流体控制装置以及气体管线部的装卸方法与流程

本发明涉及一种用于半导体制造装置等的流体控制装置、以及气体管线部的装卸方法。

背景技术

以往，提出了一种流体控制装置，其可固定于半导体制造装置的筐体的垂直壁面(例如参照专利文献1)。对于各气体管线部的管线保持部件，通过将其钩状的上端部勾挂于上横框架部件的切口，将管线保持部件的下端嵌入下横框架的狭缝，利用螺栓将上部罩及下部罩相对于上横框架部件及下横框架部件固定，从而将管线保持部件的上端部及下端部相对于上横框架部件及下横框架部件固定。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开2012－241823号公报

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

然而，在专利文献1中的流体控制装置中，在对管线保持部件进行装卸时，需要拆卸上部罩及下部罩，但由于与其他设备的关系，在上部罩的上侧空间不足，难以拆卸上部罩。另外，在将管线保持部件相对于上横框架部件进行装卸时，需要使管线保持部件的上端部通过一次上横框架的上侧，但由于在上部罩的上侧空间不足，因此难以装卸管线保持部件。此外，由于使用螺栓来固定管线保持部件，因此作业效率不佳。

因此，本发明的目的在于，提供一种可效率良好且容易地将气体管线部相对于框架进行安装的流体控制装置及气体管线部的装卸方法。

(二)技术方案

为了解决上述目的，作为本发明的一方式的流体控制装置，其中具备安装有流体控制设备的管线支承部件的气体管线部可装卸地安装于框架，在所述流体控制装置中所述框架具有第一横框架部件以及位于其下侧的第二横框架部件，所述第一横框架部件具备沿左右方向延伸的勾挂部件、以及位于比所述勾挂部件更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽的下侧部，所述管线支承部件具有设备载置部、以及从所述设备载置部的左右两缘向后方突出的一对侧板部，各侧板部具有位于比所述勾挂部件下侧的基部、以及位于比所述基部更靠上侧且位于所述勾挂部件后侧的上方部，所述基部中形成有向后方开口且嵌入所述第一槽的第二槽，所述上方部中设置有向前方突出且从上侧与所述勾挂部件抵接的突起部。

此外，也可以是，在所述上方部的后端形成有以随着从其上端向下方前进而远离所述设备载置部的方式倾斜的倾斜面。

此外，也可以是，在所述管线支承部件的下端设置有通过螺栓而固定于所述第二横框架部件的螺栓固定部，所述螺栓固定部在未通过所述螺栓固定于所述第二横框架部件的状态下，以随着向下方前进而朝向前方的方式倾斜。

此外，也可以是，在所述第二横框架部件中形成有在左右方向上排列的多个第一固定孔，在所述管线支承部件的下端设置有形成了第二固定孔的螺栓固定部，通过在所述第二固定孔及对应的所述第一固定孔插入螺栓，从而所述螺栓固定部固定于所述第二横框架部件。

此外，也可以是，在所述第二横框架部件中形成有沿左右方向延伸并向前方开口的狭缝，在所述管线支承部件的下端设置有形成了第二固定孔的螺栓固定部，通过在所述第二固定孔及所述狭缝插入螺栓，从而所述螺栓固定部固定于所述第二横框架部件。

此外，作为本发明的一方式的气体管线部相对于框架的安装方法，其是如下所述气体管线部相对于如下所述框架的装卸方法，其中，所述框架具有第一横框架部件以及位于所述第一横框架部件下侧的第二横框架部件，所述第一横框架部件具备沿左右方向延伸的勾挂部件、以及位于比所述勾挂部件更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽的下侧部；所述气体管线部具备管线支承部件，该管线支承部件具有可安装流体控制设备的设备载置部、以及从所述设备载置部的左右两缘向后方突出的一对侧板部，各侧板部具有基部、以及位于比所述基部更靠上侧的上方部，所述基部中形成有向后方开口的第二槽，所述上方部中设置有向前方突出的突起部，其中，在使所述气体管线部相对于上下方向倾斜的状态下，将所述管线支承部件的各基部的所述第二槽嵌入至所述第一横框架部件的所述下侧部的所述第一槽，并使所述上方部位于所述勾挂部件的后侧，以所述第二槽为中心，使所述气体管线部旋转以使得所述上方部朝向前方，使所述上方部的所述突起部从上侧与所述第一横框架部件的所述勾挂部件抵接，使所述气体管线部相对于所述第一横框架部件为悬吊状态。

此外，也可以是，在所述上方部与所述第一槽之间设置有阶梯部，该阶梯部具有面向下方的阶梯面，在使所述气体管线部相对于上下方向倾斜的状态下，将所述阶梯部的所述阶梯面载置于所述第一横框架部件的所述下侧部的上表面，使所述气体管线部向斜上方移动，将所述管线支承部件的各基部的所述第二槽嵌入至所述第一横框架部件的所述下侧部的所述第一槽。

(三)有益效果

根据本发明，能够提供一种可容易地将气体管线部相对于框架进行安装的流体控制装置及气体管线部的装卸方法。

附图说明

图1表示本实施方式的流体控制装置的立体图。

图2为表示一个气体管线部安装于框架的状态的图。

图3的(a)表示将第一横框架部件的一部分省略的立体图，图3的(b)表示第一横框架部件的局部放大图。

图4表示第二横框架部件的局部省略立体图。

图5的(a)表示管线支承部件的局部省略立体图，图5的(b)表示管线支承部件的局部省略侧视图。

图6表示将气体管线部安装于第一横框架部件及第二横框架部件的状态的局部省略侧视图。

图7表示将管线支承部件安装于第一横框架部件及第二横框架部件的状态下的管线支承部件的卡合部及固定部附近的放大立体图。

图8表示气体管线部向框架的安装方法的说明图。

图9为表示第二横框架部件的变形例的图。

具体实施方式

参照附图对本发明的实施方式的流体控制装置1及气体管线部3的装卸方法进行说明。在以下的说明中，如图1所示地对上下方向、左右方向以及前后方向进行定义。

图1表示本实施方式的流体控制装置1的立体图。图2为表示一个气体管线部3安装于框架2的状态的图。

如图1所示，流体控制装置1具备框架2、以及多个气体管线部3(为了简化附图，仅对一个气体管线部3标记参照编号)。

框架2例如可固定于半导体制造装置的筐体的垂直壁面。框架2呈方形的框状，并具备第一横框架部件10、第二横框架部件20、第一纵框架部件4、以及第二纵框架部件5。第二横框架部件20与第一横框架部件10平行，并位于第一横框架部件10的下侧。第一纵框架部件4及第二纵框架部件5与第一横框架部件10及第二横框架部件20正交，并分别与它们的端部连接。各框架部件10、20、4、5由例如不锈钢构成。

如图2所示，各气体管线部3被支承于第一横框架部件10及第二横框架部件20，并具备管线支承部件30、多个接头6、以及多个流体控制设备7。各接头6通过未图示的螺栓固定于管线支承部件30。多个流体控制设备7由自动阀、手动阀、调节器、压力计以及流量控制设备(例如质量流量控制器(mfc：massflowcontroller))等构成，并通过螺栓8相对于接头6(为了简化附图，仅对一个螺栓8标记参照编号)固定。

接下来，参照图3对第一横框架部件10的详细结构进行说明。图3的(a)表示第一横框架部件10的局部省略立体图，图3的(b)表示第一横框架部件10的局部放大图。

如图3的(a)、(b)所示，第一横框架部件10通过将金属板折弯而形成，呈在前方具有开口10a的截面大致“コ”字状，并具备第一上侧部11、第一后侧部12、以及第一下侧部13。

第一上侧部11沿左右方向延伸，并呈与上下方向正交的平板状，在其两端分别设置有用于安装第一、二纵框架部件4、5的安装部14。在位于一对安装部14之间的第一上侧部11的前端，设置有向下侧突出的第一前侧部15。在第一前侧部15的后表面15a，通过螺栓15b固定有在其左右方向的整个长度上延伸的勾挂部件16。

第一后侧部12从第一上侧部11的后端向下侧突出，与前后方向正交，并呈沿左右方向延伸的平板状。

第一下侧部13从第一后侧部12的下端向前侧突出，沿左右方向延伸，并呈与上下方向正交的平板状，在其两端分别设置有用于安装第一、二纵框架部件4、5的安装部17。第一下侧部13具有上表面13a与下表面13d。在第一下侧部13的前端部13b，形成有在前方开口的多个第一槽13c(为了简化附图，仅对一个第一槽13c标记参照编号)。各第一槽13c以随着向后方前进而宽度逐渐变窄的方式形成。

接下来，参照图4对第二横框架部件20的详细结构进行说明。

图4表示第二横框架部件20的局部省略立体图。

如图4所示，第二横框架部件20通过将金属板折弯而形成，呈后方开口的截面大致反“コ”字状，并具备第二上侧部21、第二前侧部22以及第二下侧部23。

第二上侧部21沿左右方向延伸，并呈与上下方向正交的平板状。第二前侧部22从第二上侧部21的前端向下侧突出，沿左右方向延伸，并呈与前后方向正交的平板状。在第二前侧部22的两端分别设置有用于安装第一、二纵框架部件4、5的安装部24。在第二前侧部22的一对安装部24之间形成有沿左右方向排列的多个第一固定孔22a(为了简化附图，仅对一个第一固定孔22a标记参照编号)。第二下侧部23从第二前侧部22的下端向后方突出，沿左右方向延伸，并呈与上下方向正交的平板状。

接下来，参照图5对管线支承部件30的详细结构进行说明。

图5的(a)表示管线支承部件30的局部省略立体图，图5的(b)表示管线支承部件30的局部省略侧视图。

管线支承部件30通过将例如不锈钢的板材折弯而形成。管线支承部件30具有沿上下方向延伸的平板状的设备载置部31、从设备载置部31的左右两缘向后方突出的一对侧板部32、以及设置于设备载置部31下端的固定部33。

在设备载置部31形成有多个接头孔31a，该接头孔31a与将接头6固定的未图示的螺栓螺合(为了简化附图，仅对一个接头孔31a标记参照编号)。

一对侧板部32具有相同的形状。各侧板部32呈沿上下方向延伸的平板状，且具有卡合部34、以及位于卡合部34下侧的板状部35。在管线支承部件30安装于框架2时，卡合部34位于比第一横框架部件10的第一下侧部13更靠上侧。

卡合部34具有从设备载置部31的右缘向后方直接突出的基部36、以及从基部36的上端向上方延伸的上方部37。上方部37中设置有从其上端部向前方突出的突起部37a。由基部36、上方部37以及突起部37a形成向前方开口的凹部37b。在上方部37的后端，形成有以随着从其上端向下方前进而远离设备载置部31的方式倾斜的第一倾斜面37c。

在基部36的下端形成有向后方开口的第二槽36a。第二槽36a的下侧部分由随着远离设备载置部31而向下方倾斜的第二倾斜面36b形成。在基部36的后端且第二槽36a的上侧，沿上下方向形成有切口36c。通过该切口36c，在基部36的后端形成有阶梯部36e，该阶梯部36e具有面向下方的阶梯面36d。另外，基部36的后端由从第一倾斜面37c的下端向下方延伸的第一后面36f、位于比第一后面36f更靠下侧且前侧并形成切口36c的第二后面36g、以及将第一后面36f与第二后面36g连接的阶梯面36d构成。

固定部33具备与设备载置部31的下端连接并向后方突出的连接部33a、以及从连接部33a的后端向下方突出的螺栓固定部33b。连接部33a以相对于设备载置部31呈直角的方式折弯。螺栓固定部33b以随着向下方前进而朝向前方的方式倾斜，并形成有用于插入螺栓9的一对第二固定孔33c。

接下来，参照图6、7对将气体管线部3安装于框架2的状态下的管线支承部件30与第一横框架部件10及第二横框架部件20的关系进行说明。

图6表示将气体管线部3安装于第一横框架部件10及第二横框架部件20的状态的局部省略侧视图。图7表示将管线支承部件30安装于第一横框架部件10及第二横框架部件20的状态下的管线支承部件30的卡合部34及固定部33附近的放大立体图。

如图6、7所示，在将气体管线部3安装于第一横框架部件10及第二横框架部件20的状态下，管线支承部件30的各上方部37位于第一横框架部件10的第一前侧部15的后方。而且，各上方部37的突起部37a从上侧抵接勾挂部件16，勾挂部件16位于上方部37的凹部37b内。

此外，如图7所示，管线支承部件30的各基部36的第二槽36a以对搭连接(日文：相欠き継ぎ)的方式从前方嵌入至第一横框架部件10的第一下侧部13的第一槽13c，使气体管线部3在左右方向上相对于框架2定位。第一槽13c形成为可收纳两个侧板部32的尺寸，但随着向后方前进而宽度变窄(形成锥形部分)。另外，一对侧板部32的间隔以右侧的侧板部32与对应的第一槽13c的左侧的锥形部分接触、左侧的侧板部32与对应的第一槽13c的右侧的锥形部分接触的间隔形成。因此，在管线支承部件30的各基部36的第二槽36a插入至里面时，使气体管线部3可靠地相对于框架2定位。

此外，螺栓9在螺栓固定部33b插入至各第二固定孔33c及第二前侧部22的第一固定孔22a，使管线支承部件30的固定部33固定于第二横框架部件20。如上所述，由于螺栓固定部33b以随着向下方前进而朝向前方的方式倾斜，因此若将螺栓固定部33b以与第二横框架部件20的第二前侧部22抵接的方式通过螺栓9固定，则对管线支承部件30的上方部37作用向前方侧的力。由此，管线支承部件30的上方部37被压至第一横框架部件10的第一前侧部15。

接下来，参照图8对气体管线部3的装卸方法进行说明。

图8表示气体管线部3向框架2的安装方法的说明图。

如图8的(a)所示，将气体管线部3以相对于上下方向倾斜的方式保持，将气体管线部3的卡合部34的一部分经由开口10a插入至第一横框架部件10内，将各侧板部32的卡合部34的基部36插入至第一横框架部件10的第一下侧部13的第一槽13c，并且将各阶梯部36e的阶梯面36d载置于第一下侧部13的上表面13a上。由此，气体管线部3的自重的大部分由第一横框架部件10支承。

一边如图8的(b)所示，使各卡合部34的基部36的第二后面36g沿第一下侧部13的第一槽13c向斜上方滑动，一边如图8的(c)所示，使气体管线部3上升，直至卡合部34的基部36的第二倾斜面36b与第一下侧部13的下表面13d抵接。

接下来，一边将管线支承部件30的各基部36的第二槽36a嵌入至第一横框架部件10的第一下侧部13的第一槽13c，一边以第二槽36a为中心而使气体管线部3旋转以使其固定部33靠近第二前侧部22。由此，管线支承部件30的各上方部37的突起部37a从上侧与在第一横框架部件10的第一前侧部15设置的勾挂部件16抵接，勾挂部件16位于上方部37的凹部37b内。其结果为，气体管线部3相对于第一横框架部件10呈悬吊状态。

将螺栓9在螺栓固定部33b插入至各第二固定孔33c及第二前侧部22的第一固定孔22a，将管线支承部件30的固定部33固定于第二横框架部件20。

此外，在将气体管线部3从框架2卸下时，按照与基于图8的(a)～(d)所说明的顺序相反的顺序进行。即，将螺栓9从固定部33的螺栓固定部33b及第二横框架部件20的第二前侧部22卸下，以第二槽36a为中心使气体管线部3旋转以使其固定部33远离第二前侧部22。将各基部36的第二槽36a从第一下侧部13的第一槽13c卸下，一边使各基部36的第二后面36g沿第一下侧部13的第一槽13c滑动，一边使气体管线部3下降，直至各阶梯部36e的阶梯面36d与第一下侧部13的上表面13a抵接。进而，使各卡合部34远离第一横框架部件10，由此将气体管线部3从框架2卸下。

如以上所述，根据本实施方式的流体控制装置1，沿上下方向延伸的管线支承部件30具有平板状的设备载置部31、以及从设备载置部31的左右两缘向后方突出的一对侧板部32。各侧板部32具有位于比勾挂部件16更靠下侧的基部36、以及位于比基部36更靠上侧且位于勾挂部件16后侧的上方部37。基部36中形成有向后方开口并嵌入至第一横框架部件10的第一槽13c的第二槽36a，上方部37中设置有向前方突出并从上侧与勾挂部件16抵接的突起部37a。

根据所述结构，将管线支承部件30的各基部36的第二槽36a嵌入至第一横框架部件10的第一下侧部13的第一槽13c，使上方部37位于勾挂部件16的后侧，以第二槽36a为中心使气体管线部3旋转，以使上方部37朝向前方，使上方部37的突起部37a从上侧与第一横框架部件10的勾挂部件16抵接，能够使气体管线部3相对于第一横框架部件10为悬吊状态。由此，即使在第一横框架部件10的上侧没有空间，也能够容易地将气体管线部3相对于框架2进行安装。此外，由于不使用螺栓等固定件而进行安装，因此能够提高将气体管线部3相对于框架2进行安装时的作业效率。另外，不仅在安装时，而且在将气体管线部3从框架2卸下时，也能够容易地进行卸下，能够提高作业效率。

此外，在上方部37的后端形成有以随着从其上端向下方前进而远离设备载置部31的方式倾斜的第一倾斜面37c。根据所述结构，即使在第一横框架部件10进深不足的情况下，也能够容易地进行管线支承部件30向第一横框架部件10的安装。

此外，由于螺栓固定部33b在未利用螺栓9固定于第二横框架部件20的状态下，以随着向下方前进而朝向前方的方式倾斜，因此若将螺栓固定部33b以与第二横框架部件20抵接的方式通过螺栓9固定，则对管线支承部件30的上方部37作用向前方侧的力。由此，管线支承部件30的上方部37被压至第一横框架部件10的第一前侧部15，因此能够降低振动对气体管线部3造成的影响。

通过在螺栓固定部33b的一对第二固定孔33c及第二横框架部件20的对应的第一固定孔22a中插入螺栓9，从而使螺栓固定部33b固定于第二横框架部件20。根据所述结构，能够降低振动对气体管线部3造成的影响。

此外，将气体管线部3安装于框架2时，在使气体管线部3相对于上下方向倾斜的状态下，将基部36的阶梯部36e的阶梯面36d载置于第一横框架部件10的第一下侧部13的上表面13a。由此，能够使气体管线部3的自重的大部分由第一横框架部件10支承，因此能够减轻操作者的负担，能够提高将气体管线部3相对于框架2进行装卸时的作业效率。

此外，由于形成于第一下侧部13的各第一槽13c以随着向后方前进而宽度逐渐变窄的方式形成，因此能够容易地进行形成于基部36的第二槽36a相对于第一槽13c的嵌入。此外，由于形成于基部36的第二槽36a的下侧部分由随着远离设备载置部31而向下方倾斜的第二倾斜面36b形成，因此能够使其远离第一下侧部13的下表面13d。由此，能够降低振动对气体管线部3造成的影响。

另外，本发明并不限定于上述实施方式。只要是本领域技术人员，便可在本发明的范围内进行各种补充、变更等。

例如，也可以是，在如图9所示的第二横框架部件120形成沿左右方向延伸的狭缝120a，并在狭缝120a内插入内螺纹部件(未图示)，由此在一对第二固定孔33c及所述狭缝120a中插入螺栓9，将螺栓固定部33b固定于第二横框架部件120。根据所述结构，能够将螺栓固定部33b固定于第二横框架部件120的任意位置。

此外，为了将管线支承部件30的固定部33固定于第一横框架部件20，也可以使用现有技术那样的沿左右方向延伸的罩进行固定。此外，虽然第二固定部33b可通过两个螺栓9相对于第二横框架部件20固定，但是也可以在第二固定部33b的左右方向的中央部形成一个螺栓孔33c，并仅通过一个螺栓9将第二固定部33b固定于第二横框架部件20。此外，虽然框架2是由一对横框架部件及一对纵框架部件构成，但是也可以由一对横框架部件构成，各横框架部件固定于半导体制造装置的筐体的垂直壁面。

附图标记说明

1-流体控制装置；

2-框架；

3-气体管线部；

4-第一纵框架部件；

5-第二纵框架部件；

7-流体控制设备；

9-螺栓；

10-第一横框架部件；

13-第一下侧部；

13c-第一槽；

16-勾挂部件；

20、120-第二横框架部件；

22a-第一固定孔；

30-管线支承部件；

31-设备载置部；

32-侧板部；

33b-螺栓固定部；

33c-第二固定孔；

36-基部；

36a-第二槽；

37-上方部；

37a-突起部；

37c-第一倾斜面；

120a-狭缝。