一种基于压电叠堆的微位移定位机构的制作方法

文档序号:12065482阅读:来源:国知局
技术总结
本发明实施例公开了一种基于压电叠堆的微位移定位机构,涉及压电精密致动应用技术领域,能够提供一种基于压电叠堆的微位移定位机构,采用压电叠堆作为主要驱动元件,通过合理布置位移放大机构的位置,利用三角放大机构实现叠层压电陶瓷的位移放大输出,使得该微位移定位机构可输出较大的位移,精度高,稳定性好。本发明包括:微位移定位机构基体、底板;其特征在于,所述微位移定位机构基体包括位移放大机构、工作台和环形框架,通过螺钉固定环形框架与位移放大机构的连接处,所述位移放大机构与所述工作台和所述环形框架通过柔性铰链连接,所述环形框架的厚度略大于所述位移放大机构和所述工作台的厚度。本发明适用于能够在光波导器件连接并封装过程中,提高精度和效率。

技术研发人员:王道智;黄卫清;孙梦馨;卢倩
受保护的技术使用者:南京航空航天大学
文档号码:201611080692
技术研发日:2016.11.30
技术公布日:2017.05.24

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