用于测量仪器中的探针式设备的制作方法
【专利摘要】本发明实施例公开了一种用于测量仪器中的探针式设备，包括棒状杆和与所述棒状杆附连的接触尖端，其中所述接触尖端为桶状。该探针式设备可以实现高速度、高精度测量任务所需要的复杂度和精确度。
【专利说明】用于测量仪器中的探针式设备
【技术领域】
[0001]在下文中，将描述一种用于测量仪器中的探针式设备。这些设备也被称为接触式触发探头(touch trigger probe)。更具体地,该接触式触发探头与一维、二维或三维精度接触式传感器协同工作，以对绝缘的陶瓷工件或封装(coated)工件以及可导电的金属工件进行测量。
【背景技术】
[0002]金属加工工厂已经发展为具备制造越来越多样化和复杂化的零部件的能力。这至少部分归功于完善的检测和测量系统。坐标测量仪(Coordinate measurement machine,简称CMM)是用于测量工件表面部件的坐标的电子仪器。对具有探头系统的坐标测量仪的使用以及在加工过程中对机械工具的检查有助于最大限度地提高生产力，保持所能达到的最高质量标准。
[0003]测量在很大程度上取决于探头中探针接近特征(access a feature)然后保持接触点的精度的能力。典型的探针仪器具有与待测表面物理接触的探针和用于将探针移动转换为待处理电信号的传感器。该探针与该表面接触的部位通常是具有精细制造的形状轮廓的尖端。由于其有限的形状，某些探针形状可能比其它形状对待测表面有更大影响。因此需要谨慎选择探针的尺寸和形状。这些特征可能对测量过程中收集到的信息产生影响。探针和探头是细长的棒状杆，也是与坐标测量仪一起用来探查表面的接触端或接触点。
[0004]最常见地，探针的形状是一个圆桶形棒或具有球形尖端的锥体。探针是一种细长杆，形状类似圆珠笔。探针可以稍微弯曲，以便其易于夹持。在许多不同的应用中，探针和探头用于超精密尺寸测量。尺寸计量接触尖端和探头通常由红宝石、硬质合金(cementcarbide)或陶瓷材料构成。测量探头或尖端接触工件以获取诸如厚度、外径、内径、浑圆度、锥度或角度等测量值。坐标测量仪用于在三维结构上移动用于定位点坐标的探头，同时整合空间和正交关系。探头半径也很重要，因为一些测量需要专用的特定半径，以满足行业规范。一般来说，接触尖端由单件材料(single piece of material)构成,但也有些还包含焊接、铆接或粘贴到尖端的红宝石或金刚石添加物。接触尖端的材料可能会影响读数。例如，接触尖端可以是由单晶红宝石合成的Al2O3红宝石球、由Si3N4硬压而成的氮化娃球、由ZrO2烧结而成的氧化锆球、由氧化铝Al2O3烧结的白色陶瓷制成的氧化铝空心球、由银钢(silver steel)制成的银钢盘、由银钢制成的银钢简单圆柱体、由红宝石球合成的端部为圆柱体的红宝石球、由碳化钨制成的端部为圆柱体的碳化钨球、由银钢制成的银钢简单指针，其中银钢简单指针具有角度为30° -120°、由碳化钨或其它材料制成的、具有半径长指针的锥体。
[0005]红宝石球探针是用于大多数检测应用的标准探针。其坚硬的、高度球面状的尖端确保了长久的精度。红宝石球可安装于由各种材料制成的杆上，其中所述的各种材料包括非磁性不锈钢、陶瓷和碳纤维材料。盘测针是球体的包含赤道面在内的薄的截面，用于探测底部切口和槽。他们的侧视半径等于盘直径的一半。一个简单的盘只要求对一个直径进行测量，但将有效探测限制在X方向和Y方向。
[0006]弯曲或偏转探针会导致精度下降。保持球尽可能的大，能够最大化球/杆间隙，从而降低了不准确测量的机率；较大的球可以减小待检测工件表面的任何压力。具有相对较细的杆能够为接近某些测量点提供灵活性。
[0007]抟术问是页
[0008]然而，无论是常见的球尖端还是盘形尖端提供关键或专用的高速、高精度测量任务中要求的灵活性和精度。
【发明内容】
[0009]解决方案
[0010]因此，本发明提出一种用于测量仪器中的探针式设备，包括棒状杆(lOd-shapedstem)和与所述棒状杆附连(attach)的接触尖端，其中，所述接触尖端通常是桶状(barrel-shaped)。
[0011]术语“桶状尖端”指的是具有圆形底面或顶面、中间向外凸出的圆柱体。向外凸出的圆柱体壁的半径或曲率比桶状圆柱体的顶面或底面的半径大。侧视图中，向外凸出的圆柱体壁的半径或曲率也明显大于桶形圆柱体高度的一半。桶状尖端的向外凸出的圆柱形壁的区域内具有桶赤道(barrel equator),该桶赤道由正交延伸至桶状尖端中心轴线(Z)的桶赤道半径定义且具有最大横向延伸(X，Y)。
[0012]桶状尖端能够在例如尖端与被接触面之间的狭孔以低赫兹接触应力实现非常精确的测量。这是因为桶状接触尖端允许尖端表面具有较大半径(或较小曲率)的前端面，从而减小赫兹接触应力。尖端与被接触面之间的这种赫兹接触应力非常小。桶状尖端允许尖端在相对较小直径的孔中具有较大接触半径。此外，桶状尖端允许在横向测量时存在横向倾斜动作，而不会造成明显的测量误差。
[0013]在探针式设备的一个优选实施例中，桶状接触尖端的端部具有较小的桶半径，桶状接触尖端的赤道处具有较大的桶半径，且桶状接触尖端的较小的桶半径与较大的桶半径的比值为0.5至0.97。
[0014]在探针式设备的另一优选实施例中，桶状接触尖端的桶赤道半径与桶曲率半径的比值为0.06至0.5。这特别适用于侧视图中桶状接触尖端的弯曲体形状与具有桶曲率半径的圆(部分地)重合的情形。
[0015]在探针式设备的又一优选实施例中，当接触尖端对称成形时，桶状接触尖端的桶赤道半径与桶长的比值为0.2至0.45 ;当接触尖端不对称成形时，桶状接触尖端的桶赤道半径与桶长的比值为0.3至0.8。
[0016]此外，在探针式设备的另一优选实施例中，桶状接触尖端和棒状杆分别具有桶长和杆长，桶长与杆长的比值为0.07至2。
[0017]另外，桶状接触尖端可能包括近端部分和远端部分，其中，近端部分从杆延伸到桶状接触尖端的赤道，远端部分从桶状接触尖端的赤道延伸到桶状接触尖端的自由端。在一个实施例中，Z方向(探针式设备的纵向轴线)上远端部分的长度与近端部分的长度相等。这是具有对称的桶形的情形。
[0018]另外，桶状接触尖端的远端部分和近端部分的长度比可以为0.15至1，但不能等于1，使得接触尖端通常是不对称的桶形。这样可以实现非常精确的横向测量，也非常接近于具有钻孔、台阶或凹槽的地面。在另一实施例中，接触尖端通常也是不对称桶形，但远端部分与近端部分的长度比为1.5至2。在后一实施例中，接触尖端的形状相当接近洋葱状。
[0019]在探针式设备的又一优选实施例中，接触尖端的自由端具有弯曲的表面形状，且接触尖端的自由端曲率半径与桶曲率半径的比值为0.3^3.5。
[0020]在探针式设备的又一优选实施例中，接触尖端的自由端具有弯曲的表面形状，且接触尖端的桶赤道半径与自由端曲率半径的比值为0.06、.5。
[0021]桶赤道半径与桶曲率半径的比值和桶赤道半径与自由端曲率半径的比值
0.06、.5可能是相等的。
[0022]由于其机械结构/形状/构架，现有技术中的探针式设备的接触力在Z方向上进行测量时与在χ、Y方向进行测量时是不同的。通常，与x、Y方向相比，在Z方向上可能以因子(factor) 3-15进行了改变。这导致工件表面上受到不同的应力。对于相对较软的工件材料，加上使用测量微小结构(例如孔)所必须的小型探针式设备(尤其是球形探针)，可能会导致严重的问题。
[0023]目前公开的探针式设备允许探针的桶半径因工件的几何形状而不同，从而使探针在X、Y和Z方向上具有相似甚至相同的赫兹压力(假设材料特性和工件的几何形状相同，X、Y和Z方向上测量探头相对于工件的接触力明显不同)。
[0024]棒状杆具有半径，探针式设备的桶赤道半径与棒状杆半径的比值为I至2。
[0025]非对称的桶形状有利于测量的阶状孔或很薄的阶状工件。
[0026]一种利用以上任一探针式设备测量包含内部螺纹的钻孔内的坐标的方法，包括以下步骤:
[0027](a)将探针式设备插入螺纹钻孔中(平行于该钻孔的纵轴)，直至桶状接触尖端的赤道所在的区域在待测坐标(例如X或Y坐标)的第一朝向上与螺纹的腔部基本对齐。
[0028](b)在第一方向(例如X轴正方向)上朝所述螺纹的腔部移动所述探针式设备，直至所述桶状接触尖端与所述腔部接触。
[0029](c)读取所述桶状接触尖端与所述腔部接触处的第一坐标值。
[0030](d)在第二方向(例如X轴负方向)上朝所述螺纹的腔部移动所述探针式设备，直至所述桶状接触尖端与所述腔部脱离接触，其中所述第二方向与所述第一方向相反。
[0031](e)沿着螺纹钻孔的轴移动所述探针式设备(例如继续深入所述钻孔内)，直至移动螺纹的一半导程或螺距，以便所述桶状接触尖端的赤道所在的区域在待测坐标的第二朝向上与螺纹的腔部基本对齐，其中所述第二朝向与所述第一朝向相反。
[0032](f)在第二方向(例如X轴负方向)上朝所述螺纹的腔部移动所述探针式设备，直至所述桶状接触尖端与所述腔部接触，其中所述第二方向与所述第一方向相反。
[0033](g)读取所述桶状接触尖端与所述腔部接触处的第二坐标值。以及
[0034](h)取所述第一坐标值和所述第二坐标值的平均值，以获取螺纹钻孔的轴在测量坐标系中的位置。
[0035]导程沿着螺纹的轴、一个完整螺纹旋转圆周(360° )覆盖的距离。螺距是从一个螺纹腔部到另一个螺圈腔部的距离。因为绝大多数螺纹形状都是单头螺纹形状，因此它们的导程和螺距都是相同的。[0036]由于螺纹的确切位置是未知的，桶状接触尖端甚或其赤道往往无法准确地与螺纹的腔部相接触。因此，会产生测量误差。但是，桶状接触尖端的这种误差明显小于上述球形或盘形接触尖端。然而，由于螺纹的螺距或导程是已知的，可以非常精确地轴向移动螺纹的螺距或导程的一半距离。接触径向相对侧上的钻孔的纵轴方向上、上方或下方相距螺纹螺距或导程一半距离的螺纹，会导致同样的测量误差，但具有相反的符号。因此，可以通过取平均值处理将这些误差抵消。取平均值处理的结果就是螺纹钻孔的轴的位置的精确坐标值。通过该处理，桶状接触尖端的赤道所在区域与螺纹的腔部大致对齐，这是没有问题的。赤道所在区域指的是从桶状接触尖端的赤道延伸到该接触尖端的近端部分和/或远端部分的O…25%的圆周带。
【专利附图】
【附图说明】
[0037]在附图中，示出了用于测量仪器中的探针式设备的实施例及其变形。具体附图如下:
图1中示出了设有棒状杆和桶装接触尖端的探针式设备的一个实施例；
图2中示出了设有接触尖端的探针式设备的另一个实施例；
图3中示出了设有接触尖端的探针式设备的又一个实施例；
图4中示出了设有接触尖端的探针式设备的再一个实施例；
图5中解释了如何使用该探针式设备对包含内部螺纹的钻孔内的坐标进行测量； 图6中示出了设有接触尖端的探针式设备的又另一个实施例。
【具体实施方式】
[0038]图1所示的探针式设备包括棒状杆10和与棒状杆10附连的桶状接触尖端12。该探针式设备安装在用于测量工件表面部件的坐标的坐标测量仪(未示出)上。棒状杆10和桶状接触尖端12由硬质合金一体成型。当然，棒状杆10和桶状接触尖端12也可以由不同的材料制成。接触尖端可以由粘贴到棒状杆10上的红宝石或金刚石制成。例如，接触尖端可以是由单晶红宝石合成的Al2O3红宝石球、由Si3N4硬压而成的氮化娃球、由ZrO2烧结而成的氧化锆球、由氧化铝Al2O3烧结的白色陶瓷制成的氧化铝空心球、碳化钨球或其它材料。在图1所示的探针式设备的一个优选实施例中，棒状杆10以及与棒状杆10附连的桶状接触尖端12都由硬化钢或硬质合金制成。在图1所示的探针式设备的另一个优选实施例中，与杆10附连的桶状接触尖端12由硬质合金或镀覆了硬质(例如金刚石或碳化物)表层的硬化钢制成。
[0039]在探针式设备的一个优选实施例中，桶状接触尖端12的端部具有较小的桶半径R4，桶状接触尖端12的赤道E处具有较大的桶半径R2，由于图1所示的探针式设备是对称的，因此桶状接触尖端12的远端部分PP处的较小的桶半径R4与桶状接触尖端12的近端部分DP处的较小的桶半径R相等。在图1所示的探针式设备中，桶状接触尖端12的较小的桶半径R4与较大的桶半径R2的比值为0.5至0.97。更具体地，在图3所示的实施例中，较小的桶半径R4与较大的桶半径R2的比值为0.55/0.65。
[0040]在图1所示的探针式设备中，桶状接触尖端12的桶赤道半径R2与桶曲率半径Rl的比值为0.06至0.5。更具体地，在图3所示的实施例中，桶状接触尖端12的桶赤道半径R2与桶曲率半径Rl的比值为0.65/3。
[0041]在图1所示的探针式设备中，桶状接触尖端12的桶赤道半径R2与桶长Hl的比值为0.2至0.45。更具体地，在图3所示的实施例中，桶状接触尖端12的桶赤道半径R2与桶长Hl的比值为0.65/1.6。
[0042]在图1所示的探针式设备中，桶状接触尖端12和棒状杆10分别具有桶长Hl和杆长H2，且桶长Hl与杆长H2的比值为0.07至2。更具体地，在图3所示的实施例中，桶状接触尖端12的桶长Hl与棒状杆10的杆长H2的比值为0.8/2.2。
[0043]在图1所示的探针式设备中，桶状接触尖端12的桶曲率半径Rl与桶长Hl的比值为0.9至4.5。更具体地，在图3所示的实施例中，桶状接触尖端12的桶曲率半径Rl与桶长Hl的比值为1.5/0.8 ;在图4所示的实施例中，桶状接触尖端12的桶曲率半径Rl与桶长Hl的比值为1.5/0.6。
[0044]在图1所示的探针式设备中，桶状接触尖端12包括近端部分PP和远端部分DP。近端部分PP从杆延伸到桶状接触尖端12的赤道E，远端部分DP从桶状接触尖端12的赤道E延伸到桶状接触尖端12的自由端FE。
[0045]图2所示的探针式设备中的接触尖端12的远端部分DP和近端部分PP的长度比可以为0.15至1，但小于I。因此，接触尖端12通常是不对称的桶形。也就是说，赤道E(即桶状接触尖端12的最大直径或半径部分)不在桶的中部。
[0046]图1和图2所示的探针式设备中的接触尖端12的自由端FE都具有弯曲的表面形状。更具体地，在图3和图4所示的实施例中，桶状接触尖端12的自由端曲率半径R5与桶曲率半径Rl的比值分别为I和2.7。同样地，图1和图2所示的接触尖端12的桶赤道半径R2与自由端曲率半径R5的比值为0.06至0.5。更具体地，在图3和图4所示的实施例中，桶状接触尖端12的桶赤道半径R2与自由端曲率半径R5的比值分别为0.65/3和0.5/8。
[0047]在图6所示的探针式设备中，桶状接触尖端12包括近端部分PP和远端部分DP。近端部分PP从杆延伸到桶状接触尖端12的赤道E，远端部分DP从桶状接触尖端12的赤道E延伸到桶状接触尖端12的自由端FE。接触尖端通常是不对称的桶形。远端部分和近端部分的长度比约为I至3 (例如1.5至2)。因此，接触尖端的形状大致为洋葱状。
[0048]应当注意的是，尽管本文中公开了很多范围和很多数值，但是所公开的数值之间的任意数值以及所公开的范围内的任意子范围也可以认为是已公开的。还应当注意的是，尽管给出了本文所描述的探针式设备的各种方向之间的很多联系，但是，本文所描述的任意特定种类的探针式设备可以不需要包含本文所描述的各种方向之间的某一种或每种联系O
[0049]请参见图5，描述了利用以上任一探针式设备测量包含内部螺纹的钻孔内的坐标的方法是如何操作的。采用以下步骤:
[0050](a)将探针式设备插入螺纹钻孔中(平行于该钻孔的纵轴)，直至桶状接触尖端的赤道区域在待测坐标(X坐标)的第一朝向上与螺纹的腔部基本对齐。
[0051](b)在第一方向(例如X轴正方向)上朝所述螺纹的腔部移动所述探针式设备，直至所述桶状接触尖端与所述腔部在第一接触位置接触。
[0052](C)读取所述桶状接触尖端与所述腔部相接触的第一接触位置的第一坐标值。
[0053](d)在第二方向(例如X轴负方向)上朝所述螺纹的腔部移动所述探针式设备，直至所述桶状接触尖端与所述腔部脱离接触，其中所述第二方向与所述第一方向相反。
[0054](e)沿着螺纹钻孔的轴移动所述探针式设备(例如继续深入所述钻孔内)，直至移动螺纹的一半导程或螺距，以便所述桶状接触尖端的赤道区域在待测坐标的第二朝向上与螺纹的腔部基本对齐，其中所述第二朝向与所述第一朝向相反。
[0055](f)在第二方向(例如X轴负方向)上朝所述螺纹的腔部移动所述探针式设备，直至所述桶状接触尖端与所述腔部在第二接触位置接触，其中所述第二方向与所述第一方向相反。
[0056](g)读取所述桶状接触尖端与所述腔部相接触的第二接触位置的第二坐标值。以及
[0057](h)取所述第一坐标值和所述第二坐标值的平均值，以获取螺纹钻孔的轴在测量坐标系中的位置。
[0058]为了获取螺纹钻孔的轴的y坐标值，可以在y轴正方向和y轴负方向上执行以上步骤(b)至步骤(h)。
【权利要求】
1.一种用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，包括: 棒状杆(10);和 与所述棒状杆(10)附连的接触尖端(12)，其中所述接触尖端(12)通常为桶状。
2.如权利要求1所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 桶状接触尖端(12)的端部具有较小的桶半径(R4)，桶状接触尖端(12)的赤道(E)具有较大的桶半径(R2)。
3.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 所述桶状接触尖端(12)的较小的桶半径(R4)与较大的桶半径(R2)的比值为0.5至0.97。
4.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述桶状接触尖端(12)的桶赤道半径(R2)与桶曲率半径(Rl)的比值为0.06至0.5。
5.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述桶状接触尖端(12)的桶赤道半径(R2)与桶长(Hl)的比值为0.2至0.45或0.3至0.8。
6.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述桶状接触尖端(12)和所述棒状杆(10)分别具有桶长(Hl)和杆长(H2)。
7.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述桶状接触尖端(12)的桶长(Hl)与杆长(H2)的比值为0.07至2。
8.如以上任意项权利要求所`述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述桶状接触尖端(12)的桶曲率半径(Rl)与桶长(Hl)的比值为0.9至4.5。
9.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 所述桶状接触尖端(12)包括近端部分(PP)和远端部分(DP)； 所述近端部分(PP)从所述杆延伸到所述桶状接触尖端(12)的所述赤道(E)，所述远端部分(DP)从所述接触尖端(12)的所述赤道(E)延伸到所述接触尖端(12)的自由端所述(FE)。
10.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 所述接触尖端(12)的所述远端部分(DP)和所述近端部分(PP)的长度比为1，以使得所述接触尖端(12)通常为对称的桶形。
11.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 所述接触尖端(12)的所述远端部分(DP)与所述近端部分(PP)的长度比为0.15至1，但小于1，以使得所述接触尖端(12)通常是不对称的桶形。
12.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述接触尖端(12)的所述远端部分(DP)与所述近端部分(PP)的长度比为1.5至2，以使得所述接触尖端(12)通常为不对称的桶形。
13.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 所述接触尖端(12)的所述自由端(FE)具有弯曲的表面形状。
14.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 所述接触尖端(12)的自由端曲率半径(R5)与桶曲率半径(Rl)的比值为0.3^3.5。
15.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于，所述接触尖端(12)通常是不对称的桶形，且所述接触尖端(12)的所述自由端(FE)具有弯曲的表面形状。
16.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 所述接触尖端(12)的桶赤道半径(R2)与自由端曲率半径(R5)的比值为0.06、.5。
17.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 桶赤道半径(R2 )与桶曲率半径(Rl)的比值和桶赤道半径(R2 )与自由端曲率半径(R5 )的比值0.06、.5相等。
18.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 所述棒状杆(10)具有半径(R3)，且所述设备的桶赤道半径(R2)与棒状杆半径(R3)的比值为I至2。
19.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 所述棒状杆(10)和与所述杆(10)附连的所述通常桶状接触尖端(12)都由硬化钢或硬质合金制成，或者与所 述杆(10)附连的通常桶状接触尖端(12)由硬质合金或镀覆了硬质表层的硬化钢制成。
20.如以上任意项权利要求所述的用于测量仪器中的探针式设备，其特征在于: 所述桶状接触尖端(12)具有桶半径(R2，R4)和自由端(FE)曲率半径，使探针在X方向和Z方向上、或Y方向和Z方向上提供相似或相同的赫兹压力。
21.一种利用以上任意权利要求所述的探针式设备测量包含内部螺纹的钻孔内的坐标的方法，其特征在于，包括以下步骤: 将探针式设备插入螺纹钻孔中，直至桶状接触尖端(12)的赤道(E)所在的区域在待测坐标的第一朝向上与螺纹的腔部基本对齐； 在第一方向上朝所述螺纹的腔部移动所述探针式设备，直至所述桶状接触尖端(12)与所述腔部接触； 读取所述桶状接触尖端(12)与所述腔部接触处的第一坐标值； 在第二方向上朝所述螺纹的腔部移动所述探针式设备，直至所述桶状接触尖端(12)与所述腔部脱离接触，其中所述第二方向与所述第一方向相反； 沿着螺纹钻孔的轴移动所述探针式设备，直至移动螺纹的一半导程或螺距，以便所述桶状接触尖端(12)的赤道(E)所在的区域在待测坐标的第二朝向上与螺纹的腔部基本对齐，其中所述第二朝向与所述第一朝向相反； 在第二方向上朝所述螺纹的腔部移动所述探针式设备，直至所述桶状接触尖端(12)与所述腔部接触，其中所述第二方向与所述第一方向相反； 读取所述桶状接触尖端(12)与所述腔部接触处的第二坐标值；以及取所述第一坐标值和所述第二坐标值的平均值，以获取螺纹钻孔的轴在测量坐标系中的位置。
22.如权利要求21所述的方法，其特征在于，所述桶状接触尖端(12)具有桶曲率半径(Rl )，螺纹钻孔具有导程或螺距，其中所述桶曲率半径(Rl)与所述导程或螺距的比值为5 …10。
【文档编号】G01B21/00GK103884300SQ201310010291
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年1月11日 优先权日:2012年12月21日
【发明者】罗兰·迪尔格, 诺伯特·莫斯奇 申请人:德国波龙科技有限公司