专利名称：保温洁净节能的氮气柜的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体单晶硅制程设备，具体涉及到一种具有保温洁净和节 能效果的氮气柜。
背景技术：
在单晶硅的制程中，硅片在经过抛光清洗之后必须要经过干燥处理，才能进入下 一个制程。现有技术对硅片的干燥主要是通过充氮配合甩干机来实现，但是此种方式主要存 在以下的缺点第一，普通的甩干机一次只能放置两盒硅片，因此以来甩干机的方式极大程度上 限制了生产的数量，影响生产效率；第二，甩干机的洁净度较低，导致影响产品质量，无法满足TDH反颗粒现象测试；第三，甩干机在高速甩干时，气体与产品摩擦产生大量的静电，存在一定的安全隐患。
实用新型内容针对上述缺陷，本实用新型的目的是提供一种保温洁净节能的氮气柜，以解决现 有技术的单晶硅干燥设备生产效率低下，产品质量较差且有静电产生影响安全的技术问 题。为实现上述目的，本实用新型采用了以下的技术方案一种保温洁净节能的氮气柜、包括一柜体，该柜体内设置有若干产品摆放台，还包 括一氮气加热装置、一洁净节能装置以及控制系统，该洁净节能装置分别与该氮气加热装 置和该柜体联通，用以将该氮气加热装置加热的氮气过滤并将其吹入柜体内，将产品烘干， 该控制系统控制所述氮气加热装置的温度和氮气流量以及该洁净节能装置的风速。依照本实用新型较佳实施例所述的氮气柜，所述氮气加热装置进一步包括一外 壳，该外壳上设置有进气口和出气口 ；一加热腔，该加热腔设置在所述外壳内部，内部设置 有若干加热元件，各加热元件之间连接有若干导流板；以及保温棉，设置在该外壳与该加热 腔之间。依照本实用新型较佳实施例所述的氮气柜，所述洁净节能装置进一步包括设置在 柜体顶部的静电消除器、高效过滤网以及风机。依照本实用新型较佳实施例所述的氮气柜，所述氮气加热装置还包括若干测温点。依照本实用新型较佳实施例所述的氮气柜，所述柜体内设置有回风口，用于对柜 体内的氮气反复利用。依照本实用新型较佳实施例所述的氮气柜，所述柜体底部设置有若干滚轮。由于采用了以上的技术特征，使得本实用新型相比于现有技术具有如下的优点和积极效果第一，本实用新型在氮气进气口之前设置氮气加热装置，并且经过滤消除静电后 再用来干燥气体，可控制温度和湿度，提高氮气利用率，提高了产品的品质；第二，本实用新型无需使用甩干机，而用氮气在大型的氮气柜中直接干燥，可以提高产量；第三，本实用新型可以对氮气温度进行控制，可以保证干燥的效率，并且氮气回收 重复利用，节能效果好。当然，实施本实用新型内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部 的技术效果。
图1是本实用新型一种保温洁净节能的氮气柜的示意图；图2是氮气加热装置的示意图；图3是图1的主视图。
具体实施方式
为便于理解，
以下结合附图对本实用新型的较佳实施例做进一步详细叙述。请参考图1，一种保温洁净节能的氮气柜、包括一柜体10，柜体10底部设置多个滚 轮11，可在车间内移动。柜体10内设置有若干产品摆放台。还包括氮气加热装置30和洁净节能装置20以及控制系统，洁净节能装置20分别 与氮气加热装置30和柜体10联通，用以将氮气加热装置30加热的氮气通过管道32运送 到洁净节能装置20过滤并将其吹入柜体10内，将产品烘干，控制系统控制氮气加热装置30 的温度和氮气流量以及洁净节能装置20的风速。请参考图2，是氮气加热装置的结构剖面示意图，可见，其包括外壳33，外壳33内 的加热腔以及在加热腔和外壳之间的填充的保温棉34，外壳33通过支架31安装在地面上。外壳33上设置有进气口 36和出气口 37，进气口 36联通至加热腔35，将氮气送入 加热腔35内，而出气口 37，则从加热腔35联通至管道32输送到柜体10，保温棉34，设置在 外壳33与加热腔35之间，优选为硅酸铝棉材质，起到保温的作用。加热腔35设置在外壳33内部，内部设置有若干加热元件38，为增大受热面积，加 热元件38为弯曲的管状，加热元件38之间连接有若干导流板39，导流板39和加热元件38 以及加热腔35的外壁都是不锈钢材质。为便于测量温度，在氮气加热装置30上设置了若干个测温点351，从而保证可以 方便测得氮气的温度，整个装置通过法兰331固定。请参考图3，洁净节能装置20包括静电消除器21、高效过滤网22和风机23。风机 23将管道32通过来的氮气首先通过高效过滤网对直径> 0. 2um的粉尘颗粒进行过滤，之后 再通过静电消除器21消除气体中的静电，之后再进入氮气柜的柜体内对产品进行干燥。 控制系统主要包括，风速控制器M和温/湿度控制器25，分别对风机23的风速和 氮气的温度湿度进行控制，并适时调节。[0032]为实现节能的效果，在柜体内设置了回风口 13可以使得氮气在柜体10内循环重 复利用，直到温度不能达到干燥产品的要求。综上所述，由于采用了以上的技术特征，使得本实用新型相比于现有技术具有如 下的优点和积极效果第一，本实用新型在氮气进气口之前设置氮气加热装置，并且经过滤消除静电后 再用来干燥气体，可控制温度和湿度，提高氮气利用率，提高了产品的品质；第二，本实用新型无需使用甩干机，而用氮气在大型的氮气柜中直接干燥，可以提高产量；第三，本实用新型可以对氮气温度进行控制，可以保证干燥的效率，并且氮气回收 重复利用，节能效果好。当然，实施本实用新型内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部 的技术效果。以上公开的仅仅是本实用新型的较佳实施例，但并非用来限制其本身，任何熟习 本领域的技术人员在不违背本实用新型精神内涵的情况下，所做的均等变化和更动，均应 落在本实用新型的保护范围内。权利要求1.一种保温洁净节能的氮气柜、包括一柜体，该柜体内设置有若干产品摆放台，其特征 在于，还包括一氮气加热装置、一洁净节能装置以及控制系统，该洁净节能装置分别与该氮气加热 装置和该柜体联通，用以将该氮气加热装置加热的氮气过滤并将其吹入柜体内，将产品烘 干，该控制系统控制所述氮气加热装置的温度和氮气流量以及该洁净节能装置的风速。
2.如权利要求1所述的氮气柜，其特征在于，所述氮气加热装置进一步包括一外壳，该外壳上设置有进气口和出气口 ；一加热腔，该加热腔设置在所述外壳内部，该加热腔内部设置有若干加热元件，各加热 元件之间连接有若干导流板；以及保温棉，设置在该外壳与该加热腔之间。
3.如权利要求1所述的氮气柜，其特征在于，所述洁净节能装置进一步包括设置在柜 体顶部的静电消除器、高效过滤网以及风机。
4.如权利要求2所述的氮气柜，其特征在于，所述氮气加热装置还包括若干测温点。
5.如权利要求1所述的氮气柜，其特征在于，所述柜体内设置有回风口，用于对柜体内 的氮气反复利用。
6.如权利要求1所述的氮气柜，其特征在于，所述柜体底部设置有若干滚轮。
专利摘要本实用新型提供一种保温洁净节能的氮气柜、包括一柜体，该柜体内设置有若干产品摆放台，还包括一氮气加热装置、一洁净节能装置以及控制系统，该洁净节能装置分别与该氮气加热装置和该柜体联通，用以将该氮气加热装置加热的氮气过滤并将其吹入柜体内，将产品烘干，该控制系统控制所述氮气加热装置的温度和氮气流量以及该洁净节能装置的风速。本实用新型在氮气进气口之前设置氮气加热装置，并且经过滤消除静电后再用来干燥气体，可控制温度和湿度，提高氮气利用率，提高了产品的品质。
文档编号F17B1/00GK201827637SQ20102052393
公开日2011年5月11日 申请日期2010年9月9日 优先权日2010年9月9日
发明者陈永胜 申请人:上海盛翼电子有限公司