一种基于压电叠堆的微位移定位机构的制作方法

文档序号:12065482阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于压电叠堆的微位移定位机构,包括:微位移定位机构基体、底板; 其特征在于,所述微位移定位机构基体包括位移放大机构、工作台和环形框架,通过螺钉固定环形框架与位移放大机构的连接处,所述位移放大机构与所述工作台和所述环形框架通过柔性铰链连接,所述环形框架的厚度略大于所述位移放大机构和所述工作台的厚度。

2.根据权利要求1所述的一种基于压电叠堆的微位移定位机构,其特征在于,所述位移放大机构包括压电叠堆、三角放大框架、固定柔铰座、螺钉、可拆卸柔铰座,所述压电叠堆放置在所述固定柔铰座和所述可拆卸柔铰座之间,通过螺钉顶紧所述可拆卸柔铰座,实现对所述压电叠堆预紧力的施加,所述压电叠堆产生的位移通过所述三角放大框架放大和传递。

3.根据权利要求2所述的一种基于压电叠堆的微位移定位机构,其特征在于,所述位移放大机构包括三组,呈辐射状均匀分布于所述工作台四周。

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