专利名称：铬版表面膜层微小缺陷针孔的检测方法
技术领域：
本发明涉及一种光掩模基础材料一络版，尤其涉及对铬版表面膜层微小缺 陷针孔的检测方法。
背景技术：
铬版是用于制造光掩模的基础材料，它是用玻璃或人造石英玻璃基板经过
研磨，抛光，清洗后用溅射或蒸发方法镀2—3层铬的化合物制造而成的。如果 膜层没有镀好就会产生针孔影响光掩模的质量。
近年随着薄膜微电子技术的发展，特别是液晶显示器件(LCD)，薄膜晶体 管(TFT)，等离子显示器件(PDP)的发展使大尺寸的光掩膜(200mraX200mm以 上)的应用越来越大。因此对铬版的尺寸和品质要求越来越高，随着铬版的尺 寸扩大，对铬版主要微小缺陷针孔的检测越来越困难。以往的针孔检测方法， 检验人员用手持显微镜检测。如果要检测一块400mmX450mm的铬版的5um以上 的针孔要用50倍左右的显微镜每次检测大约40咖2的面积，检测一块铬版大约 需要8小时，而且带来严重污染，存在检测人员误差等。
发明内容
本发明的目的在于提供一种检测快速、准确并能适用于大面积铬版表面膜 层微小缺陷针孔的检测方法。
本发明提供的这种铬版表面膜层微小缺陷针孔的检测方法，包括如下步骤
(1) 建立标准样(2) 确定待测铬版的有效区；
(3) 用智能工业摄像机以微米级精度准确移动并逐一连续不断地拍摄到所 述有效区的每个部分；
(4) 用智能工业摄像机将步骤(3)获得的图片分成以每8平方毫米不少于 200万像素，并将每份像素分成256个亮度等级，得到高精度拍摄图片；
(5) 智能工业摄像机将步骤(4)获得的每份高精度拍摄图片与标准样图进 行比较；
(6) 对在测铬版的缺陷位置、个数、大小予以显示。本发明这种检测方法速度相当快，对400mmX 450mm的络版进行检测5um以 上针孔只需15分钟，相对人工检测速度提高了 32倍。而且用本发明方法检测 没有人眼视觉误差，非常准确并且对铬版没有污染因此本发明尤其适用于大面 积铬版表面膜层的检测。
图1是实施本发明方法的结构示意图。 图2是用本发明方法拍摄的标准样图。 图3是用本发明方法实时检测铬版拍摄的有针孔缺陷的图。
具体实施例方式
从图1可以看出用本发明方法检测铬版应具备智能工业摄像机和检测台板， 我们可以用本发明方法选择没有缺陷的图片建立标准样图(见图2)，并将它存 于智能工业摄像机的主计算机内，然后将待检测的铬版放在检测台板上，按照 以下步骤对待测络版进行检测
(1) 操作人员向智能工业摄像机的主计算机输入待测铬版的长度和宽度， 由主计算机计算出待测铬版的有效区，并将该有效区分成n份，每份大小2X4 毫米，然后将此信息发送给智能工业摄像机的机器人(robot)的计算机；
(2) 由机器人带动智能工业摄像机的CCD相机及镜头以微米级精度准确移 动，即将待测铬版分成数千到数十万份，连续不断拍摄到铬版的各个部分，机 器人的计算机不断将CCD相机所在的位置报告给主计算机，同时CCD相机的微 处理器将相应位置的拍摄信息发送给主计算机，为了弥补robot的精度进行了部 分边缘重叠处理。
(3) 用智能工业摄像机的CCD相机和镜头将步骤(2)获得的图片分成每2 X4毫米面积内200万像素，并将每份像素分成256个亮度等级，得到高精度拍 摄图片(见图3)，将该拍摄图片信息传输到智能工业摄像机的主计算机；
(4) 智能工业摄像机的主计算机将步骤(3)获得的高精度拍摄图片与标准 样图进行比较，并将每张图的位置及结果自动记录，同时对有缺陷针孔的图片 及针孔的面积、大小、位置信息进行保存；
(5) 主计算机将在测铬版缺陷位置、个数、每个缺陷的大小以面积为单位 显示，如果需要精确知道针孔的形状，可以打开主计算机保存的缺陷图片并放 大0-100倍进行观察。
权利要求
1、一种铬版表面膜层微小缺陷针孔的检测方法，包括如下步骤(1)建立标准样图；(2)确定待测铬版的有效区；(3)用智能工业摄像机以微米级精度准确移动并逐一连续不断地拍摄到所述有效区的每个部分；(4)用智能工业摄像机将步骤(3)获得的图片分成以每8平方毫米不少于200万像素，并将每份像素分成256个亮度等级，得到高精度拍摄图片；(5)智能工业摄像机将步骤(4)获得的每份高精度拍摄图片与标准样图进行比较；(6)对在测铬版的缺陷位置、个数、大小予以显示。
2、 根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于所述步骤(2)中还应将 有效区分成n份，每份大小2X4毫米。
全文摘要
本发明公开了一种铬版表面膜层微小缺陷针孔的检测方法，该方法包括如下步骤建立标准样图；确定待测铬版的有效区；用智能工业摄像机以微米级精度准确移动并逐一连续不断地拍摄到所述有效区的每个部分；用智能工业摄像机将图片分成以每8平方毫米不少于200万像素，并将每份像素分成256个亮度等级，得到高精度拍摄图片；将所获得的高精度拍摄图片与标准样图进行比较；对在测铬版的缺陷位置、个数、大小予以显示。本发明这种检测方法速度相当快，并且没有人眼视觉误差，非常准确并且对铬版没有污染，适用于大面积铬版表面膜层微小缺陷的检测。
文档编号G01N21/88GK101451960SQ20081010756
公开日2009年6月10日 申请日期2008年12月23日 优先权日2008年12月23日
发明者峰 丁, 陈社城 申请人:湖南普照信息材料有限公司