一种时钟摆阀的制作方法

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种时钟摆阀。

背景技术：

化学气相沉积通常是在工艺腔体内的高温环境下，通过对特定的工艺气体在等离子体增强条件下，在硅基衬底表面进行薄膜沉积的方法。其特点是成膜速度快，薄膜均匀度好。时钟摆阀用于控制工艺腔体压力，达到工艺制程要求。时钟摆阀之O型密封圈需要定期更换，以确保没有内漏或者外漏。若出现内漏或者外漏之缺陷势必影响工艺制程，因气压因素导致批量不良品。显然地，对于拆装后的锁定环以及阀板相对于阀罩的平整度具有较高的要求。

但是，由于时钟摆阀之O型密封圈更换比较频繁，阀罩内的导销和阀板之沟槽会有一定磨损，在安装时因受力不均匀，导致阀板相对于阀罩平整度欠佳，从而在阀板的枢转运动过程中将会刮蹭到锁定环，进而导致设置在所述锁定环内的时钟摆阀之O型圈断裂或者脱落，影响工艺腔体压力，不能达到工艺制程的要求。因而，当上述情况发生时则需要更换整体时钟摆阀组件，不仅对产品品质带来较高风险，而且造成人力、物力的额外消耗。

故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本实用新型一种时钟摆阀。

技术实现要素：

本实用新型是针对现有技术中，传统的时钟摆阀之O型密封圈更换比较频繁，阀罩内的导销和阀板之沟槽会有一定磨损，在安装时因受力不均匀，导致阀板相对于阀罩平整度欠佳，从而在阀板的枢转运动过程中将会刮蹭到锁定环，进而导致设置在所述锁定环内的时钟摆阀之O型圈断裂或者脱落，影响工艺腔体压力，不能达到工艺制程的要求，甚至需要更换整体时钟摆阀组件，不仅对产品品质带来较高风险，而且造成人力、物力的额外消耗等缺陷提供一种时钟摆阀。

为实现本实用新型之目的，本实用新型提供一种时钟摆阀，所述时钟摆阀，具有阀罩、纵向设置在所述阀罩内的第一开口和第二开口，以及位于所述第一开口和所述第二开口之间，并通过驱动器驱动进行枢转移动的阀板，其中，所述阀板之枢转端沟槽与设置在所述阀罩内的导销卡合设置，且卡合之接触面的面积大于同宽等高之矩形体的内周面积。

可选地，所述时钟摆阀之枢转端沟槽与所述导销卡合之接触面呈梯台状设置。

可选地，所述时钟摆阀之枢转端沟槽与所述导销卡合之接触面呈齿形啮合状设置。

可选地，所述时钟摆阀之枢转端沟槽与所述导销卡合之接触面呈多边形状设置。

可选地，所述阀罩包括呈面向并间隔设置的第一壁和第二壁，且在所述第一壁和所述第二壁之间纵向形成第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第二开口进一步形成用于引导气体通过的流道。

可选地，所述时钟摆阀之阀板的横向面积在全闭状态时完全覆盖所述第一开口。

可选地，所述阀板之面向所述第一壁的一侧设置锁定环，并在所述锁定环之面向所述阀板的一侧设置密封圈。

可选地，所述阀板在枢转移动的过程中平行于所述阀罩之第一壁和第二壁。

综上所述，本实用新型时钟摆阀之阀板的枢转端沟槽与设置在所述阀罩内的导销卡合设置，且卡合之接触面的面积大于同宽等高之矩形体的内周面积，使得所述阀板在枢转移动过程中平行于所述阀罩之第一壁和所述第二壁，消除由于阀板之枢转端沟槽与导销磨损所带来的安装时受力不均的现象，以及由此导致的阀板相对于阀罩平整度欠佳的缺陷，避免阀板在开、闭移动过程中刮蹭到锁定环，引起密封圈断裂或脱落等问题，有效的减少了产品品质风险和降低了不必要的人力、物力成本。

附图说明

图1所述为本发明时钟摆阀之侧视图；

图2所示为本实用新型时钟摆阀之接触面的第一实施方案截面图；

图3所示为本实用新型时钟摆阀之接触面的第二实施方式截面图；

图4所述为本实用新型时钟摆阀之接触面的第三实施方式截面图。

具体实施方式

为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。

化学气相沉积通常是在工艺腔体内的高温环境下，通过对特定的工艺气体在等离子体增强条件下，在硅基衬底表面进行薄膜沉积的方法。其特点是成膜速度快，薄膜均匀度好。时钟摆阀用于控制工艺腔体压力，达到工艺制程要求。时钟摆阀之O型密封圈需要定期更换，以确保没有内漏或者外漏。若出现内漏或者外漏之缺陷势必影响工艺制程，因气压因素导致批量不良品。显然地，对于拆装后的锁定环以及阀板相对于阀罩的平整度具有较高的要求。

但是，由于时钟摆阀之O型密封圈更换比较频繁，阀罩内的导销和阀板之沟槽会有一定磨损，在安装时因受力不均匀，导致阀板相对于阀罩平整度欠佳，从而在阀板的枢转运动过程中将会刮蹭到锁定环，进而导致设置在所述锁定环内的时钟摆阀之O型圈断裂或者脱落，影响工艺腔体压力，不能达到工艺制程的要求。因而，当上述情况发生时则需要更换整体时钟摆阀组件，不仅对产品品质带来较高风险，而且造成人力、物力的额外消耗。

请参阅图1，图1所述为本发明时钟摆阀之侧视图。所述时钟摆阀1，具有阀罩11、纵向设置在所述阀罩11内的第一开口12和第二开口13，以及位于所述第一开口12和所述第二开口13之间，并通过驱动器14驱动进行枢转移动的阀板15。其中，所述阀板15之枢转端沟槽151与设置在所述阀罩11内的导销16卡合设置，且卡合之接触面152的面积大于同宽等高之矩形体的内周面积。

为了更直观的揭露本实用新型之技术方案，凸显本实用新型之有益效果，现结合具体实施方式为例，对本实用新型时钟摆阀的结构和工作原理进行阐述。在具体实施方式中，所述时钟摆阀之各功能元件的具体尺寸、形状等仅为列举，不应视为对本实用新型技术方案的限制。

作为具体地实施方式，所述阀罩11包括呈面向并间隔设置的第一壁111和第二壁112，且在所述第一壁111和所述第二壁112之间纵向形成第一开口12和第二开口13，所述第一开口12和所述第二开口13进一步形成用于引导气体通过的流道17。所述阀板15之面向所述第一壁111的一侧设置锁定环18，并在所述锁定环18之面向所述阀板15的一侧设置密封圈19。

请参阅图2～图4，并结合参阅图1，图2所示为本实用新型时钟摆阀之接触面的第一实施方案截面图。图3所示为本实用新型时钟摆阀之接触面的第二实施方式截面图。图4所述为本实用新型时钟摆阀之接触面的第三实施方式截面图。作为本领域技术人员，不难理解地，为了保证所述阀板15之枢转端沟槽151与所述导销16卡合之接触面152的面积大于同宽等高之矩形体的内周面积，非限制性地，所述摆阀15之枢转端沟槽151与所述导销16卡合之接触面呈梯台状设置，或者所述摆阀15之枢转端沟槽151与所述导销16卡合之接触面呈齿形啮合状设置，或者所述摆阀15之枢转端沟槽151与所述导销16卡合之接触面呈多边形状设置。

明显地，本实用新型时钟摆阀1之阀板15的枢转端沟槽151与设置在所述阀罩11内的导销16卡合设置，且卡合之接触面152的面积大于同宽等高之矩形体的内周面积，即尽可能地增加所述接触面152的面积，使得所述阀板15在枢转移动过程中平行于所述阀罩11之第一壁111和所述第二壁112。即，本实用新型时钟摆阀1凭借卡合之接触面152的面积增大，消除由于阀板15之枢转端沟槽151与导销16磨损所带来的安装时受力不均的现象，以及由此导致的阀板15相对于阀罩11平整度欠佳的缺陷，避免阀板15在开、闭移动过程中刮蹭到锁定环18，引起密封圈19断裂或脱落等问题，有效的减少了产品品质风险和降低了不必要的人力、物力成本。

另一方面，在工艺制程中，工艺腔体通过所述时钟摆阀1进行压力调节，则所述时钟摆阀1在驱动器14的驱动下进行枢转移动，当所述时钟摆阀1处于全闭状态时，则所述时钟摆阀1之阀板15的横向面积完全覆盖所述第一开口11。

综上所述，本实用新型时钟摆阀之阀板的枢转端沟槽与设置在所述阀罩内的导销卡合设置，且卡合之接触面的面积大于同宽等高之矩形体的内周面积，使得所述阀板在枢转移动过程中平行于所述阀罩之第一壁和所述第二壁，消除由于阀板之枢转端沟槽与导销磨损所带来的安装时受力不均的现象，以及由此导致的阀板相对于阀罩平整度欠佳的缺陷，避免阀板在开、闭移动过程中刮蹭到锁定环，引起密封圈断裂或脱落等问题，有效的减少了产品品质风险和降低了不必要的人力、物力成本。