专利名称：用于称出存储容器中剩余物质量的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种根据权利要求1前叙部分所述的用于称出存储容器中剩余物质量的装置。
背景技术：
这种装置例如用于通过化学气相沉积(CVD)生产芯片和类似电子设备。为此目的，该存储容器包含提供给CVD反应器的液体物质，并作为消耗装置。由于这些过程中必须使用超高纯度的物质，因此使用了优质钢的刚性连接管线。液体物质，一般为有机金属和半金属复合物，通常对空气和湿度非常敏感，经常是易爆的。因此该存储容器必须保持在例如充满惰性气体的箱室内。
根据权利要求1前叙部分的装置从DE6960362972中可以获知。此处称重单元由天平形成。为了确定在存储容器内的剩余量，该存储容器放在天平上位于已知装置的箱室底面上。该存储容器与阀板和刚性连接管线一起形成固定到箱室上的刚性系统。由于温度波动和机构影响，箱室及箱室底面的变形不可避免。由于具有使存储容器压靠箱室底面的压力，天平不再对应于存储容器的重量，使得用于确定存储容器内剩余物质量的现有装置的精度不高。
发明内容
本发明的目的是提供一种简单构造的装置，利用该装置可以准确地确定这种存储容器内的剩余物质量。
这通过根据本发明以权利要求1为特征的装置而获得。本发明装置的有利实施例在从属权利要求中陈述。
根据本发明，提供有带有平台的台架或保持装置，在所述平台上放下存储容器。为了称重存储容器，在平台上安置至少一个称重单元。同时台架固定到阀板上，所述阀板一方面经由刚性连接管线连接到存储容器上，另一方面，经由刚性连接管线连接到消耗装置上。台架例如仅仅放于箱室的底面上，优选在至少三个点处。
如果包括存储容器、带有平台的台架、阀板及刚性连接管线的刚性系统，例如由于箱室底面的变形而相对于箱室向上或向下移动，则称重单元以相同的方式在平台上向上或向下移动，也即在称重单元上的存储容器压力与箱室底面的运动相分离。当台架悬吊在箱室内时也是同样。从而称重单元所显示的压力不再受箱室变形和类似运动的影响，使得存储容器内物质的剩余量能够精确确定。
正如所提到的，台架能够在箱室底面上得到三点支承。可替换地，也能够在箱室底面上仅仅在一个或两个点处支承台架，然后台架例如通过对应的导向体可移动地固定到箱室壁上，以便不会落下，也即被保持在竖直位置。
台架优选由竖直杆，特别是诸如箱型型材之类的型材形成，以便具有所需的刚性。
由于箱室的抗变形性在其角部区域更大，如果根据本发明的台架是悬吊在箱室壁上，则台架优选固定在箱室的上角部区域。
为了吸收振动，台架在箱室底面上得到支承的地点处具有例如由橡胶弹性材料制成的缓冲器。如果台架被悬吊，这种缓冲器可以提供在朝向箱室壁的一侧，例如处在台架的下部区域。
优选在平台上仅仅提供一个称重单元，从而简化信号处理。
台架、平台、阀板和连接管线优选由具有相同热膨胀系数的材料制成，使得温度波动时不会发生歪曲称重结果的变形。所述材料优选为优质钢。
下面将参照附图以实例形式更详细地解释本发明，附图为图1以透视图形式示意性示出了根据本发明装置的第一实施例的箱室，省略了一个箱室壁和位于该箱室上侧的板；图2示出了根据图1的台架和阀板；以及图3以透视图形式示意性示出了根据本发明装置的另一实施例的箱室，省略了一个箱室壁和该箱室的上板。
具体实施例方式
根据图1，用于储存液体物质的存储容器3位于具有门2的箱室1内。
该存储容器3被放在平台4上的固定装置或台架5上，该平台4在中部设置有称重单元6(图2)。台架5包括竖直杆7，在上端具有横档8，用于在上箱室角11的区域内将台架5固定到箱室壁10上。从而台架5悬吊在箱室壁10上，即杆7的下端位于箱室底面12上方一定距离处。
该存储容器3经由刚性连接管线13连接到阀板14上，该阀板14在存储容器3上方固定于台架5上。
根据图2，杆7由箱式型材形成。该平台4通过固定器15固定于杆7上。该平台4在图2中表示为圆盘。然而，平台4也可以明显地为不同的形式，以接收该存储容器3。
台架5，平台4，阀板14和连接管线13由优质钢构成。
与例如CVD反应器这样的消耗装置(未示出)相连接的连接管线经由连接件16连接到阀板14。
一方面，阀板14固定于杆7上，另一方面，固定于横档8上，该横档8形成为围绕杆7的镫形件，其具有向内折叠的端部17，以便例如通过螺钉被固定于箱室壁上。在18处，在杆7上提供了缓冲器，用于在箱室壁10上支承台架5的下端。
根据图3的实施例区别于根据图1和2的实施例，本质上仅仅在于台架7只是支承在箱室底面12上。为此，台架7在下端具有两个臂20、21，以形成三点支承。
在此处，臂20、21也可以省略，使得杆7仅通过其下端被支承在箱室底面12上。然而，在箱室壁10上就需要有台架5的导向体22用于在竖直方向保持杆7，所述导向体在图3中在杆7的上部区域示出，杆7中的槽23具有固定在箱室壁10上并穿过槽突出的螺栓24，所述螺栓提供有固定件25，该固定件25在杆7背离箱室壁10的一侧啮合于槽23上。
权利要求
1.一种用于称出存储容器(3)中剩余物质量的装置，所述存储容器(3)放置在箱室(1)内并通过刚性连接管线(13)连接到固定在箱室(1)内的阀板(14)上，并且所述刚性连接管线从所述阀板(14)连接到一消耗装置，所述装置具有至少一个在其上放下所述存储容器(3)的称重单元(6)，其特征在于，所述装置具有一个固定有平台(4)的台架(5)，能够放下所述存储容器(3)的所述称重传感器(6)位于所述平台(4)上，所述台架(5)放于箱室底面(12)上和/或悬吊在箱室壁(10)上，所述阀板(14)固定在所述台架(5)上。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述台架(5)以至少三点支承在箱室(1)的底面(12)上。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述台架(5)以至少一点悬吊在所述箱室壁(10)上，处在上箱室角(11)区域。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述台架(5)以至少一点支承在所述箱室底面(12)上，并且通过其上端区域可移动地固定到所述箱室壁(10)上。
5.如上述任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述台架(5)由杆(7)形成。
6.如权利要求2和5所述的装置，其特征在于，所述杆(7)具有两臂(20，21)，用于以至少三点将其支承在箱室底面(12)上。
7.如权利要求3和5所述的装置，其特征在于，所述杆(7)在其上端区域具有横挡(8)，用于将所述杆(7)固定到所述箱室壁(10)上。
8.如上述任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述台架(5)、所述平台(4)、所述阀板(14)和所述连接管线(13)由具有相同热膨胀系数的材料制成。
全文摘要
本发明公开了一种用于称出存储容器(3)中剩余物质量的装置，所述存储容器(3)放置在箱室(1)内并通过刚性连接管线(13)连接到固定在箱室(1)内的阀板(14)上，并且所述刚性连接管线从所述阀板(14)连接到一消耗装置，所述装置具有至少一个在其上放下所述存储容器(3)的称重单元(6)，其特征在于，提供一个固定有平台(4)的台架(5)，能够放下所述存储容器(3)的所述称重传感器(6)位于所述平台(4)上，所述台架(5)放于箱室底面(12)上和/或悬吊在箱室壁(10)上，所述阀板(14)固定在所述台架(5)上。
文档编号G01G17/04GK1590585SQ200410057778
公开日2005年3月9日 申请日期2004年8月19日 优先权日2003年8月20日
发明者克里斯托夫·肖尔茨, 克里斯托夫·弗兰克, 埃卡德·科帕察季 申请人:Cs清洁系统公司