图1所示位于第一密封面10的两个相对的主要部分12a和12b之间，并且闭合构件5的闭合面19如图2c和图2d所示位于第二密封面11的两个相对的主要部分12a’和12b’之间。
[0134]第一密封面10的侧向第一 U形侧部14a或第二密封面11的侧向第一 U形侧部14a’在相应的密封面10或11的一侧连接第一主要部分12a或12a’和第二主要部分12b或12b’，而第一密封面10的侧向第二 U形侧部14b或第二密封面11的侧向第二 U形侧部14b’在相应的密封面10或11的一侧连接第一主要部分12a或12a’与第二主要部分12b或 12b，。
[0135]第一 U形侧部14a或14a’和第二 U形侧部14b或14b’均具有:与第一主要部分12a或12a’相关联的第一腿15a或15a’ ;与第二主要部分12b或12b’相关联的第二腿15b或15b’ ；以及被实现为弓形的基部15c或15c’。两个第一腿15a或15a’在相应的密封面的一侧和另一侧均基本上沿着第一腿平面16a延伸，该第一腿平面16a平行于调整轴线6定位。两个第一腿平面16a中的一个在图2e中以虚线的形式示出。
[0136]两个第二腿15b或15b’也基本上沿着第二腿平面16b延伸，该第二腿平面16b平行于调整轴线6延伸，如也图2e所示的。如在图2e中可以看出的，第一 U形侧部14a或14a’和第二 U形侧部14b或14b’的第一腿平面16a和第二腿平面16b基本上彼此平行地延伸。第一腿15a或15a’和第二腿15b或15b’因此相对于彼此具有相对于调整轴线6在横向上的几何偏移。各弓形基部15c或15c’均将第一腿15a或15a’和第二腿15b或15b’连接在一起并且桥接相对于调整轴线6在横向上的几何偏移。
[0137]第一密封面10或第二密封面11的第一弯曲部分17a或17a’均布置于第一主要部分12a或12a’与两个第一腿15a或15a’之间。在第一主要部分12a或12a’中沿着第一主面13a’延伸的第一密封面10或第二密封面11均会聚到第一弯曲部分17a或17a’中，从第一主要部分12a或12a’到各的第一弯曲部分17a或17a’的各过渡均在第一主面13a’的几何第一切向平面13a中实现于第一主要部分12a或12a’的两端处。两个第一腿平面16a均相对于相应的第一切向平面成至少15度的角，即在所示的示例性实施方式中呈70度的角，如尤其在图2a和图2e中示出的。在所述各第一弯曲部分17a或17a’(在所示的示例性实施方式中为弓形)中，沿着第一主面13a’在第一主要部分12a或12a’中延伸的密封面10或11从第一主面13a’借助几何弯曲以超过15度的角被引导出，即在所示的示例性实施方式中以所提到的70度的角引导出，并且会聚到第一腿平面16a中，如图2e所示。第一密封面10或第二密封面11的第二弯曲部分17b或17b’也都布置于第二主要部分12b或12b’与两个第二腿15b或15’之间。在第二主要部分12b或12b’中沿着第二主面13b’延伸的第一密封面10或第二密封面11均在第二主要部分12b或12b’的端部处会聚到第二弯曲部分17b或17b’中，从第二主要部分12b或12b’至各第二弯曲部分17b或17b’中的各过渡均实现于相对于第二主面13b’的几何第二切向平面13b中。两个第二腿平面16b均相对于相应的第二切向平面13b以超过15度倾斜，即以超过70度倾斜。在第二主要部分12b或12b’中沿着第二主面13b延伸的密封面10或11因此借助几何弯曲以所提到的70度的角从第二主面13b’被引导出，使得密封面10或11会聚到第二腿平面16b中。
[0138]图2e以弯曲的角箭头示出了相应的枢转角。换言之，侧部14a、14a’、14b、14b’均绕平行于调整轴线6延伸的几何枢转轴线均以大约70度朝向彼此向内枢转，例如，如图2a所示。
[0139]在图1a至图2e、图3a至图3e和图4a至图5e所示的示例性实施方式中，第一主面13a’、第二主面13b’和闭合构件面7由三个平行平面形成，因此，两个第一切向平面13a与第一主面13a’重合并且两个第二切向平面13b与第二主面13b’重合，如图lb、图2c和图2e所示。但本发明的变型设置为第一主面13a’、第二主面13b’和闭合构件面7至少在一部分中绕基本上平行于调整轴线6的弯曲轴线21弯曲，如图2f和图2g中以闭合构件的俯视图示出的。与之前的示例性实施方式不同，此处切向平面13a或13b和相关联的主面13a’或13b’并非一个位于另一个之上，这是因为主面13a’或13b’并非平面的而是在一部分中绕弯曲轴线21弯曲的侧向圆柱形表面部分，如图2f和图2g所示的。在所示的两个变型中，开口轴线4和弯曲轴线21以90度的相交角相交。此外，开口轴线4和调整轴线6以90度的相交角相交，调整轴线6和弯曲轴线21彼此平行地延伸。在图2f中所示的变型中，腿15a’和15b’枢转到以下一侧，即:主面13a’和13b’被向这一侧弯曲并且弯曲轴线21定位在这一侧。但是，在图2g所示的变型中，腿15a’和15b’枢转到以下一侧，即:这一侧与主面13a’和13b’被弯曲到的并且定位弯曲轴线21所在的那一侧相反。第二密封面11从第一主要部分12a’到从第一主面13a’出来第一弯曲部分17a中的过渡均实现在第一切向平面13a中，而第二密封面11从第二主要部分12b’到从第二主面13b’出来的第二弯曲部分17b中的过渡均出现在第二切向平面13b中，如图2f所示。在本示例中，从两个第一切向平面的相交角和两个第二切向平面的相交角产生弯曲角。在本情况下，所述两个相交角相同并且为90度。但是，相交角也可以为不同的大小。在图2f和图2g中所示的变型的其余特征(尤其是第一 U形侧部14a’和第二 U形侧部14b’的特征)对应于前面的示例性实施方式中的那些特征因此无需单独地说明。结合图2f和图2g所示的闭合构件5的第二密封面11的特征对应于阀外壳2的第一密封面10的特征，阀外壳2的第一密封面10的特征与第二密封面11相对应并且可相对应地转换，因此省略了对所述相对应的特征的单独说明。
[0140]所示的变型的共同点在于第一主要部分12a、12a’和第二主要部分12b和12b’相对于彼此不仅均具有由U形侧部14a、14a’、14b和14b’(在特殊情况下由基部15c或15c’)桥接的相对于调整轴线6在横向上的几何偏移，而且还均具有在平行于调整轴线6的方向上的几何偏移。开口 3或闭合面19在此区域中延伸。在下文中描述所述区域的桥接。
[0141]在根据图1a至图2e、图3a至图3e和图4a至图5e的示例性实施方式的情况下，第一主要部分12a或12a’以直线方式延伸，并且在根据图2f和图2g的变型的情况下，其在调整轴线6形成表面法线所在的第一水平面18a上以弯曲方式延伸，如图1b或图2c所示。在根据图1a至图2e、图3a至图3e和图4a至图5e的示例性实施方式的情况下,第一主要部分12b或12b’也以直线延伸，并且在根据图2f和图2g的变型的情况下，其在调整轴线6也形成表面法线所在的第二水平面18b上以弯曲方式延伸。第一水平面18a和第二水平面18b彼此平行并且彼此间隔开，如图1b或图2c。两个第一腿15a或15a’、两个第二腿15b或15b’和两个基部15c或15c’在第一水平面18a与第二水平面18b之间延伸。被实现为弓形的两个基部15c或15c’位于共同的第三水平面18c上，该第三水平面18c在第一水平面18a与第二水平面18b之间在中央延伸。调整轴线6也形成第三水平面18c的表面法线。三个水平面18a、18b和Ic平行。
[0142]两个第一弯曲部分17a或17a’也位于第一水平面18a上。此外，两个第二弯曲部分17b或17b’在第二水平面18b上延伸，如图1a和图1b或图2c和图2d所示的。因此，在第一不例性实施方式中，除了腿15a和15b或者15a’和15b’之外,密封面10或11的所有部分都在水平面18a、18b和18c上延伸并且不能桥接在平行于调整轴线6的方向上的偏移。因此，两个第一腿15a或15a’和两个第二腿15b或15b’在调整轴线6的方向上倾斜地延伸并且因此桥接第一水平面18a与第二水平面18b之间的间隔，如可从图1a和图1b或图2b和图2d看出的。关于在密封件上的负荷，所述桥接在平行于调整轴线6的方向上特别关键，这是因为密封件当在闭合位置C被压在所述部分中而不是在水平面18a、18b和18c中延伸的所有其它部分中时不仅竖直地被加载，而且当挤压密封件时也在纵向上被加载。当然在纵向上的负荷不像横向方向上的负荷那样关键，在横向上的负荷在本发明中所要求保护的密封件几何形状的情况下下可以完全避免，但应避免过量的纵向负荷。因此桥接角不应太陡。由于倾斜的侧部，因此所述角度在调整轴线6的方向上可相对较小，如图1b和图2c所示。因此，所述过渡区域的纵向延伸部确实变大，但这对于真空阀的宽度仅具有微小的作用，如也在图2a中所示的，因为过渡区域特别地由于枢转入的侧部而在平行于开口轴线4的方向上延伸。因此，真空阀I和闭合构件5变得略微更深，但相对于开口宽度b更窄。由于深度增加的密封件几何形状，实现了真空阀I及其闭合构件5的刚性的增加。
[0143]虽然在第一示例性实施方式的情况下弯曲部分17a、17a’、17b和17b’和基部15c和15c’位于水平面18a、18b或18c上，因此并不平行于调整轴线6延伸并且不在平行于调整轴线6的方向上桥接主要部分12a和12b或12a’和12b’之间的间隔，但在根据图4a至图5e的第二示例性实施方式中，所述部分也在平行于调整轴线6的方向上延伸。如在图4a和图4b或者图5c和图5d中所示的，两个基部15c通过均实现为基本上平行于调整轴线6延伸的螺旋的区段而部分地桥接第一水平面18a与第二水平面18b之间的间隔。基部15c或15c’会聚到腿15a、15a’、15b或15b’中，这些腿被实现为略微旋转且扭转的直线，如图5e。第一腿15a或15a’会聚到在第一水平面18a与第三水平面18c之间延伸的两个第一弯曲部分17a或17a’中，而第二腿15b或15b’会聚到在第二水平面18b与第三水平面18c之间延伸的两个第二弯曲部分17b或17b’中，如图4b和图5c所示的。两个第一弯曲部分17a或17a’和两个第二弯曲部分17b或17b’均被实现为基本上平行于调整轴线6延伸的螺旋的区段，如图4a、图4b、图5a、图5b、图5c、图5d和图5e所示。因此，两个第一弯曲部分17a或17a’和两个第二弯曲部分17b或17b’部分地桥接第一水平面18a与第二水平面18b之间以及第一主要部分12a或12a’与第二主要部分12b或12b’之间的间隔。第二示例性实施方式的其余特征基本上对应于第一示例性实施方式的那些特征，因此参考上文做出的相对应的陈述。
[0144]图6a至图7e示出了如本发明的第一方面中所要求保护的、进一步改进的来自图4a至图5e的第二示例性实施方式的变型。在下文中仅部分地详细描述与之前的示例性实施方式不同的特征。
[0145]根据图6a至图7e的真空阀I也如之前的示例性实施方式那样具有阀外壳2，该阀外壳2具有用于流动路径F的开口 3和几何开口轴线4。闭合构件5能够在闭合构件面7中沿着相对于开口轴线4在横向上延伸的几何调整轴线6以线性方式在闭合方向8上从打开位置O移位到闭合位置C，在打开位置0，该闭合构件释放开口 3，参照图4a，在闭合位置C，该闭合构件被线性地推到开口 3上并且可以在打开方向9上反向往回移位。阀外壳2具有包围开口 3的至少部分地弯曲的第一密封面10。与第一密封面10对应并且具有与第一密封面10对应的形式的第二密封面11以硫化弹性密封件的形式布置在闭合构件5上，如在图6a至图7e中所示的。第一密封面10由各个形成部分组装而成，所述各个形成部分均不平行于调整轴线6并且竖直或倾斜地指向打开方向9。在闭合位置C，第二密封面11与第一密封面10密封接触，在闭合方向8上压到第一密封面10上，如图6a至图6f所示。闭合构件5因此以气密方式闭合开口 3。
[0146]与来自图6a至图7e的变型的共同点在于阀外壳2具有第一倾斜面22，第一倾斜面22在开口 3与第一密封面10之间的框形区域中以类似框架的方式包围开口 3。闭合构件5具有第二倾斜面23，第二倾斜面23平行于第一倾斜面22延伸，与第一倾斜面22对应并且具有与第一倾斜面22对应的形式。第一倾斜面22和第二倾斜面23均相对于闭合构件面7以倾斜角24倾斜，使得第一倾斜面22倾斜地指向打开方向9并且第二倾斜面23倾斜地指向闭合方向8。第一倾斜面22和第二倾斜面23在它们的几何延伸部中被几何调整轴线6以倾斜角24相交，其几何延伸部以虚线示出。由于平行倾斜面22和23之间的较小的间隔，因此闭合构件面7由第一倾斜面22和第二倾斜面23在相交线28处相交，相交线28被示出为公共相交线28。所述相交线28彼此平行地延伸并且由于主面的平坦发展而为几何直线。但是，尤其如图2f和图2g中所示的，主面也可以为弯曲面，并且因此在所示的示例性实施方式中为几何平面的倾斜面22和23也可以由弯曲面形成，在后一种情况下，相交线28为曲线。
[0147]在所示的示例性实施方式中，倾斜角24大约为5度。在根据图6a至图7e的变型中，第一倾斜面22和第二倾斜面23相对于彼此定位成，在闭合构件5的闭合位置C，第二倾斜面23布置在与第一倾斜面22相对的平行位置，倾斜面22与23之间相对于彼此的间隔V在根据图6a的变型中大于0.05mm,但小于0.6mm,而在根据图6b至图6f的变型的情况下，间隔V等于O使得两个倾斜面彼此触碰。
[0148]在根据图6a的变型中，第一倾斜面22和第二倾斜面23被实现为非弹性的金属面。在闭合构件5的闭合位置C，间隔V在0.05mm至0.6mm之间，如图6a所示，使得在倾斜面22与23之间并不存在接触并且避免了摩擦粒子的生成。由于在闭合位置C倾斜面22与23之间的较小间隔V，因此所述较小间隙充当屏障并且防止侵蚀性介质从开口 4的区域直接接触密封面10或11。
[0149]此外，为了防止介质渗透到密封面10和11，在根据图6a至图6f的所有变型的情况下，阀外壳2与闭合构件5在第一倾斜面22与第一密封面10之间的区域中具有凹部27，该凹部27包围第一倾斜面22并且被布置和扩展为使得阀外壳2与闭合构件5之间的间隔z在凹部27的区域中为至少0.8_，特别地在0.8mm与6mm之间。由于在介质渗透到倾斜面22与23之间的间隙内的情况下所形成的湍流，因此进一步减小介质对第二密封件11的影响。
[0150]图6c示出了具有高频保护屏蔽件的实施方式。第一倾斜面22被实现为导电金属面，该导电金属面与阀外壳I在电势方面稱合。第二倾斜面23闭合,导电保护屏蔽件23a在闭合位置C完全覆盖开口 3并且在开口 3的周围电连接到第一倾斜面22以用于保护屏蔽件23a与阀外壳I的电势耦合，如图6c所示。为了产生这种电接触，在闭合位置C的间隔V等于O而使得在第一倾斜面22与第二倾斜面23之间存在电接触。
[0151]在根据图6b、图6d和图6e的变型的情况下，第二倾斜面23均由附加的弹性密封件25a、25b或25c形成，而在根据图6f的变型的情况下，第一倾斜面22由附加的弹性密封件25a形成。在闭合构件5的闭合位置C的间隔V均等于O使得附加的弹性密封件25a、25b或25c以密封的方式触碰分别相对的倾斜面22或23。因此，第一密封面10和第二密封面11与存在于开口 3的区域中的介质大范围地隔离。来自图6b或图6f的附加的弹性密封件25a由布置于凹槽26中、具有圆形截面的O形环25a形成，而来自图6d的O形环25b的截面为肾形并且自图6e的O形环25c的截面为X形。作为其另选方式，附加的弹性密封件25a、25b、25c可以由硫化于阀外壳2上和/或闭合构件5上的密封件形成。
[0152]显然，能将本发明的两个方面与个别示例性实施方式的个别具体特征组合在一起。此外，能组合第二示例性实施方式的特征与第一示例性实施方式的和其弯曲基本截面的两个变型的那些特征，并且反之亦然，并且例如，将基部中的仅一个或多个和/或第一弯曲部分中的一个或多个实现为桥接部，特别地呈螺旋的区段的形式。作为弯曲或螺旋几何形状的替代，本发明也包括在功能上与所描述的几何形状相同的其它二维或二维延伸的几何形状。此外，能组合所述组合与倾斜面的变型的特征。
【权利要求】
1.一种用于通过线性移动以气密方式闭合流动路径(F)的真空阀(1)，所述真空阀包括: ?阀外壳(2)，所述阀外壳具有用于所述流动路径(F)的开口(3)，其中所述开口(3)具有沿着所述流动路径(F)的几何开口轴线(4)； ?闭合构件(5)，所述闭合构件能够在闭合构件面(7)中沿着几何调整轴线(6)以线性方式在闭合方向(8)上从打开位置(O)移位到闭合位置(C)，所述几何调整轴线相对于所述开口轴线(4)在横向上延伸，其中 □在所述打开位置(0)，所述闭合构件释放所述开口(3)， □在所述闭合位置(C)，所述闭合构件被线性地推动到所述开口(3)上并且能够在打开方向(9)上反向往回移位； ?所述阀外壳(2)的第一密封面(10)，所述第一密封面包围所述开口(3)并且至少被部分地弯曲；以及 ?所述闭合构件(5)的第二密封面(11)，所述第二密封面与所述第一密封面(10)对应并且具有与所述第一密封面(10)对应的形式，其中， ?所述第一密封面(10)由各个形成部分(12a，12b, 14a, 14b, 17a, 17b)组装而成，这些部分均不平行于所述调整轴线(6)，
?所述第一密封面(10)的这些部分(12a，12b, 14a, 14b, 17a, 17b)的表面法线均具有平行于所述调整轴线(6)的方向分量并且因此所述第一密封面(10)竖直地或倾斜地指向所述打开方向(9)，?所述第一密封面(10)的第一主要部分(12a)基本上沿着几何第一主面(13a’)延伸，?所述第一密封面(10)的第二主要部分(12b)基本上沿着几何第二主面(13b’)延伸，?所述第一主面(13a’ )和所述第二主面(13b’ )平行于所述调整轴线(6)延伸，彼此间隔开，并且基本上平行于所述闭合构件面(7)延伸，并且因此所述第一主要部分(12a)和相对的所述第二主要部分(12b)相对于彼此具有相对于所述调整轴线(6)在横向上的几何偏移， ?所述开口(3)被布置在两个相对的所述第一主要部分(12a)和所述第二主要部分(12b)之间， ?所述第一密封面(10)的侧向第一 U形侧部(14a)在所述第一密封面(10)的一侧连接所述第一主要部分(12a)与所述第二主要部分(12b)， ?所述第一密封面(10)的侧向第二 U形侧部(14b)在所述第一密封面(10)的另一侧连接连接所述第一主要部分(12a)与所述第二主要部分(12b)， ?所述第一 U形侧部(14a)和所述第二 U形侧部(14b)均具有:与所述第一主要部分(12a)相关联的第一腿(15a);与所述第二主要部分(12b)相关联的第二腿(15b);以及尤其实现为曲线的基部(15c)， ?所述第一腿(15a)和所述第二腿(15b)相对于彼此具有相对于所述调整轴线(6)在横向上的几何偏移， ?各所述基部(15c)均连接所述第一腿(15a)和所述第二腿(15b)，并且桥接相对于所述调整轴线(6)在横向上的所述几何偏移；并且 ?在所述闭合位置(C)，所述第二密封面(11)与所述第一密封面(10)密封接触并且在所述闭合方向(8)上压到所述第一密封面(10)上，并且所述闭合构件(5)以气密方式闭合所述开口(3)， 其特征在于， ?所述阀外壳(2)具有第一倾斜面(22)，所述第一倾斜面(22)在所述开口(3)与所述第一密封面(10)之间的区域中包围所述开口(3)， ?所述闭合构件(5)具有第二倾斜面(23)，所述第二倾斜面(23)平行于所述第一倾斜面(22)延伸，与所述第一倾斜面(22)对应，并且具有与所述第一倾斜面(22)对应的形式， ?所述第一倾斜面(22)和所述第二倾斜面(23)均相对于所述闭合构件面(7)以一倾斜角(24)倾斜，使得所述第一倾斜面(22)倾斜地指向所述打开方向(9)，并且使得所述第一倾斜面(22)和所述第二倾斜面(23)在它们的几何延伸部中被所述几何调整轴线(6)以所述倾斜角(24)相交， ?所述倾斜角(24)在3度至15度之间，并且 ?所述第一倾斜面(22)和所述第二倾斜面(23)相对于彼此定位成:在所述闭合构件(5)的所述闭合位置(C)，所述第二倾斜面(23)被布置在与所述第一倾斜面(22)相对的平行位置，其中所述第二倾斜面(23)与所述第一倾斜面(22)之间的间隔(V)在O至0.6mm之间。
2.根据权利要求1所述的真空阀(1)， 其特征在于， ?所述第一倾斜面(22)和所述第二倾斜面(23)以非弹性的方式实现，并且?在所述闭合构件(5)的所述闭合位置(C)中，所述间隔(V)在0.05mm至0.6mm之间，尤其在0.05mm至0.3mm之间。
3.根据权利要求2所述的真空阀(1)， 其特征在于， 所述第一倾斜面(22)和所述第二倾斜面(23)被实现为金属面。
4.根据权利要求1所述的真空阀(1)， 其特征在于， ?所述第一倾斜面(22)被实现为导电金属面，所述导电金属面与所述阀外壳(I)在电势方面耦合， ?所述第二倾斜面(23)被实现为闭合的导电保护屏蔽件(23a)，所述保护屏蔽件(23a)在所述闭合位置(C)完全覆盖所述开口(3)并且在所述开口(3)周围电连接到所述第一倾斜面(22)，以用于所述保护屏蔽件(23a)与所述阀外壳(I)的电势耦合，以及?在所述闭合位置(C)中，所述间隔(V)等于O以产生电接触。
5.根据权利要求1所述的真空阀(1)， 其特征在于， ?所述第一倾斜面(22)和/或所述第二倾斜面(23)由附加的弹性密封件(25a; 25b; 2 5c)形成；并且 ?在所述闭合构件(5)的所述闭合位置(C)中，所述间隔(V)等于O。
6.根据权利要求5所述的真空阀(1)， 其特征在于，所述附加的弹性密封件(25a;25b;25c)由布置于凹槽(26)中的O形环形成，所述O形环尤其具有圆形截面(25a)、肾形截面(25b)或X形截面(25c)。
7.根据权利要求5所述的真空阀(1)，其特征在于， 所述附加的弹性密封件(25a，25b;25c)由在所述阀外壳(2)上和/或所述闭合构件(5)上硫化的密封件形成。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的真空阀(1)， 其特征在于， 所述阀外壳(2)和/或所述闭合构件(5)在所述第一倾斜面(22)与所述第一密封面(10)之间的区域中具有凹部(27)，所述凹部(27)包围所述第一倾斜面(22)并且被布置和扩展成使得在所述凹部(27)的区域中，在所述阀外壳(2)与所述闭合构件(5)之间的所述间隔(z)至少为0.8mm,尤其在0.8mm至6mm之间。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的真空阀(1)， 其特征在于， ?两个所述第一腿(15a)均基本上沿着平行于所述调整轴线(6)的第一腿平面(16a)延伸， ?两个所述第二腿(15b)基本上沿着平行于所述调整轴线(6)的第二腿平面(16b)延伸， ?所述第一主面(13a’)、所述第二主面(13b’)、所述闭合构件面(7)、所述第一倾斜面(22)和所述第二倾斜面(23)均由几何平面形成；并且 ?所述第一腿平面(16a)位于所述第一主面(13a’ )的几何平面上，并且所述第二腿平面(16b)位于所述第二主面(13b’ )的几何平面上。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的真空阀(1)， 其特征在于， ?两个所述第一腿(15a)均基本上沿着平行于所述调整轴线(6)的第一腿平面(16a)延伸， ?所述第一密封面(10)的第一弯曲部分(17a)布置于所述第一主要部分(12a)与两个所述第一腿(15a)之间， ?在所述第一主要部分(12a)中沿着所述第一主面(13a’)延伸的所述第一密封面(10)均会聚到所述第一弯曲部分(17a)中，其中从所述第一主要部分(12a)到各所述第一弯曲部分(17a)中的各过渡均实现于所述第一主面(13a’ )的几何第一切向平面(13a)中， ?两个所述第一腿平面(16a)均相对于各所述第一切向平面(13a)成至少15度的角，并且 ?在所述第一主要部分(12a)中沿着所述第一主面(13a’)延伸的所述第一密封面(10)在所述第一弯曲部分(17a)中以至少15度尤其以几何弯曲从所述第一主面(13a’ )引导出，并且会聚到所述第一腿平面(16a)中，并且 ?尤其是，所述第一主面(13a’)、所述第二主面(13b’ )和所述闭合构件面(7)至少在一部分中绕弯曲轴线(21)弯曲，所述弯曲轴线(21)尤其基本上平行于所述调整轴线(6)。
11.一种用于通过线性移动以气密方式闭合流动路径(F)的闭合构件(5)，所述闭合构件尤其用于根据权利要求1至10中任一项所述的真空阀，所述闭合构件包括?位于闭合构件面(7)中的几何调整轴线(6);以及 ?第二密封面(11)， 其中， ?所述第二密封面(10)由各个形成部分(12a’，12b’，14a’，14b’，17a’，17b’ )组装而成，这些部分均不平行于所述调整轴线(6 )， ?所述第二密封面(11)的这些部分(12a’，12b’，14a’，14b’，17a’，17b’ )的表面法线均具有平行于所述调整轴线(6)的方向分量，并且因此，所述第二密封面(11)竖直地或倾斜地指向所述调整轴线(6)的打开方向(9)， ?所述第二密封面(11)的第一主要部分(12a’)基本上沿着几何第一主面(13a’)延伸，?所述第二密封面(11)的第二主要部分(12b’)基本上沿着几何第二面(13b’ )延伸，?所述第一主面(13a’ )和所述第二主面(13b’ )平行于所述调整轴线(6)延伸，彼此间隔开，并且基本上平行于所述闭合构件面(7)延伸，并且因此，所述第一主要部分(12a’)和相对的所述第二主要部分(12b’)相对于彼此具有相对于所述调整轴线(6)在横向上的几何偏移， ?所述第二密封面(11)的侧向第一 U形侧部(14a’)在所述第二密封面(11)的一侧连接所述第一主要部分(12a’ )与所述第二主要部分(12b’)， ?所述第二密封面(11)的侧向第二 U形侧部(14b’)在所述第二密封面(11)的另一侧连接所述第一主要部分(12a’ )与所述第二主要部分(12b’)， ?所述第一 U形侧部(14a’ )和所述第二 U形侧部(14b’)均具有:与所述第一主要部分(12a’ )相关联的第一腿(15a’);与所述第二主要部分(12b’)相关联的第二腿(15b’)；以及基部(15c’)，` ?所述第一腿(15a’)和所述第二腿(15b’)相对于彼此具有相对于所述调整轴线(6)在横向上的几何偏移， ?各所述基部(15c’)均连接所述第一腿(15a’ )与所述第二腿(15b’)，并且桥接相对于所述调整轴线(6 )在横向上的所述几何偏移，并且 ?借助所述第二密封面(11)，在所述闭合构件(5)的闭合位置(C)，在所述调整轴线(6)的闭合方向(10)上将所述第二密封面(11)线性地压到所述第一密封面(10)上，因而能产生与真空阀(I)的第一密封面(10)的密封接触，从而以气密的方式闭合所述真空阀(I)的开口(3)， 其特征在于， ?所述闭合构件(5)的第二倾斜面(23)布置在位于所述第二密封面(11)的这些部分(12a，，12b’，14a’，14b’，17a’，17b’ )之间的区域中， ?所述第二倾斜面(23)相对于所述闭合构件面(7)以一倾斜角(24)倾斜，使得所述第一倾斜面(22)倾斜地指向与所述闭合方向(8)相反的所述打开方向(9)，并且使得所述第一倾斜面(22)在其几何延伸部中被所述几何调整轴线(6)以所述倾斜角(24)相交， ?所述倾斜角(24)在3度至15度之间，并且 ?所述第二倾斜面(23)被实现为在所述闭合构件(5)的所述闭合位置(C)，所述第二倾斜面(23)能够移动到与第一倾斜面(22)相对的平行位置，所述第一倾斜面(22)包围所述开口( 3 )并且布置在所述开口( 3 )与所述第一密封面(10 )之间的区域中。
12.根据权利要求11所述的闭合构件(5)， 其特征在于， 所述第二倾斜面(23)被实现为闭合的导电保护屏蔽件(23a)，在所述闭合位置(C)，借助所述保护屏蔽件(23a)，所述开口(3)能够被完全覆盖。
13.根据权利要求11所述的闭合构件(5)， 其特征在于， 所述第二倾斜面(23)由附加的弹性密封件(25a;25b;25c)形成，所述附加的弹性密封件(25a; 25b; 25c)尤其由下列部件形成: ?布置于凹槽(26)中的O形环，所述O形环尤其具有圆形截面(25a)、肾形截面(25b)或X形截面(25c);或者 ?在所述闭合构件(5)上硫化的密封件。
14.根据权利要求11至13中任一项所述的闭合构件(5)， 其特征在于， ?两个所述第一腿(15a’)均基本上沿着平行于所述调整轴线(6)的第一腿平面(16a)延伸， ?两个所述第二腿(15b’)基本上沿着平行于所述调整轴线(6)的第二腿平面(16b)延伸， ?所述第一主面(13a’)、所述第二主面(13b’)、所述闭合构件面(7)、所述第一倾斜面(22)和所述第二倾斜面(23)均由几何平面形成，并且 ?所述第一腿平面(16a)位于所述第一主面(13a’ )的几何平面上，并且所述第二腿平面(16b)位于所述第二主面(13b’ )的几何平面上。
15. 根据权利要求11至13中任一项所述的闭合构件(5)， 其特征在于， ?所述两个第一腿(15a’)均基本上沿着平行于所述调整轴线(6)的第一腿平面(16a)延伸， ?所述第二密封面(11)的第一弯曲部分(17a’ )布置于所述第一主要部分(12a’ )与两个所述第一腿(15a’)之间， ?在所述第一主要部分(12a’)中沿着所述第一主面(13a’ )延伸的所述第二密封面(11)均会聚到所述第一弯曲部分(17a’ )中，其中从所述第一主要部分(12a’ )到各所述第一弯曲部分(17a’)中的各过渡均实现在所述第一主面(13a’)的几何第一切向平面(13a)中， ?两个所述第一腿平面(16a)均相对于相应的所述第一切向平面(13a)成至少15度的角，并且 ?在所述第一主要部分(12a’)中沿着所述第一主面(13a’ )延伸的所述第二密封面(11)在所述第一弯曲部分(17a’)中以至少15度尤其以几何弯曲从所述第一主面(13a’)引导出，并且会聚到所述第一腿平面(16a)中，并且 ?尤其是，所述第一主面(13a’)、所述第二主面(13b’ )和所述闭合构件面(7)至少在一部分中绕弯曲轴线(21)弯曲，所述弯曲轴线(21)尤其基本上平行于所述调整轴线(6)。
【文档编号】F16K3/314GK103732960SQ201280037757
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2012年7月11日 优先权日:2011年7月28日
【发明者】弗里德里克·盖泽, A·纽迈尔, B·杜埃里, 托马斯·布莱哈, K·祖默 申请人:Vat控股公司