专利名称：一种籽晶检距测试仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种测量装置，具体为一种检测水晶结构的测试仪。
背景技术：
目前，随着电子科技的快速发展，水晶广泛应用于电子行业，水晶结构特性直接影 响到加工后电子产品的性能，水晶结构的测试在产业生产过程中成为必不可少的一个环 节，测量设备均利用了水晶对X射线产生相干衍射的原理，来测量水晶材料的几何表面与 内部晶面的角度，现有的国产手摇式设备及日本同类产品组成一般包括X射线管、竖向测 试台、计数器、单片机、数显器、控制器等，通过微旋转竖向测试台，使测试水晶对X射线产 生相干衍射，衍射光线进入计数器，通过光电转换，光信号被转换成电信号由微安表显示出 衍射光线的强弱，根据竖向测试台的旋转偏角量来测算角度，操作过程过于繁琐，且被测水 晶方向难易控制，容易产生误差，影响测试效率，且这类装置只能测算角度，被测水晶进一 步加工需要的打磨量需要其他装置进行测算。
发明内容本实用新型的目的就是要提供一种操作简便快捷，测试精度高的采用定角定位方 式的籽晶检距测试仪，且可精确将水晶籽晶规中，一次性完成磨削量。一种籽晶检距测试仪，包括固定在机台上的X射线管箱体、测试台、探头、控制器、 指示仪表及机台内的高压发生器、稳压器、稳压电源，测量光路依次经过X射线管、水晶、探 头，探头内设置有计数器，计数器与控制器内部电路连接，本测试仪还包括有电子显微镜及 与其相连接的显示器，测试台水平放置，被测水晶放置在水平夹具内。所述电子显微镜镜头横向对准测试水晶的籽晶面的侧面。所述电子显微镜镜头上设置有规中线及刻度。所述的夹具底部设置校位螺栓，边侧设置有夹紧螺栓。所述的水晶测试台可上下微调，测试台中筒与滑动圈螺纹联接，滑动圈与台柱滑 动连接，通过旋转滑动圈调整测试台高度。测试台的台面可水平旋转，便于操作员调校被测水晶底部的校位螺栓。所述的X射线发射管口设置有圆筒，用以集束，防止X射线散射。籽晶检距测试仪还包括工作台罩，工作台罩设置在工作台面上，将整个装置包围 起来，仅留一个方向开口供操作人员操作，工作台罩内设置有照灯，用以加强显微镜视野， 便于操作人员观察。所述的电子显微镜镜头横向对准测试水晶的籽晶面的侧面。本测试仪的工作过程为将被测水晶水平放置在标准夹具上，打开电子显微镜，使 水晶籽晶初步与显示器中的规中线重合，打开高压开关，χ射线管产生初级X射线，照射水 晶晶体，通过微调夹具底部的调节螺栓，进一步调整籽晶面的水平，初级X射线在符合布拉 格方程式η λ = 2dsin θ情况下产生相干衍射，则测量光路通路，探头接收到衍射光线后 进行光电转换，电信号经过放大器放大，最终由微安表显示出X射线的强弱，完成调整测试过程，水平放置于标准夹具上的被测水晶同时完成籽晶面的规中过程，通过显示器可直接 得到需要磨削的数值。本实用新型的有益效果为1.籽晶检距测试仪采用定角定位方式测量，角度及衍射发生位置均已经定位，操 作者无需考虑所测试的角度，以及角度的计算，简化操作步骤，节省人力物力，提高测量精 度；2.本测试仪配备电子显微镜，能够清楚的观察到光学水晶块、水晶的籽晶与水晶 块表面的位置和距离，便于水晶籽晶定位，且可精确的计算出下一步的加工量，籽晶面的规 中，为水晶后续加工解决了难题，并一次完成磨削量，加工后的产品一次性合格率可达98% 以上，显著的提高了生产效率；3.配备水平夹具，相比于竖向测试台夹具结构更加简单，且调整方便快捷，固定被 测水晶后，可直接取下，应用于下一步打磨操作，无需更换其他固定器件，简化操作步骤，节 省人力物力。
图1为本发明实施例结构示意图；图2为图1中夹具结构示意图。
具体实施方式
如附图中所示的一种籽晶检距测试仪，包括固定在机台上的X射线管箱体1、测试 台2、探头3、控制器、指示仪表及机台内的高压发生器、稳压器、稳压电源，测量光路依次经 过X射线管、水晶、探头3，探头内设置有计数器，计数器与控制器内部电路连接，本测试仪 还包括有电子显微镜4及与其相连接的显示器5，测试台2水平放置，被测水晶放置在水平 夹具6内。所述电子显微镜4镜头横向对准测试水晶的籽晶面的侧面。所述电子显微镜4镜头上设置有规中线及刻度。所述的夹具6底部设置校位螺栓7，用以调整被测水晶的水平方位，边侧设置有夹 紧螺栓8，用以固定调整后的晶体。所述的水晶测试台2可上下微调，测试台2中筒与滑动圈螺纹联接，滑动圈与台柱 滑动连接，通过旋转滑动圈调整测试台高度。测试台2的台面可水平旋转，便于操作员调校被测水晶底部的校位螺栓7。所述的X射线发射管口设置有圆筒9，用以集束，防止X射线散射。籽晶检距测试仪还包括工作台罩12，工作台罩12设置在工作台面上，将整个装置 包围起来，仅留一个方向开口供操作人员操作，探头3及电子显微镜4被罩在其中，仅留视 野口，工作台罩12上设置有照灯10，用以加强显微镜视野，便于操作人员观察。本装置将布拉格公式测量与电子显微镜观察结合到一起，籽晶面的规中，为水晶 后续加工解决了难题，并一次完成磨削量，加工后的产品一次性合格率可达98%以上，且节 省人力物力，显著的提高了生产效率。
权利要求一种籽晶检距测试仪，包括固定在机台上的X射线管箱体(1)、测试台(2)、探头(3)、控制器、指示仪表及机台内的高压发生器、稳压器、稳压电源，测量光路依次经过X射线管、水晶、探头(3)，探头内设置有计数器，其特征在于还包括有电子显微镜(4)及与其相连接的显示器(5)，测试台(2)水平放置，被测水晶放置在夹具(6)内。
2.根据权利要求1所述的籽晶检距测试仪，其特征在于所述电子显微镜(4)镜头横 向对准I彳试水晶的籽晶面的侧面。
3.根据权利要求1或2所述的籽晶检距测试仪，其特征在于电子显微镜(4)镜头上 设置有规中线及刻度。
4.根据权利要求1所述的籽晶检距测试仪，其特征在于所述的夹具(6)底部设置校 位螺栓(7)，边侧设置有夹紧螺栓(8)。
5.根据权利要求1所述的籽晶检距测试仪，其特征在于水晶测试台(2)可上下微调。
6.根据权利要求1或5所述的籽晶检距测试仪，其特征在于测试台(2)台面可旋转。
7.根据权利要求1所述的籽晶检距测试仪，其特征在于X射线发射管口设置有圆筒(9)。
8.根据权利要求1所述的籽晶检距测试仪，其特征在于还包括工作台罩(12)，工作台 罩(12)上设置有照灯(10)。
专利摘要本实用新型提供了一种籽晶检距测试仪，涉及一种测量装置，包括X射线管箱体(1)、测试台(2)、探头(3)、控制器、指示仪表及机台内的高压发生器、稳压器、稳压电源，测量光路依次经过X射线管、水晶、探头(3)，探头内设置有计数器，还包括有电子显微镜(4)及与其相连接的显示器(5)，测试台(2)水平放置，被测水晶放置在夹具(6)内，本测试仪采用定角定位测试，被测水晶水平放置，无需测算水晶几何表面与籽晶面的角度，并可通过电子显微镜(4)直接得到水晶籽晶面位置及其与表面的距离值，为下一步打磨加工做好准备，相比与现有的单晶测试仪，操作更加简便快捷，测量精度高，节省人力物力，显著提高了水晶产品生产效率。
文档编号G01N23/207GK201653940SQ20102016325
公开日2010年11月24日 申请日期2010年4月16日 优先权日2010年4月16日
发明者孟范洪, 谢加地 申请人:谢加地