一种实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置。


背景技术：

2.传统的微电子、半导体实验室特气分流盘vmp几个支路为主管连接的各支路间为焊接式，生产过程中，由于客户需求不同，盘面的支路数量不同，造成生产的效率较低，该装置存在以下不足：盘面主管支路固定，现场有所支路数量有变更时，支路不能快速变动；难于模块化生产，影响生产效率。
3.亟需一种可模块化生产、有助于提高生产效率；对于支路的数量变动能灵活性应对的实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置来解决上述技术问题。


技术实现要素：

4.为了解决上述问题，本实用新型提供了一种实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置，本实用新型的实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置可模块化生产、有助于提高生产效率，对于支路的数量变动能灵活性应对。
5.本实用新型是通过如下技术方案解决上述技术问题的：
6.本实用新型提供了一种实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置，包括主管盘面、至少一个非末端支路盘面和末端支路盘面；所述主管盘面包括进气口、进气管路、波纹管阀和主管压力表，所述进气口连接所述进气管路，所述波纹管阀和主管压力表设置于所述进气管路上，所述主管压力表位于所述波纹管阀的后方；所述非末端支路盘面包括非末端出气口、非末端出气管路、中端第一隔膜阀、中端调压阀、中端压力表、中端过滤器和中端第二隔膜阀，所述中端第一隔膜阀、中端调压阀、中端压力表、中端过滤器和中端第二隔膜阀依次设置于所述非末端出气管路上，所述非末端出气管路和所述非末端出气口相连；所述末端支路盘面包括末端出气口、末端出气管路、末端第一隔膜阀、末端调压阀、末端压力表、末端过滤器和末端第二隔膜阀，所述末端第一隔膜阀、末端调压阀、末端压力表、末端过滤器和末端第二隔膜阀依次设置于所述末端出气管路上，所述末端出气管路和所述末端出气口相连；所述进气管路、非末端出气管路和末端出气管路之间通过vcr接头相连。
7.本实用新型中，所述主管盘面用于控制气体的进入，所述主管盘面中的部件为本领域常规；
8.较佳地，所述主管压力表为机械式压力表。
9.本实用新型中，所述非末端支路盘面可以根据实际的生产需求通过vcr接头实现数量的变化；
10.较佳地，所述中端第一隔膜阀和所述中端第二隔膜阀为手动隔膜阀；
11.较佳地，所述中端压力表为机械式压力表；
12.较佳地，所述非末端支路盘面的个数为3～5个。
13.本实用新型中，所述末端支路盘面用于控制末端气体的输出；
14.较佳地，所述末端第一隔膜阀和所述末端第二隔膜阀为手动隔膜阀；
15.较佳地，所述末端压力表为机械式压力表。
16.本实用新型中，所述vcr接头为本领域常规的vcr接头，用于实现各盘面间的灵活连接。
17.本实用新型的实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置的使用流程为：气体自主管盘面进入装置内，根据实际需求，选择需要活接的非末端支路盘面个数，气体分别通过非末端支路盘面和末端支路盘面流出，即可。
18.本实用新型的积极进步效果：本实用新型的实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置可模块化生产、有助于提高生产效率，对于支路的数量变动能灵活性应对。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本实用新型实施例的实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置的结构示意图。
21.附图标记说明：
22.1、主管盘面；
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2、非末端支路盘面；
23.3、末端支路盘面；
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11、进气口；
24.12、波纹管阀；
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13、主管压力表；
25.14、进气管路；
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21、非末端出气口；
26.22、中端第二隔膜阀；
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23、中端过滤器；
27.24、中端压力表；
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25、中端调压阀；
28.26、中端第一隔膜阀；
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27、非末端出气管路；
29.31、末端出气口；
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32、末端第二隔膜阀；
30.33、末端过滤器；
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34、末端压力表；
31.35、末端调压阀；
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36、末端第一隔膜阀；
32.37、末端出气管路；
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4、vcr接头。
具体实施方式
33.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
34.如图1所示，本实施例提供了一种实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置，包括主管盘面1、三个非末端支路盘面2和末端支路盘面3；主管盘面1包括进气口11、进气管路14、波纹管阀12和主管压力表13，进气口11连接进气管路14，波纹管阀12和主管压力表13设置于进气管路14上，主管压力表13位于波纹管阀12的后方；非末端支路盘面2包括非末端出
气口21、非末端出气管路27、中端第一隔膜阀26、中端调压阀25、中端压力表24、中端过滤器23和中端第二隔膜阀22，中端第一隔膜阀26、中端调压阀25、中端压力表24、中端过滤器23和中端第二隔膜阀22依次设置于非末端出气管路27上，非末端出气管路27和非末端出气口21相连；末端支路盘面3包括末端出气口31、末端出气管路37、末端第一隔膜阀36、末端调压阀35、末端压力表34、末端过滤器33和末端第二隔膜阀32，末端第一隔膜阀36、末端调压阀35、末端压力表34、末端过滤器33和末端第二隔膜阀32依次设置于末端出气管路37上，末端出气管路37和末端出气口31相连；进气管路14、非末端出气管路27和末端出气管路37之间通过vcr接头4相连。
35.本实施例中，主管盘面1用于控制气体的进入；主管压力表13为机械式压力表。
36.本实施例中，非末端支路盘面2可以根据实际的生产需求通过vcr接头实现数量的变化；中端第一隔膜阀26和中端第二隔膜阀22为手动隔膜阀；中端压力表24为机械式压力表。
37.本实施例中，末端支路盘面3用于控制末端气体的输出；末端第一隔膜阀36和末端第二隔膜阀32为手动隔膜阀；末端压力表34为机械式压力表。
38.本实施例中，vcr接头4用于实现各盘面间的灵活连接。
39.本实施例的实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置的使用流程为：气体自主管盘面进入装置内，根据实际需求，选择需要活接的非末端支路盘面个数，气体分别通过非末端支路盘面和末端支路盘面流出，即可。
40.本实施例的实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置可模块化生产、有助于提高生产效率，对于支路的数量变动能灵活性应对。
41.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。