光刻胶回收装置的制作方法

本实用新型涉及光刻胶涂胶生产领域，特别是涉及一种光刻胶回收装置。

背景技术：

集成电路制造技术是微电子工业的基础，近年来，随着集成电路器件的蓬勃发展，也带动了半导体制作工艺的发展，其生产规模越来越大；当然，在半导体制作过程中，光刻胶的涂覆是一道非常重要的工艺工序，因为将光刻胶涂覆在半导体、导体和绝缘体等样品上，然后经过黄光工艺中的曝光、显影后留下的光刻胶对底层起保护作用，再采用相应的超净高纯试剂对没有留下光刻胶的地方进行蚀刻，从而可以完成将掩膜版mask图形转移到样品上的一个图形转移过程，这样就可以在样品上制作出非常精细的图案，是一道比较精细和精密的过程。所以，对光刻胶的涂覆要求则比较高，尤其是涂覆光刻胶膜层的品质和均匀性。

目前，业界半导体黄光工艺中用到的光刻胶涂胶工艺和设备主要有spin旋转涂布、辗涂、浸涂以及喷涂等几种方式。在电子工业的半导体制作过程中spin旋转涂布因为其光刻胶膜厚涂覆比较均匀而应用得最多，但spin涂胶机由于自身设备工艺的特点，在旋转台板高速旋转时，光刻胶均匀散布在整张基板上的同时，大部分的光刻胶则会被甩出，这部分被甩出的光刻胶与光刻胶清洁剂混合，导致光刻胶被污染，无法简单有效的回收利用，最终只能作为废液排出，造成极大的浪费。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服现有技术中的不足之处，提供一种将清洁排液系统和生产排液系统分开，以达到光刻胶不被污染，可以进行有效回收利用的光刻胶回收装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种光刻胶回收装置，包括：

旋转组件，所述旋转组件包括基座、旋转基台、旋转外壳及旋转驱动件，所述旋转驱动件设置于所述基座上，所述旋转外壳固定于所述旋转驱动件上，所述旋转外壳上开设有容置槽，所述旋转基台收容于所述容置槽内，并且所述旋转基台设置于所述旋转驱动件的输出端上；

升降隔离组件，所述升降隔离组件包括隔离挡板、顶升杆及升降驱动件，所述升降驱动件设置于所述基座上，所述顶升杆的一端与所述升降驱动件连接，所述顶升杆的另一端设置于所述隔离挡板上，并且所述隔离挡板收容于所述容置槽内，所述升降驱动件用于驱动所述顶升杆升降，进而使得所述隔离挡板做上下移动；及

回收组件，所述回收组件包括废液回收槽体及光刻胶回收槽体，所述废液回收槽体设置于所述隔离挡板内侧区域处，所述光刻胶回收槽体设置于所述隔离挡板的外侧区域及所述旋转外壳之间。

在其中一个实施例中，所述旋转驱动件包括旋转电机、旋转驱动杆及固定轴套，所述旋转电机设置于所述基座上，所述旋转驱动杆的一端与所述旋转电机的输出端连接，所述旋转驱动杆的另一端设置于所述旋转基台上，所述固定轴套套置于所述旋转驱动杆外，并且所述旋转外壳设置于所述固定轴套远离所述旋转电机的一端上。

在其中一个实施例中，所述隔离挡板为环形结构。

在其中一个实施例中，所述顶升杆设置有多个，所述升降驱动件设置有多个，每一所述升降驱动件分别对应与一个所述顶升杆连接，并且所述旋转外壳的底板上开设有多个通孔，每一所述顶升杆远离所述升降驱动件的一端分别对应穿设一所述通孔，所述顶升杆远离所述升降驱动件的一端设置于所述隔离挡板上。

在其中一个实施例中，所述升降驱动件为升降电机。

在其中一个实施例中，所述升降隔离组件还包括支撑座，所述支撑座设置于所述基座上，所述升降驱动件设置于所述支撑座上。

在其中一个实施例中，所述回收组件还包括下滑圆盘，所述下滑圆盘的圆心位置处套置于所述旋转驱动杆上，所述下滑圆盘的边缘位置处与所述废液回收槽体连接。

在其中一个实施例中，所述废液回收槽体的侧壁上具有倾斜斜面，所述光刻胶回收槽体的侧壁上具有下滑斜面。

在其中一个实施例中，所述回收组件还包括废液回收管及废液收集箱，所述废液收集箱放置于所述基座上，所述旋转外壳位于所述废液回收槽体的底部位置处开设有废液漏液孔，所述废液回收管的一端与所述废液漏液孔连通，所述废液回收管的另一端与所述废液收集箱的进液口连通。

在其中一个实施例中，所述回收组件还包括光刻胶回收管及光刻胶收集箱，所述光刻胶收集箱放置于所述基座上，所述旋转外壳位于所述光刻胶回收槽体的底部位置处开设有光刻胶漏液孔，所述光刻胶回收管的一端与所述光刻胶漏液孔连通，所述光刻胶回收管的另一端与所述光刻胶收集箱的进液口连通。

本实用新型相比于现有技术的优点及有益效果如下：

本实用新型为一种光刻胶回收装置，通过在废液回收槽体及光刻胶回收槽体之间设置隔离挡板，使得装置在处于不同状态的时候，可以升起或者下降隔离挡板，进而实现光刻胶和废液的分离回收，提高回收效率。本装置将清洁排液系统和生产排液系统分开，以达到光刻胶不被污染，可以有效地进行回收利用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型一实施方式的光刻胶回收装置的结构示意图；

图2为图1所示的光刻胶回收装置的内部结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1，一种光刻胶回收装置，包括：旋转组件100、升降隔离组件200及回收组件300，需要说明的是，所述旋转组件100用于转动旋转基台，所述升降隔离组件200用于隔离旋转过程中的废液和光刻胶，所述回收组件300用于回收废液或者光刻胶。

请参阅图1和图2，所述旋转组件100包括基座110、旋转基台120、旋转外壳130及旋转驱动件140，所述旋转驱动件设置于所述基座上，所述旋转外壳固定于所述旋转驱动件上，所述旋转外壳上开设有容置槽131，所述旋转基台收容于所述容置槽内，并且所述旋转基台设置于所述旋转驱动件的输出端上。需要说明的是，所述基座110用于固定整个装置；所述旋转基台120用于放置待涂胶的液晶面板，并且通过外部的放胶装置实现涂胶；所述旋转外壳130用于收容升降隔离组件200及回收组件300；所述旋转驱动件140用于驱动旋转基台转动。

请参阅图1和图2，所述升降隔离组件200包括隔离挡板210、顶升杆220及升降驱动件230，所述升降驱动件设置于所述基座上，所述顶升杆的一端与所述升降驱动件连接，所述顶升杆的另一端设置于所述隔离挡板上，并且所述隔离挡板收容于所述容置槽内，所述升降驱动件用于驱动所述顶升杆升降，进而使得所述隔离挡板做上下移动。需要说明的是，所述隔离挡板210用于隔离废液回收和光刻胶回收，所述顶升杆220用于顶起隔离挡板210；所述升降驱动件230用于驱动顶升杆的升降。在本实施例中，所述隔离挡板为环形结构。

请参阅图2，所述回收组件300包括废液回收槽体310及光刻胶回收槽体320，所述废液回收槽体设置于所述隔离挡板内侧区域处，所述光刻胶回收槽体设置于所述隔离挡板的外侧区域及所述旋转外壳之间。需要说明的是，所述废液回收槽体310用于对废液进行收集；所述光刻胶回收槽体320用于对光刻胶进行收集。

可以理解，在spin旋涂设备中，在光刻胶均匀散布整张基板的同时，大部分的光刻胶则会被甩出，即spin旋涂设备旋转基台高速旋转时，旋转基台上的光刻胶或清洁剂在高速旋转的离心力被甩出到旋转外壳的侧面档板后流入到排出槽，这部分被甩出的光刻胶与光刻胶清洁剂混合，导致光刻胶被污染，无法进行有效的回收利用，最终只能作为废液排出，造成极大的浪费，而本申请中通过对其对spin涂胶机进行改造，将清洁排液系统和生产排液系统分开，以达到光刻胶不被污染的目的，以实行光刻胶简单有效回收利用的目的。

具体地，本装置在进行涂胶的时候，隔离挡板210处于降下的状态，即隔离挡板没有将废液回收槽体和光刻胶回收槽体隔开，而且此时旋转基台会进行高速转动，使得旋转基台上的光刻胶直接被甩到旋转外壳的侧壁上，然后再沿着旋转外壳的侧壁流入到光刻胶回收槽体中，实现了对光刻胶的收集回收。而当本装置处于清洗状态的时候，则升降驱动件驱动隔离挡板升起，将废液回收槽体和光刻胶回收槽体隔开，而且此时旋转基台进行高速旋转后，将旋转基台上的清洁废液甩到隔离挡板上，并且沿着隔离挡板流入到废液回收槽体中，实现对废液的收集回收操作。从而通过在废液回收槽体及光刻胶回收槽体之间设置隔离挡板，使得装置在处于不同状态的时候，可以升起或者下降隔离挡板，进而实现光刻胶和废液的分离回收，提高回收效率。本装置将清洁排液系统和生产排液系统分开，以达到光刻胶不被污染，可以有效地进行回收利用。

请参阅图2，所述旋转驱动件140包括旋转电机、旋转驱动杆及固定轴套，所述旋转电机设置于所述基座上，所述旋转驱动杆的一端与所述旋转电机的输出端连接，所述旋转驱动杆的另一端设置于所述旋转基台上，所述固定轴套套置于所述旋转驱动杆外，并且所述旋转外壳设置于所述固定轴套远离所述旋转电机的一端上。如此，通过设置旋转电机、旋转驱动杆及固定轴套，可以使得旋转更稳定，装置的结构稳定性更好。

需要说明的是，所述顶升杆设置有多个，所述升降驱动件设置有多个，每一所述升降驱动件分别对应与一个所述顶升杆连接，并且所述旋转外壳的底板上开设有多个通孔，每一所述顶升杆远离所述升降驱动件的一端分别对应穿设一所述通孔，所述顶升杆远离所述升降驱动件的一端设置于所述隔离挡板上。如此，通过设置多个顶升杆和升级驱动件，可以提高对隔离挡板的升降稳定性。在本实施例中，所述升降驱动件为升降电机。

请参阅图1，所述升降隔离组件还包括支撑座240，所述支撑座设置于所述基座上，所述升降驱动件设置于所述支撑座上。如此，通过设置支撑座，可以起到对整个升降隔离组件的支持的作用。

请参阅图2，所述回收组件300还包括下滑圆盘330，所述下滑圆盘的圆心位置处套置于所述旋转驱动杆上，所述下滑圆盘的边缘位置处与所述废液回收槽体连接。如此，可以将停留在旋转外壳上的废液沿着倾斜的下滑圆盘流入到废液回收槽体中，优选的，所述下滑圆盘为圆台或者圆锥结构。

需要说明的是，所述废液回收槽体的侧壁上具有倾斜斜面311，所述光刻胶回收槽体的侧壁上具有下滑斜面321。如此，通过设置倾斜的斜面，可以使得废液或者光刻胶回流更方便，更有效。

请参阅图1，所述回收组件300还包括废液回收管340及废液收集箱350，所述废液收集箱放置于所述基座上，所述旋转外壳位于所述废液回收槽体的底部位置处开设有废液漏液孔，所述废液回收管的一端与所述废液漏液孔连通，所述废液回收管的另一端与所述废液收集箱的进液口连通。如此，通过设置废液回收管340及废液收集箱350，可以使得废液回收槽体中的废液通过废液回收管流入到废液收集箱中收集起来。

请参阅图1，所述回收组件300还包括光刻胶回收管360及光刻胶收集箱370，所述光刻胶收集箱放置于所述基座上，所述旋转外壳位于所述光刻胶回收槽体的底部位置处开设有光刻胶漏液孔，所述光刻胶回收管的一端与所述光刻胶漏液孔连通，所述光刻胶回收管的另一端与所述光刻胶收集箱的进液口连通。如此，通过设置光刻胶回收管360及光刻胶收集箱370，可以使得光刻胶回收槽体中的光刻胶通过光刻胶回收管流入到光刻胶收集箱中收集起来。

本实用新型相比于现有技术的优点及有益效果如下：

本实用新型为一种光刻胶回收装置，通过在废液回收槽体及光刻胶回收槽体之间设置隔离挡板，使得装置在处于不同状态的时候，可以升起或者下降隔离挡板，进而实现光刻胶和废液的分离回收，提高回收效率。本装置将清洁排液系统和生产排液系统分开，以达到光刻胶不被污染，可以有效地进行回收利用。

以上所述实施方式仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。