一种腔体进气流速调节装置的制作方法

本发明涉及一种腔体进气流速调节装置，具体地是在一种半导体制造中，可随腔体进气流量的变化而改变进气速度的调节装置。属于半导体薄膜设备的应用技术领域。

背景技术：

在半导体制造中密闭腔体需要进气和排气。进气时间要满足一定要求，进气量要求容易控制。当以一个不变的较大的进气速度进气时，进气量控制难度增加。当进气速度较低，进气速度不变时，进气时间加长，从而影响设备产能。

技术实现要素：

本发明是以解决上述问题为目的，主要解决现有技术存在的进气流速不易控制、影响设备产能的技术问题，提供一种可随腔体进气流量的变化而改变进气速度的新型装置。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：一种腔体进气流速调节装置，包括气缸进气管、压力调节阀、小孔挡片、气缸、活塞、弹簧、活塞杆、连杆、阀体、阀片杆、阀片及进气管，分别组成气缸执行部分和阀体部分。所述阀片安装于阀体内，并可在阀体内绕着阀体上销轴转动；所述阀片与阀片杆连接固定。所述进气管与阀体进气端连接；气缸进气管两端分别于进气管和气缸连接，气缸内设有活塞，活塞与活塞杆连接固定。所述弹簧位于气缸内，一端与活塞接触，另一端与气缸内端面接触，弹簧的弹力可作用于活塞，弹簧对活塞施加沿活塞运动方向的作用力，在气缸 内气压小于一定值时，可使活塞运动到指定位置。所述小孔挡片安装于气缸内，位于气缸进气管的接口一侧，其边缘可与气缸内壁接触密封，小孔挡片上有小通气孔，可限制气体流速。所述压力调节阀安装于气缸上，位于气缸进气管一侧，可根据气缸内气压变化控制气缸内气体的排放。当缸内气压小于一定值时，压力调节阀关闭，当缸内气压大于一定值时，压力调节阀打开，气体可从气缸中排出。所述连杆两端分别通过销轴与活塞杆和阀片杆连接，活塞在气缸中的运动可通过活塞杆带动连杆运动，连杆通过阀片杆可使阀片在一定范围内转动。。进气管与供气设备连接，阀体出气端与腔体进气口连接。

工作时，当压缩气体从进气管进入时，一部分气体通过气缸进气管进入气缸。进入气缸的压缩气体通过小孔挡片的小孔进入活塞一侧缸体腔室，活塞可在压缩空气作用下移动。活塞的运动可通过活塞杆带动连杆运动，连杆通过阀片杆可使阀片在一定范围内转动，从而调节进气流速。随着气体流量的增加，活塞位移增加，阀片转角增加，气体通过阀体的流速减小。压力调节阀可根据气缸内气压变化控制气缸内气体的排放。当进气压力大于一定值时，压力调节阀可调节活塞移动速度。缸内气压小于一定值时，压力调节阀关闭，当缸内气压大于一定值时，压力调节阀打开，气体可从气缸中排出。当压缩气体停止从进气管进入，腔体内气体排放或被抽出，腔体内气压稳定后，活塞及阀片可回到初始位置。

本发明的有益效果及特点:采用本发明可使腔体进气速度变化平缓，进气量容易控制，进气过程时间缩短，从而提高设备产能。具有结构简单合理，可广泛地应用于半导体薄膜设备技术领域。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是有压缩气体进入时装置动作状态的示意图。

图1中：1.气缸进气管；2.压力调节阀；3.小孔挡片；4.气缸；5.活塞；6.弹簧；7.活塞杆；8.连杆；9.阀体；10.阀片杆；11.阀片；12.进气管。

具体实施方式

实施例

参照图1和图2，一种腔体进气流速调节装置，包括气缸进气管1、压力调节阀2、小孔挡片3、气缸4、活塞5、弹簧6、活塞杆7、连杆8、阀体9、阀片杆10、阀片11、进气管12。所述阀片11安装于阀体9内，并可在阀体内绕着阀体9上销轴转动；所述阀片11与阀片杆10连接固定。所述进气管12与阀体9进气端连接；气缸进气管1两端分别于进气管12和气缸4连接，气缸4内设有活塞5，活塞5与活塞杆7连接固定。所述弹簧6位于气缸4内，一端与活塞5接触，另一端与气缸4内端面接触，弹簧6的弹力可作用于活塞5，弹簧6对活塞5施加沿活塞5运动方向的作用力，在气缸4内气压小于一定值时，可使活塞5运动到指定位置。所述小孔挡片3安装于气缸4内，位于气缸进气管1的接口一侧，其边缘可与气缸4内壁接触密封，小孔挡片3上有小通气孔，可限制气体流速。所述压力调节阀2安装于气缸4上，位于气缸进气管1一侧，可根据气缸4内气压变化控制气缸4内气体的排放。当缸内气压小于一定值时，压力调节阀2关闭，当缸内气压大于一定值时，压力调节阀2打开，气体可从气缸4中排出。所述连杆8两端分别通过销轴与活塞杆7和阀片杆10连接， 活塞5在气缸4中的运动可通过活塞杆7带动连杆8运动，连杆8通过阀片杆10可使阀片11在一定范围内转动。进气管12与供气设备连接，阀体9出气端与腔体进气口连接。

工作时，当压缩气体从进气管12进入时，一部分气体通过气缸进气管1进入气缸4。进入气缸4的压缩气体通过小孔挡片3的小孔进入活塞5一侧缸体腔室，活塞5可在压缩空气作用下移动。活塞5的运动可通过活塞杆7带动连杆8运动，连杆8通过阀片杆10可使阀片11在一定范围内转动，从而调节进气流速。随着气体流量的增加，活塞5位移增加，阀片11转角增加，气体通过阀体9的流速减小。压力调节阀2可根据气缸4内气压变化控制气缸4内气体的排放。当进气压力大于一定值时，压力调节阀2可调节活塞移动速度。缸内气压小于一定值时，压力调节阀2关闭，当缸内气压大于一定值时，压力调节阀2打开，气体可从气缸4中排出。当压缩气体停止从进气管12进入，腔体内气体排放或被抽出，腔体内气压稳定后，活塞5及阀片11可回到初始位置。