蚀刻机辅助安全设备的制作方法
【专利摘要】一种蚀刻机辅助安全设备，其特征是：在腔体中安装有弹簧，弹簧的一端连接阀杆，阀杆穿过腔体的侧壁连接鼓膜，腔体壁上设置有进气口和出气口，阀杆可以关闭出气口，鼓膜设置在进水口和出水口之间的水管中。可以在纯水压力异常的情况下自动切断剧毒反应气体的输入，结构简单，安全可靠。
【专利说明】蚀刻机辅助安全设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种蚀刻机辅助安全设备。
【背景技术】
[0002]目前，蚀刻机广泛应用于半导体和LED制造领域。由于蚀刻机内部的反映气体有剧毒，目前广泛应用各种监控报警设备进行不间断的检测，必要时即时切断气体输入与关闭机器。人工值守与机械电控的配合通常较为复杂，并且经济效益较低。如何让设备在异常情况下，例如纯水压力异常的情况下，自动切断气体输入成为一个亟待解决的问题。
【发明内容】
[0003]为了克服现有的蚀刻机监控设备需要人工值守，机械电控设备复杂不可靠的问题，本实用新型提供一种蚀刻机辅助安全设备，该蚀刻机辅助安全设备结构简单，安全可靠，可以在纯水压力异常的情况下自动切断剧毒反应气体的输入。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种蚀刻机辅助安全设备，在腔体中安装有弹簧，弹簧的一端连接阀杆，阀杆穿过腔体的侧壁连接鼓膜，腔体壁上设置有进气口和出气口，阀杆可以关闭出气口，鼓膜设置在进水口和出水口之间的水管中。
[0005]本实用新型的有益效果是，结构简单，安全可靠，可以在纯水压力异常的情况下自动切断剧毒反应气体的输入。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0007]图1是本实用新型的结构示意图。
[0008]图中1.腔体，2.弹簧，3.进气口，4.出气口，5.阀杆，6.鼓膜，7.水阀，8.出水口，9.进水口。
【具体实施方式】
[0009]在图1中，一种蚀刻机辅助安全设备，其特征是:在腔体I中安装有弹簧2，弹簧2的一端连接阀杆5，阀杆5穿过腔体I的侧壁连接鼓膜6，腔体I壁上设置有进气口 3和出气口 4，阀杆5可以关闭出气口 4，鼓膜6设置在进水口 8和出水口 9之间的水管中。
[0010]进一步的，出水口 8、进水口 9与鼓膜6之间的环路中并联有水阀；为了设置压力临界值，可以是使用可调节力度弹簧。
[0011]若水压正常，水流形成的压力差使鼓膜6移动，阀杆7压力把出气口 4打开。若水压异常则鼓膜6在弹簧2作用下向反方向移动，出气口 4关闭,安全可靠。
【权利要求】
1.一种蚀刻机辅助安全设备，其特征是:在腔体中安装有弹簧，弹簧的一端连接阀杆，阀杆穿过腔体的侧壁连接鼓膜，腔体壁上设置有进气口和出气口，阀杆可以关闭出气口，鼓膜设置在进水口和出水口之间的水管中。
2.根据权利要求1所述的蚀刻机辅助安全设备，其特征是:出水口、进水口与鼓膜之间的环路中并联有水阀。
3.根据权利要求1所述的蚀刻机辅助安全设备，其特征是弹簧为可调节力度弹簧。
【文档编号】F16K31/126GK204004616SQ201420273754
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年5月27日 优先权日:2014年5月27日
【发明者】孙冒田 申请人:徐州天太机械制造有限公司