一种用于柔性管道加热的复合保温材料的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于柔性管道加热的复合保温材料，其包括基材、隔热层和外包层，其中，所述基材包括蚀刻不锈钢加热膜，所述蚀刻不锈钢加热膜的两面分别设置有上硅橡胶涂覆玻纤布和下硅橡胶涂覆玻纤布，所述隔热层包括气凝胶隔热毡，所述气凝胶隔热毡设置于所述上硅橡胶涂覆玻纤布的外侧，且所述气凝胶隔热毡外设置有玻璃纤维毡或发泡硅橡胶层的任一种，所述外包层设置于所述玻璃纤维毡或发泡硅橡胶层的外侧。上述复合保温材料采用气凝胶隔热毡作为保温材料，其导热系数在0.01W/mK左右，使得生产高保温又美观的柔性加热器成为可能。降低了加热器的表面温度，大大减少了加热器的能耗，增加了加热器的使用寿命。
【专利说明】
一种用于柔性管道加热的复合保温材料
技术领域
[0001]本实用新型属于柔性管道加热技术，尤其是涉及一种用于柔性管道加热的复合保温材料。
【背景技术】
[0002]半导体真空管道加热已经广泛应用于许多半导体生产工艺中。由于许多半导体生产工艺中(例如CVD，PECVD，Etch)有大量的可凝生成物的生成，对管道的加热可以避免此类生成物在管道内壁上的沉积，从而，避免了管道的堵塞，以保证半导体生产设备的正常运行。一个完美加热的半导体管道可以大大增加设备的利用率，延长真空栗的寿命，提高成品的良率，并且减少操作工人和有毒气体的接触。
[0003]由于必须对管道进行定期的维护，例如，更换O型圈，半导体的管道加热套必须能够方便装拆。这就极大地限制了保温材料的使用。尤其是必须对复杂形状的零部件(例如，阀门)的加热。
[0004]发泡硅橡胶和玻璃纤维是目前最常用的保温材料。发泡硅橡胶可以做出非常美观的加热器，但是，它的导热系数较高(0.lW/mK左右)，因此，加热器表面温度较高，散热量很大。例如有些工艺需要加热到180°C，表面温度可达90°C。这不仅造成热量的损耗，而且可能导致操作人员的烫伤。玻璃纤维具有较低的导热系数，广泛用于直管的保温。但是，由于很难对复杂零部件进行包覆。所以采用玻璃纤维的复杂零部件加热器往往非常难看，且生产成本极高。
[0005]因此，对于半导体真空管道的加热，如何提高加热器的综合保温性能就极其重要。柔性加热器的保温一直是最大的挑战。因为高保温的材料往往柔性较差。而柔性的材料有往往是有机材料，不仅不耐高温，而且可燃，安全性能较差。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的在于提供一种用于柔性管道加热的复合保温材料，其具有保温效果好和外形美观的特点，以解决现有技术中柔性管道加热存在的上述问题。
[0007]为达此目的，本实用新型采用以下技术方案:
[0008]—种用于柔性管道加热的复合保温材料，其包括基材、隔热层和外包层，其中，所述基材包括蚀刻不锈钢加热膜，所述蚀刻不锈钢加热膜的两面分别设置有上硅橡胶涂覆玻纤布和下硅橡胶涂覆玻纤布，所述隔热层包括气凝胶隔热毡，所述气凝胶隔热毡设置于所述上硅橡胶涂覆玻纤布的外侧，且所述气凝胶隔热毡外设置有玻璃纤维毡或发泡硅橡胶层的任一种，所述外包层设置于所述玻璃纤维毡或发泡硅橡胶层的外侧。
[0009]特别地，所述外包层包括玻纤布和外特氟龙涂覆玻纤布，所述玻纤布设置于所述玻璃纤维毡的外侧，所述外特氟龙涂覆玻纤布设置于所述玻纤布的外侧。
[0010]特别地，所述外包层为外硅橡胶涂覆玻纤布，所述气凝胶隔热毡包裹于所述发泡硅橡胶层内，所述外硅橡胶涂覆玻纤布设置于所述发泡硅橡胶层的外侧。
[0011]特别地，所述下硅橡胶涂覆玻纤布的内侧设置有内特氟龙涂覆玻纤布。
[0012]本实用新型的有益效果为，与现有技术相比所述用于柔性管道加热的复合保温材料采用气凝胶隔热毡作为保温材料，其导热系数在0.01W/mK左右，比发泡硅橡胶要低10倍，其与玻璃纤维或发泡硅橡胶结合使用，适用于直观或复杂形状的加热。使得生产高保温又美观的柔性加热器成为可能。这样，降低了加热器的表面温度，大大减少了加热器的能耗，增加了加热器的使用寿命，具有较高的价值。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型【具体实施方式】I提供的用于柔性管道加热的复合保温材料的剖面图；
[0014]图2是本实用新型【具体实施方式】2提供的用于柔性管道加热的复合保温材料的剖面图。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图并通过【具体实施方式】来进一步说明本实用新型的技术方案。
[0016]实施例一:
[0017]请参阅图1所示，图1是本实用新型【具体实施方式】I提供的用于柔性管道加热的复合保温材料的剖面图。
[0018]本实施例中，一种用于柔性管道加热的复合保温材料包括基材、隔热层和外包层，所述基材包括蚀刻不锈钢加热膜1，所述蚀刻不锈钢加热膜I的两面分别设置有上硅橡胶涂覆玻纤布2和下硅橡胶涂覆玻纤布3，所述隔热层采用气凝胶隔热毡4，且所述气凝胶隔热毡4设置于所述上硅橡胶涂覆玻纤布2的外侧，所述外包层包括玻璃纤维毡5、玻纤布6和外特氟龙涂覆玻纤布7，所述玻璃纤维毡5设置于所述气凝胶隔热毡4的外侧，所述玻纤布6设置于所述玻璃纤维毡5的外侧，所述外特氟龙涂覆玻纤布7设置于所述玻纤布6的外侧。所述下硅橡胶涂覆玻纤布3的内侧设置有内特氟龙涂覆玻纤布8。
[0019]本实施例中，复合保温材料的保温层采用气凝胶隔热毡4，但是气凝胶很难单独在半导体管道复杂零部件加热器中使用。即使在直管加热器中，由于表面不够柔软，而且成本较高。因此，并不适合单独使用。通过气凝胶隔热毡4与玻璃纤维的结合形成复合保温材料，适用于直管加热器中。
[0020]实施例二:
[0021]请参阅图2所示，图2是本实用新型【具体实施方式】2提供的用于柔性管道加热的复合保温材料的剖面图。
[0022]本实施例中，一种用于柔性管道加热的复合保温材料包括基材、隔热层和外包层，所述基材包括蚀刻不锈钢加热膜1，所述蚀刻不锈钢加热膜I的两面分别设置有上硅橡胶涂覆玻纤布2和下硅橡胶涂覆玻纤布3，所述隔热层采用气凝胶隔热毡4，且所述气凝胶隔热毡4设置于所述上硅橡胶涂覆玻纤布2的外侧，所述外包层包括发泡硅橡胶层9和外硅橡胶涂覆玻纤布10，所述气凝胶隔热毡4包裹于所述发泡硅橡胶层9内，所述外硅橡胶涂覆玻纤布10设置于所述发泡硅橡胶层9的外侧。
[0023]本实施例中，复合保温材料的保温层采用气凝胶隔热毡4，通过气凝胶隔热毡4与发泡硅橡胶层9的结合形成复合保温材料，适用于复杂形状(例如阀门，法兰)的加热，既达到了提高保温的目的，又可以使得加热器外形美观。
[0024]以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述事例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种用于柔性管道加热的复合保温材料，其包括基材、隔热层和外包层，其特征在于，所述基材包括蚀刻不锈钢加热膜，所述蚀刻不锈钢加热膜的两面分别设置有上硅橡胶涂覆玻纤布和下硅橡胶涂覆玻纤布，所述隔热层包括气凝胶隔热毡，所述气凝胶隔热毡设置于所述上硅橡胶涂覆玻纤布的外侧，且所述气凝胶隔热毡外设置有玻璃纤维毡或发泡硅橡胶层的任一种，所述外包层设置于所述玻璃纤维毡或发泡硅橡胶层的外侧。2.根据权利要求1所述的用于柔性管道加热的复合保温材料，其特征在于，所述外包层包括玻纤布和外特氟龙涂覆玻纤布，所述玻纤布设置于所述玻璃纤维毡的外侧，所述外特氟龙涂覆玻纤布设置于所述玻纤布的外侧。3.根据权利要求1所述的用于柔性管道加热的复合保温材料，其特征在于，所述外包层为外硅橡胶涂覆玻纤布，所述气凝胶隔热毡包裹于所述发泡硅橡胶层内，所述外硅橡胶涂覆玻纤布设置于所述发泡硅橡胶层的外侧。4.根据权利要求1或2所述的用于柔性管道加热的复合保温材料，其特征在于，所述下硅橡胶涂覆玻纤布的内侧设置有内特氟龙涂覆玻纤布。
【文档编号】B32B17/02GK205716238SQ201620570662
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年6月14日
【发明人】顾幼范, 谢龙
【申请人】无锡新辉龙科技有限公司