专利名称：一种倾斜度测量器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及测量器装置领域，特别涉及一种倾斜度测量器。
背景技术：
硅片制造的很多工艺如热生长氧化物、离子注入后硅片表面的热退火、淀积膜、玻 璃体回流及硅化物膜的形成等等均需要使用到高温炉设备。由于这些工艺与温度有密切关 系，这就使高温炉在IC制造中成为非常关键的因素。现有技术的高温炉中，连接点火器的石英管与连接工艺腔体的石英管通过法兰相 连接。法兰连接的具体结构请参看图1。如图1所示，密封圈100放置于连接于点火器的石 英管101上的法兰102及连接于工艺腔体的石英管103上的法兰104之间，将两个法兰对 接，通过固定锁紧装置105将两个对接法兰紧密的固定在一起，从而使连接对于点火器的 石英管101同连接于工艺腔体的石英管103连接在一起并不发生泄漏。但现有技术中在将两个法兰对接在一起时，无法测量两个法兰在水平方向上是否 处于同一轴线，也无法测量两个法兰在垂直方向上是否保持水平，因此当两个法兰对接存 在高度差异或倾斜度差异时，对接后被固定锁紧的法兰即会因受力不均而发生破碎，造成 石英管内的气体泄漏，最终导致高温炉停止工作而产生较大的损失。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种倾斜度测量器，可测量某一特定平面的 水平度、垂直度或倾斜度的测量器。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种倾斜度测量器，包括底座、测量杠杆、 支撑盘和千分表；所述测量杠杆包括支点、测量杆、支杆、传距轴以及移距量杆；所述支杆固定于所 述支点上，两端可在所述支点的支撑作用下上下移动，所述支杆的一端连接所述测量杆，另 一端连接所述传距轴的一端，所述传距轴的另一端为上窄下宽的锥形体；所述移距量杆包 括内部形成腔室的套筒和杆体，所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套筒的两 端之外，所述杆体的一端安装有滚珠，另一端连接千分表，所述套筒内设置有弹簧，支撑所 述杆体上安装有滚珠的一端向所述套筒外部移动，紧挨于所述传距轴的锥形体上；所述测 量杆包括内部形成腔室的套筒和杆体，所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套 筒的两端之外，所述套筒固定于安装于所述支撑盘之上的支架上，所述杆体的一端安装有 滚珠，另一端连接所述支杆，所述测量杆垂直于所述支杆；所述支点固定于所述支撑盘之上；支撑盘的中心设置有第一腔体，所述支撑盘内 还设置有第二腔体，所述第二腔体同所述第一腔体相通；所述传距轴置于所述第一腔体内， 所述移距量杆置于所述第二腔体内，所述传距轴和所述移距量杆在所述第一腔体和第二腔 体内可分别进行垂直运动和水平运动；所述支撑盘固定于所述底座上。[0010]可选的，所述支撑盘的底部具有贯通其两端的凹槽，所述底座上具有贯通其两端 的凹块，所述凸块的形状、尺寸同所述凹槽相适应，所述凸块安装于凹槽中。可选的，所述支撑盘包括上支撑盘和下支撑盘，所述上支撑盘和下支撑盘的中心 设置有所述第一腔体，所述下支撑盘内设置有所述第二腔体，所述支点固定于所述上支撑 盘之上；所述上支撑盘和下支撑盘之间设置有轴承；所述下支撑盘固定于所述底座上。可选的，所述下支撑盘的底部具有贯通其两端的凹槽，所述底座上具有贯通其两 端的凸块，所述凸块的形状、尺寸同所述凹槽相适应，所述凸块安装于凹槽中。可选的，所述下支撑盘的底部具有贯通其两端的第一凹槽；所述底座包括上底座 和下底座，所述上底座的一面具有贯通其两端的第一凸块，同该面相对的另一面具有第二 凸块；所述上底座上，第一凸块垂直于第二凸块；所述第一凸块的形状、尺寸同所述第一凹 槽相适应，所述第一凸块安装于所述第一凹槽中；所述下底座的一面具有贯通其两端的第 二凹槽，其形状、尺寸同所述第二凸块相适应，所述第二凸块安装于所述第二凹槽中。可选的，所述凸块为燕尾型凸块，所述凹槽为燕尾型凹槽。可选的，所述第一凸块及所述第二凸块为燕尾型凸块，所述第一凹槽及所述第二 凹槽为燕尾型凹槽。可选的，所述底座采用磁性材质制成。可选的，所述下底座采用磁性材质制成。使用本实用新型的倾斜度测量器可精确测量特定装置的水平度、垂直度或倾斜 度，且使用方便。特别是使用在高温炉中时，可精确测量连接点火器的石英管上的法兰与连 接工艺腔体的石英管上的法兰之间是否对准，从而可有效提高安装精确度，改善安全性能， 增加石英管寿命，同时也可节省调节安装的时间。
图1为现有技术的法兰连接结构示意图；图2为本实用新型的倾斜度测量器的剖面结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图对本 实用新型的具体实施方式
做详细的说明。本实用新型所述的倾斜度测量器可广泛应用于多种工艺中，并且可以利用多种替 换方式实现，下面是通过较佳的实施例来加以说明，当然本实用新型并不局限于该具体实 施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑地涵盖在本实用新型的保护范围 内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细描述，在详述本实用新型实施例时，为了 便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。请参看图2，图2为本实用新型的倾斜度测量器的剖面结构示意图。如图2所示， 本实用新型的倾斜度测量器包括底座110、测量杠杆120、支撑盘130和千分表140。所述测量杠杆120包括支点121、测量杆122、支杆123、传距轴124以及移距量 杆；所述支杆123固定于所述支点121上，两端可在所述支点121的支撑作用下上下移动，所述支杆123的一端连接所述测量杆122，另一端连接所述传距轴124的一端，所述传距轴 124的另一端为上窄下宽的锥形体125 ；所述移距量杆包括内部形成腔室的套筒1 和杆体 127，所述杆体127穿过所述套筒126的腔室且其两端伸出所述套筒126的两端之外，所述 杆体127的一端安装有滚珠128，另一端连接千分表140，所述套筒126内设置有弹簧129， 支撑所述杆体127上安装有滚珠128的一端向所述套筒1 外部移动，紧挨于所述传距轴 124的锥形体125上；所述测量杆122的结构同所述移距量杆相似，包括内部形成腔室的套 筒和杆体，所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套筒的两端之外，所述套筒固 定于安装于所述支撑盘之上的支架150上，所述杆体的一端安装有滚珠，另一端连接所述 支杆123，所述测量杆122垂直于所述支杆123。所述支撑盘130包括上支撑盘131和下支撑盘132，所述上支撑盘131和下支撑盘 132的中心设置有第一腔体，所述下支撑盘132内设置有第二腔体，所述第二腔体同所述第 一腔体相通，所述传距轴1 置于所述第一腔体内，所述移距量杆置于所述第二腔体内，所 述传距轴IM和所述移距量杆在所述第一腔体和第二腔体内可分别进行垂直运动和水平 运动。所述支点121固定于所述上支撑盘131之上。所述上支撑盘131和下支撑盘132之 间设置有轴承133，使得所述上支撑盘131可相对于所述下支撑盘132转动。所述下支撑盘 132的底部具有贯通其两端的燕尾槽。所述底座110包括上底座111和下底座112，所述上底座111的相对两面上分别具 有第一燕尾型凸块和第二燕尾型凸块，所述第一燕尾型凸块垂直于所述第二燕尾型凸块； 所述上底座111上第一燕尾型凸块的形状、尺寸同所述下支撑盘132底部的燕尾槽相适应， 所述上底座111上的第一燕尾型凸块安装于所述下支撑盘132底部的燕尾槽中，使得所述 下支撑盘132可沿其上的燕尾槽进行移动；所述下底座112的一面具有贯通燕尾槽，其形 状、尺寸同所述上底座111上的第二燕尾型凸块相适应，所述上底座111上的第二燕尾型凸 块安装于所述下底座112上的燕尾槽中，使得所述上底座111可沿所述下底座112表面的 燕尾槽进行移动。优选的，所述下底座112采用磁性材质制成。本实用新型的倾斜度测量器在使用时，所述测量杠杆的测量杆上的滚珠接触待检 测的平面，并沿待检测平面进行移动。若带检测平面具有一定的倾斜度，则所述测量杆即进 行垂直的上下移动，带动所述支杆的两端在所述支点的支撑作用垂直移动，进而带动所述 传距轴上下垂直移动。由于传距轴的末端为上窄下宽的锥形体，同所述锥形体紧挨的所述 移距量杆上的滚珠则由于锥形体的上下移动而进行水平的左右移动，最终通过千分表测得 测量杆在待检测平面上的垂直移动距离。由于底座上存在的互相垂直的燕尾槽，使得测量杠杆可实现在水平方向和垂直方 向的滑动。同时由于上下支撑盘也可相对转动，使得本实用新型的倾斜度测量器可更为灵 活的进行测量。若将倾斜度测量器的底座采用磁性材料制成，则可使倾斜度测量器吸附于 某一平面上进行，通过使测量杠杆在水平方向或垂直方向进行滑动，或通过使上下支撑盘 相对移动实现倾斜度测量。使用本实用新型的倾斜度测量器可精确测量特定装置的水平度、垂直度或倾斜 度，且使用方便。特别是使用在高温炉中时，可精确测量连接点火器的石英管上的法兰与连 接工艺腔体的石英管上的法兰之间是否对准，从而可有效提高安装精确度，改善安全性能，增加石英管寿命，同时也可节省调节安装的时间。 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种倾斜度测量器，其特征在于，包括底座、测量杠杆、支撑盘和千分表；所述测量杠杆包括支点、测量杆、支杆、传距轴以及移距量杆；所述支杆固定于所述支 点上，两端可在所述支点的支撑作用下上下移动，所述支杆的一端连接所述测量杆，另一端 连接所述传距轴的一端，所述传距轴的另一端为上窄下宽的锥形体；所述移距量杆包括内 部形成腔室的套筒和杆体，所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套筒的两端之 外，所述杆体的一端安装有滚珠，另一端连接千分表，所述套筒内设置有弹簧，支撑所述杆 体上安装有滚珠的一端向所述套筒外部移动，紧挨于所述传距轴的锥形体上；所述测量杆 包括内部形成腔室的套筒和杆体，所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套筒的 两端之外，所述套筒固定于安装于所述支撑盘之上的支架上，所述杆体的一端安装有滚珠， 另一端连接所述支杆，所述测量杆垂直于所述支杆；所述支点固定于所述支撑盘之上；支撑盘的中心设置有第一腔体，所述支撑盘内还设 置有第二腔体，所述第二腔体同所述第一腔体相通；所述传距轴置于所述第一腔体内，所述 移距量杆置于所述第二腔体内，所述传距轴和所述移距量杆在所述第一腔体和第二腔体内 可分别进行垂直运动和水平运动；所述支撑盘固定于所述底座上。
2.如权利要求1所述的倾斜度测量器，其特征在于，所述支撑盘的底部具有贯通其两 端的凹槽，所述底座上具有贯通其两端的凹块，所述凸块的形状、尺寸同所述凹槽相适应， 所述凸块安装于凹槽中。
3.如权利要求1所述的倾斜度测量器，其特征在于，所述支撑盘包括上支撑盘和下支 撑盘，所述上支撑盘和下支撑盘的中心设置有所述第一腔体，所述下支撑盘内设置有所述 第二腔体，所述支点固定于所述上支撑盘之上；所述上支撑盘和下支撑盘之间设置有轴承； 所述下支撑盘固定于所述底座上。
4.如权利要求3所述的倾斜度测量器，其特征在于，所述下支撑盘的底部具有贯通其 两端的凹槽，所述底座上具有贯通其两端的凸块，所述凸块的形状、尺寸同所述凹槽相适 应，所述凸块安装于凹槽中。
5.如权利要求3所述的倾斜度测量器，其特征在于，所述下支撑盘的底部具有贯通其 两端的第一凹槽；所述底座包括上底座和下底座，所述上底座的一面具有贯通其两端的第 一凸块，同该面相对的另一面具有第二凸块；所述上底座上，第一凸块垂直于第二凸块；所 述第一凸块的形状、尺寸同所述第一凹槽相适应，所述第一凸块安装于所述第一凹槽中；所 述下底座的一面具有贯通其两端的第二凹槽，其形状、尺寸同所述第二凸块相适应，所述第 二凸块安装于所述第二凹槽中。
6.如权利要求2或4所述的倾斜度测量器，其特征在于，所述凸块为燕尾型凸块，所述 凹槽为燕尾型凹槽。
7.如权利要求5所述的倾斜度测量器，其特征在于，所述第一凸块及所述第二凸块为 燕尾型凸块，所述第一凹槽及所述第二凹槽为燕尾型凹槽。
8.如权利要求1至4中任一权利要求所述的倾斜度测量器，其特征在于，所述底座采用 磁性材质制成。
9.如权利要求5所述的倾斜度测量器，其特征在于，所述下底座采用磁性材质制成。
专利摘要本实用新型提供一种倾斜度测量器，包括底座、测量杠杆、支撑盘和千分表；所述测量杠杆包括支点、测量杆、支杆、传距轴以及移距量杆；所述支点固定于所述支撑盘之上；所述支撑盘固定于所述底座上。使用本实用新型的倾斜度测量器可精确测量特定装置的水平度、垂直度或倾斜度，且使用方便。特别是使用在高温炉中时，可精确测量连接点火器的石英管上的法兰与连接工艺腔体的石英管上的法兰之间是否对准，从而可有效提高安装精确度，改善安全性能，增加石英管寿命，同时也可节省调节安装的时间。
文档编号G01B5/245GK201844832SQ201020564890
公开日2011年5月25日 申请日期2010年10月16日 优先权日2010年10月16日
发明者王刚 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司