专利名称：用于nvm测试中不同品种参数之间坐标的对应方法
技术领域：
本发明属于半导体集成电路测试分析设计领域，尤其涉及一种用于NVM(非易失 性存储器)测试中不同品种参数之间坐标的对应方法。
背景技术：
在wafer (晶片)测试中，在不同prober (探针)之间通常是不同的品种参数，或者 应用于不同测试功能的品种参数时探针是不同的，因此测试坐标是不一致的。当在不同的 测试仪之间做相关性的时候，或者对wafer做工程分析的时候，都需要先确定不同品种参 数之间die (die是晶圆或硅片在封装前的单个单元的裸片)的坐标的对应关系。通常是通 过已有的测试结果图，与在新的prober上测试的结果对照，来找两个不同品种参数之间的 对应关系。但是这里存在的问题有新的测试环境下(如不同的prober，不同的测试仪)， 测试结果本身就可能不一致，所以先要完成不同品种参数之间的坐标对应关系是很难的。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的 对应方法，该方法可以确保在不同的品种参数下坐标的一致性，实现不同测试环境下测试 结果的准确和高效。为解决上述技术问题，本发明提供一种用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的 对应方法，包括如下步骤(1)在某一品种参数下测试NVM，在某一固定的存储区域写入当前die的坐标(X， Y)；(2)在新的品种参数下测试步骤(1)中已写入坐标的区域时，先读出步骤⑴中已 写入的die的坐标(X，Y)，然后再记录下新的品种参数下的坐标(X’，Y’ )；(3)建立两个品种参数之间坐标的对应关系，得到以下的两个公式X，= aX+bY+M ；Y，= cX+dY+N ；其中a，b，c, d，Μ, N是公式中的未知数，通过不同的die来计算出未知数a，b，c, d，Μ, N,并将其值代入到上述公式中，即得到两个品种参数下的坐标对应关系。步骤(1)中，所述的当前die的坐标(X，Y)是按二进制编码的。步骤(3)中，所述通过不同的die来计算出未知数a，b，c，d，M，N具体为采用三 个不同的die的坐标值(X’，Y’ )来计算未知数3，13，(3，(1^，仏和现有技术相比，本发明具有以下有益效果本发明通过建立两个品种参数之间 坐标的对应关系，可以很方便地对不同品种参数之间的坐标进行转换，便可以确保在不同 的品种参数下坐标的一致性，这样可以方便做不同测试仪之间的测试程序的相关性，测试 数据相关性，或者其它的工程分析。该方法可以实现不同测试环境下测试结果的准确和高 效。
图1是本发明方法的流程示意图；图2是本发明一种品种参数下的测试图；图3是本发明新的品种参数下测试了坐标区域的值的示意图；图4是两种品种参数下的测试图以及相应的坐标示意图，其中，图4(A)是新的品 种参数坐标系下的测试坐标以及测试结果图，图4(B)是原始的品种参数坐标系下的测试 坐标以及测试结果图。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明。本发明提出一种用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的对应方法，它的特点是 准确，并且效率高。其主要包括如下步骤对于NVM，在某一品种参数下测试结束后，在某一 固定的存储区域写入当前die的坐标(X，Y)，这样在新的品种参数下测试已写入坐标的区 域时，可以先读出该写入的指定区域的die的坐标(X，Y)，然后再记录下新的品种参数下的 坐标(X’，Y’)，这样即可以得到以下的两个公式X，= aX+bY+M ；Y' = cX+dY+N ；其中a，b，c，d，M，N是公式中的未知数，通过三个die来解出公式。由此确定了两 个品种参数之间的坐标对应关系。如图1所示，对本发明方法作进一步详细的说明如下(1)对于已写入当前die坐标(X，Y)的NVM，在其他的品种参数下测试时，可以先 读出该写入的die的X坐标和Y坐标，其中X坐标和Y坐标均按二进制编码。X，Y坐标值 本身代表了两个十进制的数，新品种参数下读到的坐标X’，Y’也是十进制的坐标值，但是写 入或读出存储区内的值，本身就是二进制的代码，所以只需将X，Y，X’，Y’的二进制代码都 转换为十进制进行计算即可。(2)代入坐标，通过以下公式进行转换X，= aX+bY+M ；Y，= cX+dY+N ；分别取不同的die (三个)来计算出新的品种参数下的坐标；(3)将计算出的未知数a，b，c, d，Μ, N代入到上述公式中，即得到两个品种参数下 的坐标对应关系。下面举一实施例对本发明作进一步详细的说明如图2所示，一种品种参数下测试的晶片图，并且包含了测试结果信息。如图3所 示，在新的测试品种参数下测试已写入坐标(见图3中的X = 67，Y = 61对应X，Y)的区 域，读取三个die的坐标值，即是公式中的X’和Y’(如图3中的X 81, Y :58，对应X，，Y，)， 分别记录三组坐标值，例如X’，Y，X，Y(81，58)(67，59)(82，59)(68，60)
(81，60)(69，61)再通过以下公式X，= aX+bY+M ；Y，= cX+dY+N ；代入上述三个die的数据(X’和Y’ )即可换算出公式中的未知数。得到a等于 0，b等于-1，c等于1，d等于0，M等于142，N等于-9。可以得到以下公式X，= 142-YY，= X-9然后，很容易得到两种品种参数下的测试图以及相应的坐标，如图4所示。根据公 式将原始品种参数下的坐标系转换为新品种参数下的坐标系，更容易对不同测试环境下的 的测试结果做对照分析。得到对应的坐标转换公式，便可以确保在不同的品种参数下坐标的一致性，这样 可以方便做不同测试仪之间的测试程序的相关性，测试数据相关性，或者其它的工程分析。
权利要求
1.一种用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的对应方法，其特征在于，包括如下步骤(1)在某一品种参数下测试NVM，在某一固定的存储区域写入当前die的坐标(X，Y)；(2)在新的品种参数下测试步骤(1)中已写入坐标的区域时，先读出步骤(1)中已写入 的die的坐标(X，Y)，然后再记录下新的品种参数下的坐标(X’，Y’ )；(3)建立两个品种参数之间坐标的对应关系，得到以下的两个公式 X' = aX+bY+M ；Y，= cX+dY+N ；其中a，b，c, d，Μ, N是公式中的未知数，通过不同的die来计算出未知数a，b，c, d，Μ, N，并将其值代入到上述公式中，即得到两个品种参数下的坐标对应关系。
2.如权利要求1所述的用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的对应方法，其特征在 于，步骤(1)中，所述的当前die的坐标(X，Y)是按二进制编码的。
3.如权利要求1所述的用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的对应方法，其特征在 于，步骤(3)中，所述通过不同的die来计算出未知数a，b，c，d，M，N具体为采用三个不同 的die的坐标值(X，，Y，)来计算未知数a, b，c, d，Μ, N。
全文摘要
本发明公开了一种用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的对应方法，包括如下步骤(1)在某一品种参数下测试NVM，在一固定的存储区域写入当前die的坐标(X，Y)；(2)在新的品种参数下测试已写入坐标的区域，先读出已写入的die的坐标(X，Y)，再记录新的品种参数下的坐标(X’，Y’)；(3)建立两个品种参数之间坐标的对应关系，得到以下两个公式X’＝aX+bY+M；Y’＝cX+dY+N；其中a，b，c，d，M，N是公式中的未知数，通过不同的die计算出未知数并将其代入上述公式中，即得两个品种参数下的坐标对应关系。该方法可确保在不同品种参数下坐标的一致，实现不同测试环境下测试结果的准确和高效。
文档编号G01R31/28GK102116834SQ201010027218
公开日2011年7月6日 申请日期2010年1月5日 优先权日2010年1月5日
发明者乔静, 曾志敏, 桑浚之 申请人:上海华虹Nec电子有限公司