用于pecvd设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明主要涉及蝶阀调整锁定技术，尤其涉及一种用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置。
【背景技术】
[0002]PECVD即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化学气相沉积，其它的有HWCVD，LPCVD，M0CVD等。是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在扩散面即N型硅表面利用气态源SiH4、NH3进行氮化硅减反射薄膜的化学沉积。
[0003]蝶阀是用圆形碟板作启闭件并随阀杆转动来开启、关闭和调节流体通道的一种阀门。在PECVD设备真空管道部件中普遍使用其控制管道流量大小。现有PECVD设备中，蝶阀一般采用电子执行器控制其打开角度，即在蝶阀上安装电子执行器，电子执行器连接蝶阀的转动轴，当电子执行器接收到控制端输入的信号，便内部电机转动，带动蝶阀转动轴旋转，以实现蝶阀打开和闭合。电子执行器虽然能方便的控制蝶阀的启闭，但缺少自锁功能，在工艺过程中蝶阀的打开角度不能固定，影响工艺效果；而且电子执行器价格昂贵，会推高设备成本。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、成本低廉、可大大提高整体工艺效果的用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置。
[0005]为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案:
一种用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，包括调整组件、支撑组件和锁紧组件，所述支撑组件固装于管道的端部法兰上，所述锁紧组件装设于所述支撑组件上，所述调整组件与蝶阀的转动轴连接并伸至所述锁紧组件处，调整所述调整组件并带动转动轴转动后所述锁紧组件锁紧所述调整组件。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进:
所述调整组件包括套接柱和调节杆所述套接柱套装于蝶阀的转动轴上，所述调节杆与套接柱连接并通过伸至所述锁紧组件处，所述调节杆通过套接柱带动转动轴转动后所述锁紧组件锁紧所述调节杆。
[0007]所述调整组件还包括紧定螺栓，所述套接柱套于蝶阀的转动轴后通过紧定螺栓与转动轴固接。
[0008]所述支撑组件包括支撑架和固定块，所述支撑架固装于管道的端部法兰上，所述固定块固装于支撑架上，所述锁紧组件活动连接于固定块上。
[0009]所述支撑架通过第一紧固螺栓与管道的端部法兰连接，所述固定块通过第二紧固螺栓固装于支撑架上。
[0010]所述锁紧组件包括两根锁紧螺杆，两根所述锁紧螺杆分别螺纹穿设于两个固定块上、且两根锁紧螺杆相对设置，所述调节杆伸至两根锁紧螺杆之间，旋紧两根锁紧螺杆时、两根所述锁紧螺杆夹紧所述调节杆。
[0011]所述调节杆两侧设有用于与两根锁紧螺杆相抵的切面。
[0012]与现有技术相比，本发明的优点在于:
本发明的用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，使用时，先将支撑组件固装于管道的端部法兰上，然后将锁紧组件装设于支撑组件上，再将调整组件与蝶阀的转动轴连接并使调整组件伸至锁紧组件处，最后通过调整组件带动转动轴转动，以实现蝶阀的启闭，当蝶阀转动至所需位置时，则利用锁紧组件对调整组件进行锁紧，以实现对蝶阀的固定。较传统的采用电子执行器而言，该调整锁紧装置结构简单、成本低廉；并且该装置同时具备调整和锁紧的功能，可大大提高工艺效果。
【附图说明】
[0013]图1是本发明用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置的主视结构示意图。
[0014]图2是本发明用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置的立体结构示意图。
[0015]图中各标号表不:
1、调整组件；11、套接柱；12、调节杆；121、切面；13、紧定螺栓；2、支撑组件；21、支撑架；22、固定块；23、第一紧固螺栓；24、第二紧固螺栓；3、锁紧组件；31、锁紧螺杆。
【具体实施方式】
[0016]以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
[0017]如图1和图2所示，本发明用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置的一种实施例，该装置包括调整组件1、支撑组件2和锁紧组件3，支撑组件2固装于管道的端部法兰上，锁紧组件3装设于支撑组件2上，调整组件1与蝶阀的转动轴连接并伸至锁紧组件3处，调整调整组件1并带动转动轴转动后锁紧组件3锁紧调整组件1。使用时，先将支撑组件2固装于管道的端部法兰上，然后将锁紧组件3装设于支撑组件2上，再将调整组件1与蝶阀的转动轴连接并使调整组件1伸至锁紧组件3处，最后通过调整组件1带动转动轴转动，以实现蝶阀的启闭，当蝶阀转动至所需位置时，则利用锁紧组件3对调整组件1进行锁紧，以实现对蝶阀的固定。较传统的采用电子执行器而言，该调整锁紧装置结构简单、成本低廉；并且该装置同时具备调整和锁紧的功能，可大大提高工艺效果。
[0018]本实施例中，调整组件1包括套接柱11和调节杆12套接柱11套装于蝶阀的转动轴上，调节杆12与套接柱11连接并通过伸至锁紧组件3处，调节杆12通过套接柱11带动转动轴转动后锁紧组件3锁紧调节杆12。该结构中，套接柱11套装于蝶阀的转动轴上、调节杆12插于套接柱11上，转动调节杆12时，调节杆12会通过套接柱11带动转动轴转动，以实现蝶阀的启闭，当蝶阀转动至所需位置时，则利用锁紧组件3对调节杆12进行锁紧，以实现对蝶阀的固定。其结构简单可靠。
[0019]本实施例中，调整组件1还包括紧定螺栓13，套接柱11套于蝶阀的转动轴后通过紧定螺栓13与转动轴固接。该结构中，套接柱11外周开设有与其套腔相通的螺纹孔，待套接柱11套于蝶阀的转动轴后，用紧定螺栓13旋入螺纹孔内并顶紧转动轴，即可完成套接柱11与蝶阀的固定，其结构简单、易于实现。
[0020]本实施例中，支撑组件2包括支撑架21和固定块22，支撑架21固装于管道的端部法兰上，固定块22固装于支撑架21上，锁紧组件3活动连接于固定块22上。该结构中，支撑架21用于承载固定块22和锁紧组件3，起到主要的支撑作用，而且，支撑架21还相当于一个操作平台，当转动调节杆12后，在支撑架21上操作锁紧组件3，使调节杆12锁紧，其结构简单、设计巧妙。
[0021]本实施例中，支撑架21通过第一紧固螺栓23与管道的端部法兰连接，固定块22通过第二紧固螺栓24固装于支撑架21上。该结构中，第一紧固螺栓23和第二紧固螺栓24可分别保证支撑架21与固定块22的可拆卸连接，便于更换的维修。
[0022]本实施例中，锁紧组件3包括两根锁紧螺杆31，两根锁紧螺杆31分别螺纹穿设于两个固定块22上、且两根锁紧螺杆31相对设置，调节杆12伸至两根锁紧螺杆31之间，旋紧两根锁紧螺杆31时、两根锁紧螺杆31夹紧调节杆12。该结构中，两根锁紧螺杆31呈横向的、相对的穿设于两个固定块22，而调节杆12刚好伸至两根锁紧螺杆31之间，当调节杆12转动至所需位置时，先旋紧一根锁紧螺杆31顶住调节杆12，再旋紧另一根锁紧螺杆31顶紧调节杆12，最终两根锁紧螺杆31夹紧调节杆12，从而实现对调节杆12的锁紧，其操作非常简单。
[0023]本实施例中，调节杆12两侧设有用于与两根锁紧螺杆31相抵的切面121。这样设置，使得旋紧两根锁紧螺杆31时，两根锁紧螺杆31不至于发生偏滑现象，增大了两根锁紧螺杆31与调节杆12的接触面积，进一步提高了锁紧效果。
[0024]虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。
【主权项】
1.一种用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，其特征在于:包括调整组件(1 )、支撑组件(2)和锁紧组件(3)，所述支撑组件(2)固装于管道的端部法兰上，所述锁紧组件(3 )装设于所述支撑组件(2 )上，所述调整组件(1)与蝶阀的转动轴连接并伸至所述锁紧组件(3)处，调整所述调整组件(1)并带动转动轴转动后所述锁紧组件(3)锁紧所述调整组件(1)。2.根据权利要求1所述的用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，其特征在于:所述调整组件(1)包括套接柱(11)和调节杆(12)所述套接柱(11)套装于蝶阀的转动轴上，所述调节杆(12)与套接柱(11)连接并通过伸至所述锁紧组件(3)处，所述调节杆(12)通过套接柱(11)带动转动轴转动后所述锁紧组件(3 )锁紧所述调节杆(12 )。3.根据权利要求2所述的用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，其特征在于:所述调整组件(1)还包括紧定螺栓(13 )，所述套接柱(11)套于蝶阀的转动轴后通过紧定螺栓(13)与转动轴固接。4.根据权利要求3所述的用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，其特征在于:所述支撑组件(2)包括支撑架(21)和固定块(22)，所述支撑架(21)固装于管道的端部法兰上，所述固定块(22)固装于支撑架(21)上，所述锁紧组件(3)活动连接于固定块(22)上。5.根据权利要求3所述的用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，其特征在于:所述支撑架(21)通过第一紧固螺栓(23)与管道的端部法兰连接，所述固定块(22)通过第二紧固螺栓(24 )固装于支撑架(21)上。6.根据权利要求4或5所述的用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，其特征在于:所述锁紧组件(3)包括两根锁紧螺杆(31)，两根所述锁紧螺杆(31)分别螺纹穿设于两个固定块(22)上、且两根锁紧螺杆(31)相对设置，所述调节杆(12)伸至两根锁紧螺杆(31)之间，旋紧两根锁紧螺杆(31)时、两根所述锁紧螺杆(31)夹紧所述调节杆(12)。7.根据权利要求6所述的用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，其特征在于:所述调节杆(12)两侧设有用于与两根锁紧螺杆(31)相抵的切面(121)。
【专利摘要】本发明公开了一种用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，包括调整组件、支撑组件和锁紧组件，支撑组件固装于管道的端部法兰上，锁紧组件装设于支撑组件上，调整组件与蝶阀的转动轴连接并伸至锁紧组件处，调整调整组件并带动转动轴转动后锁紧组件锁紧调整组件。该装置具有结构简单、成本低廉、可大大提高整体工艺效果的优点。
【IPC分类】F16L55/00, F16K31/04
【公开号】CN105299291
【申请号】CN201510714972
【发明人】詹辉, 谢振勇, 吴得轶
【申请人】湖南红太阳光电科技有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年10月29日