石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置的制作方法

文档序号:5932567阅读:249来源:国知局
专利名称:石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及石英坩埚的制备技术领域,尤其是涉及ー种石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置。
背景技术
在电弧法的石英坩埚制造过程中,由于熔制坩埚的过程是通过电弧放电实现的因此熔制模具内的温度是很高的,温度高达2000摄氏度左右,传统的热电偶接触式測量方法要经常更换热电偶,由于热电偶钼铑热电偶丝价格昂贵实用寿命短,维护更换不方便,又因为石英坩埚制造的过程中模具是高速旋转的,因此采用传统的接触式测温方法就会影响到石英坩埚的成型,并且对于热电偶的安装位置要求比较苛刻。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足,提供ー种石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置,其结构紧凑,设计合理,实现方便,操作使用方便,有助于提高石英坩埚成型精度,维护维修成本低,测温精度高,使用效果好,便于推广使用。为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是ー种石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置,其特征在干包括固定连接在石英砂分料装置上的安装座、垂直于所述安装座固定连接在安装座一侧的传感器安装支架和垂直于所述安装座固定连接在安装座ー侧的遮热板,所述遮热板和传感器安装支架位于所述安装座的同一侧,所述遮热板位于石英坩埚模具的正上方且位于所述传感器安装支架的正下方,所述传感器安装支架的上方安装有非接触式温度传感器和与非接触式温度传感器相接的温度显示仪,所述传感器安装支架的下方安装有感光管,所述感光管位于所述非接触式温度传感器的正下方且穿过所述遮热板井向石英坩埚模具的顶面延伸,所述感光管上靠近所述石英坩埚模具中间位置处的一侧安装有遮光板。上述的石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置,其特征在干所述非接触式温度传感器为光电式温度传感器。上述的石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置,其特征在干所述感光管的底端距离石英坩埚模具顶面的距离为3cm 10cm。本实用新型与现有技术相比具有以下优点I、本实用新型的结构紧凑,设计合理,实现方便。2、本实用新型的安装不受限制且不会影响石英坩埚的成型,操作使用方便,有助于提闻石英i甘祸成型精度。3、本实用新型采用非接触式温度传感器测温,非接触式温度传感器的使用寿命长,因此,本实用新型无需经常维护,维护维修成本低。4、本实用新型在感光管上靠近所述石英坩埚模具中间位置处的ー侧安装有遮光板,能够避免电火花对测量温度的影响,测温精度高。[0012]5、操作者能够通过温度显示仪方便实时地观察某一时刻溶制坩埚的温度,使用效果好,便于推广使用。综上所述,本实用新型结构紧凑,设计合理,实现方便,操作使用方便,有助于提高石英坩埚成型精度,维护维修成本低,测温精度高,使用效果好,便于推广使用。下面通过附图和实施例,对本实用新型的技术方案做进ー步的详细描述。

图I为本实用新型的结构示意图。附图标记说明I-传感器安装支架;2-石英坩埚模具;3-遮热板; 4-非接触式温度传感器; 5-温度显示仪;6-安装座;7-感光管;8-遮光板。
具体实施方式
如图I所示,本实用新型包括固定连接在石英砂分料装置上的安装座6、垂直于所述安装座6固定连接在安装座6 —侧的传感器安装支架I和垂直于所述安装座6固定连接在安装座6 —侧的遮热板3,所述遮热板3和传感器安装支架I位于所述安装座6的同一侧,所述遮热板3位于石英坩埚模具2的正上方且位于所述传感器安装支架I的正下方,所述传感器安装支架I的上方安装有非接触式温度传感器4和与非接触式温度传感器4相接的温度显示仪5,所述传感器安装支架I的下方安装有感光管7,所述感光管7位于所述非接触式温度传感器4的正下方且穿过所述遮热板3井向石英坩埚模具2的顶面延伸,所述感光管7上靠近所述石英坩埚模具2中间位置处的ー侧安装有遮光板8。如图I所示,本实施例中,所述非接触式温度传感器4为光电式温度传感器。如图I所示,本实施例中,所述感光管7的底端距离石英坩埚模具2顶面的距离为3cm IOcm0本实用新型所述的测温装置是无接触式的,安装不受限制且不会影响石英坩埚的成型。感光管7穿过遮热板3感受石英坩埚模具2中石英坩埚侧壁的辐射光,非接触式温度传感器4通过感光管7测得石英坩埚边缘的光照辐射并将所检测到的光信号转换成电信号输出给温度显示仪5,温度显示仪5中的处理器对信号进行分析处理后,通过显示器将温度数值显示出来,操作者可以通过温度显示仪5中的显示器读到此时溶制坩埚的温度。由于感光管7容易受电弧装置释放电火花的光线干扰,因此在感光管7上靠近所述石英坩埚模具2中间位置处的ー侧安装有遮光板8,能够避免电火花对测量温度的影响。综上所述,本实用新型结构紧凑,设计合理,实现方便,操作使用方便,有助于提高石英坩埚成型精度,维护维修成本低,测温精度高,使用效果好,便于推广使用。以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例,并非对本实用新型作任何限制,凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化,均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。
权利要求1.ー种石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置,其特征在于包括固定连接在石英砂分料装置上的安装座(6)、垂直于所述安装座(6)固定连接在安装座(6) —侧的传感器安装支架(I)和垂直于所述安装座(6)固定连接在安装座(6) —侧的遮热板(3),所述遮热板(3)和传感器安装支架(I)位于所述安装座(6)的同一侧,所述遮热板(3)位于石英坩埚模具(2)的正上方且位于所述传感器安装支架(I)的正下方,所述传感器安装支架(I)的上方安装有非接触式温度传感器(4)和与非接触式温度传感器(4)相接的温度显示仪(5),所述传感器安装支架(I)的下方安装有感光管(7),所述感光管(7)位于所述非接触式温度传感器(4)的正下方且穿过所述遮热板(3)井向石英坩埚模具(2)的顶面延伸,所述感光管(7)上靠近所述石英坩埚模具(2)中间位置处的ー侧安装有遮光板(8)。
2.按照权利要求I所述的石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置,其特征在于所述非接触式温度传感器(4)为光电式温度传感器。
3.按照权利要求I或2所述的石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置,其特征在于所述感光管(7)的底端距离石英坩埚模具(2)顶面的距离为3cm 10cm。
专利摘要本实用新型公开了一种石英坩埚生产过程监控的非接触测温装置,包括固定连接在石英砂分料装置上的安装座、垂直于安装座固定连接在安装座一侧的传感器安装支架和遮热板,遮热板位于石英坩埚模具的正上方且位于传感器安装支架的正下方,传感器安装支架的上方安装有非接触式温度传感器和与非接触式温度传感器相接的温度显示仪,传感器安装支架的下方安装有感光管,感光管位于非接触式温度传感器的正下方且穿过遮热板并向石英坩埚模具的顶面延伸,感光管上靠近石英坩埚模具中间位置处的一侧安装有遮光板。本实用新型结构紧凑,设计合理,实现方便,操作使用方便,有助于提高石英坩埚成型精度,维护维修成本低,测温精度高,使用效果好,便于推广使用。
文档编号G01J5/00GK202403801SQ20112050160
公开日2012年8月29日 申请日期2011年12月6日 优先权日2011年12月6日
发明者宋毅, 王 琦 申请人:西安金诺光电科技有限公司
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