技术总结
本发明提供了一种用于半导体制造设备的钟摆阀，涉及半导体制造设备领域。包括：阀门本体；用于调节气体通道的振子板，在第一驱动电机的带动下进行转动；密封板，设置在振子板的上侧，并在密封结构的带动下在贴紧和释放振子板的两个状态之间移动；密封结构包括：圆环本体，在其圆周方向设置有多个贯通的移动槽，每一移动槽内设有向旋转方向延伸形成的倾斜面；轴辅材，一端与密封板固定，另一端为卡接于倾斜面的卡头，沿着倾斜面升降；弹性辅材，设置于卡头的上侧；第二驱动电机传动轴与原动体连接；圆环本体和原动体之间具有用原动体的动力旋转圆环本体的动力传达部。本发明能够提高反应室与泵之间的可靠密封，提高密封动作的响应速度。
技术研发人员：金永春
受保护的技术使用者：无锡永井电子有限公司
技术研发日：2019.12.24
技术公布日：2020.03.24