强酸集中供液系统的制作方法

文档序号:5808629阅读:370来源:国知局
强酸集中供液系统的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种强酸集中供液系统,包括储酸罐,储酸罐中插入出液管,出液管的管口插入储酸罐的槽底,出液管与泵的进口连接,泵的出口端的管道与回液管连接,回液管与储酸槽之间密封,回液管插入储酸槽中;其特征是:在所述回液管上连接进气管,进气管的进气端连接单向阀和过滤器。所述出液管伸入储酸槽中的长度比储酸槽的高度长6~10mm,出液管伸入储酸槽中的部分呈弧形,出液管的管口抵住储酸槽的槽底。在所述出液管的管口设置多个缺口。所述缺口为半圆形、锯齿形或矩形,缺口的高度为出液管半径的一半。所述回液管的管口位于储酸槽的液面以上。本发明避免了酸气溢出对环境、健康的影响;并且使管子最大限度的抽酸,减少浪费。
【专利说明】强酸集中供液系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种强酸集中供液系统,尤其是一种减少酸气溢出、提高抽酸量的供液装置。
【背景技术】
[0002]强酸(包含HF、HCl、HN03、H2SO4等)一般采用集中供液系统,采取特殊的措施,方便集中管理和使用。强酸从集中供液房通过输送系统,送到不同的地方,以满足到不同的工艺需求。现有技术中,集中供酸系统一般采用如图1所示的结构,在泵2a的出液端的管道上连接回液管3a,但是由于回液管3a与储酸槽5a之间未密封,空气和酸气可以自由进出,空气中的灰尘进入储酸槽5a会污染酸液,对工艺造成潜在影响,对要求高的半导体行业是不可忽视的因素;并且,酸气溢出也会造成集中供液房酸气大,影响工人身心健康。另外,现有的集中供液系统由于抽液管的设计不够合理,酸液抽不净,余量一般为了 5%?8%,造成浪费。

【发明内容】

[0003]本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种强酸集中供液系统,防止酸气溢出对环境、健康的影响,并且使液管最大限度的抽酸,减少浪费。
[0004]按照本发明提供的技术方案,所述强酸集中供液系统,包括储酸罐,储酸罐中插入出液管,出液管的管口插入储酸罐的槽底,出液管与泵的进口连接,泵的出口端的管道与回液管连接,回液管与储酸槽之间密封,回液管插入储酸槽中;其特征是:在所述回液管上连接进气管,进气管的进气端连接单向阀和过滤器。
[0005]所述出液管伸入储酸槽中的长度比储酸槽的高度长6?10mm,出液管伸入储酸槽中的部分呈弧形,出液管的管口抵住储酸槽的槽底。
[0006]在所述出液管的管口设置多个缺口。
[0007]所述缺口为半圆形、锯齿形或矩形,缺口的高度为出液管半径的一半。
[0008]所述回液管的管口位于储酸槽的液面以上。
[0009]本发明所述强酸集中供液系统通过单向阀、过滤器,避免了酸气溢出对环境、健康的影响;并且重新对出液管进行设计,使管子最大限度的抽酸,减少浪费。
【专利附图】

【附图说明】
[0010]图1为现有技术中集中供酸系统的结构示意图。
[0011]图2为本发明的结构示意图。
[0012]图3为所述出液管管口的示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合具体附图对本发明作进一步说明。[0014]如图2?图3所不:所述强酸集中供液系统包括缺口 1、泵2、回液管3、出液管4、储酸罐5、过滤器6、单向阀7、进气管8等。
[0015]如图2所示,本发明包括储酸罐5,储酸罐5中插入出液管4,出液管4的管口插入储酸罐5的槽底,出液管4与泵2的进口连接,泵2的出口端的管道与回液管3连接,回液管3插入储酸槽5中,回液管3与储酸槽5之间密封,回液管3的管口位于储酸槽5的液面以上;在所述回液管3上连接进气管8,进气管8的进气端连接单向阀7和过滤器6,过滤器6可以防止灰尘进入储酸罐5,单向阀7可以保证空气只能进入补压而不能出;
所述出液管4伸入储酸槽5中的长度加长6?10mm、并且出液管4呈弧形,出液管4的管口抵住储酸槽5的槽底;如图3所示,在所述出液管4的管口设置4个半圆形缺口 1,缺口 I的半径为出液管4半径的一半,比如出液管4半径为IOmm,缺口 I应开半径5mm,这样最后余量液面会低于I厘米,对于200L的储酸槽5酸液余量会小于2% ;
所述缺口 I的形状也可以为锯齿形、矩形或其它形状,高度为出液管4半径的一半。
[0016]采用本发明所述的强酸集中供液系统后,酸气浓度从以前的lO-lOOppm,降低到0-0.5ppm ;酸的残余量由以前的5-10KG/桶,降低到3_5 KG/桶。
【权利要求】
1.一种强酸集中供液系统,包括储酸罐(5),储酸罐(5)中插入出液管(4),出液管(4)的管口插入储酸罐(5)的槽底,出液管(4)与泵(2)的进口连接,泵(2)的出口端的管道与回液管(3)连接,回液管(3)与储酸槽(5)之间密封,回液管(3)插入储酸槽(5)中;其特征是:在所述回液管(3)上连接进气管(8),进气管(8)的进气端连接单向阀(7)和过滤器(6)。
2.如权利要求1所述的强酸集中供液系统,其特征是:所述出液管(4)伸入储酸槽(5)中的长度比储酸槽(5)的高度长6?10mm,出液管(4)伸入储酸槽(5)中的部分呈弧形,出液管(4)的管口抵住储酸槽(5)的槽底。
3.如权利要求1所述的强酸集中供液系统,其特征是:在所述出液管(4)的管口设置多个缺口(I)。
4.如权利要求3所述的强酸集中供液系统,其特征是:所述缺口(I)为半圆形、锯齿形或矩形,缺口(I)的高度为出液管(4)半径的一半。
5.如权利要求1所述的强酸集中供液系统,其特征是:所述回液管(3)的管口位于储酸槽(5)的液面以上。
【文档编号】F17D1/08GK103939739SQ201410159200
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年4月18日 优先权日:2014年4月18日
【发明者】王广军, 刘亚伟, 刘付炯, 杨庆杰 申请人:无锡尚德太阳能电力有限公司, 洛阳尚德太阳能电力有限公司
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