用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法
【专利摘要】本发明提供一种用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法。该检测设备包括：承载装置、多个固定装置和压力输送装置。承载装置上设置有多个通孔；多个固定装置分别与多个通孔相对应，多个固定装置构造为能够在承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个通孔处，且通孔构造为能够暴露压力传感器的受压面的至少一部分；压力输送装置具有进气口和出气口，承载装置密封连接至出气口，且承载装置的与第一表面相对的第二表面面向压力输送装置，使得压力传感器的受压面面向压力输送装置。该检测设备可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。
【专利说明】用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法
【技术领域】
[0001]本发明总地涉及传感器检测领域，且更具体地涉及一种用于压力传感器的检测设备和检测系统，以及利用该检测系统检测压力传感器的灵敏度的方法。
【背景技术】
[0002]现有技术中对压力传感器的检测一般是通过在待检测的压力传感器的外表面套上一个与其直径相近的气管，并使得压力传感器的受压面朝向该气管，从气管的进气口输入气体，使其作用于待检测的压力传感器的受压面，从而进行后续的灵敏度检测操作。但是这种检测方法每次只能对一个压力传感器进行检测，当检测另外的压力传感器的时候，必须重新安装气管，工作效率低。
[0003]因此，需要提供一种用于压力传感器的检测设备和检测系统，以及利用该检测系统检测压力传感器的灵敏度的方法，以解决上面提到的问题。
【发明内容】
[0004]为解决上述技术问题，根据本发明的一个方面，提供了一种用于压力传感器的检测设备。所述检测设备包括:承载装置、多个固定装置和压力输送装置。承载装置上设置有多个通孔；多个固定装置分别与多个所述通孔相对应，多个所述固定装置构造为能够在所述承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个所述通孔处，且所述通孔构造为能够暴露所述压力传感器的受压面的至少一部分；所述压力输送装置具有进气口和出气口，所述承载装置密封连接至所述出气口，且所述承载装置的与所述第一表面相对的第二表面面向所述压力输送装置，使得所述压力传感器的受压面面向所述压力输送装置。
[0005]优选地，每个所述固定装置均包括密封件，所述密封件上设有开孔，所述开孔与所述通孔对准，所述密封件在所述压力传感器安装至所述检测设备的安装状态下在所述通孔处设置在所述压力传感器和所述承载装置之间。
[0006]优选地，所述固定装置包括套筒和盖体，所述套筒围绕所述通孔固定在所述承载装置上，用于容置所述压力传感器，所述盖体可拆卸地连接在所述套筒上，所述盖体在所述压力传感器安装至所述检测设备的安装状态下压靠所述压力传感器。
[0007]优选地，所述固定装置还包括弹性件，所述弹性件设置在所述盖体的朝向所述套筒的一侧，所述弹性件构造为在所述安装状态下能够将所述压力传感器朝向所述承载装置偏压。
[0008]优选地，所述套筒与所述盖体螺接。
[0009]优选地，所述承载装置螺接至所述压力输送装置的所述出气口。
[0010]优选地，所述承载装置与所述压力输送装置一体地形成。
[0011]优选地，所述承载装置和所述压力输送装置是由金属材料制成的。
[0012]根据本发明的另一方面，提供了一种用于压力传感器的检测系统，所述检测系统包括:如上所述的任一种检测设备；灵敏度检测装置，所述灵敏度检测装置用于分别检测安装在所述检测设备上的压力传感器的灵敏度；以及压力源，所述压力源连接至所述压力输送装置的所述进气口，用于向所述压力输送装置内输入气体。
[0013]根据本发明的还一方面，提供了一种使用上述的检测系统检测压力传感器的灵敏度的方法，所述方法包括以下步骤:通过多个所述固定装置分别将多个压力传感器安装至所述承载装置的所述第一表面，且所述压力传感器的受压面由所述通孔暴露；将所述压力传感器分别与所述灵敏度检测装置连接；将所述压力输送装置的所述进气口与所述压力源连接；通过所述进气口向所述压力输送装置内输入气体；当所述压力输送装置内的压力稳定后，监测所述灵敏度检测装置的读数。
[0014]综上，本发明提供的检测设备可以同时固定多个压力传感器，从而可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。
[0015]以下结合附图，详细描述本发明的优点和特征。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]为了使本发明的优点更容易理解，将通过参考在附图中示出的具体实施例更详细地描述上文简要描述的本发明。可以理解这些附图只描绘了本发明的典型实施例，因此不应认为是对其保护范围的限制，通过附图以附加的特性和细节描述和解释本发明。
[0017]图1为根据本发明一个实施例的检测设备的示意图；
[0018]图2为根据本发明一个实施例的承载装置的示意图；
[0019]图3为图1中所示A区域的放大截面图；以及
[0020]图4为根据本发明一个实施例的包括检测设备的检测系统的示意图。
【具体实施方式】
[0021]在下文的讨论中，给出了细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，本领域技术人员可以了解，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在特定的示例中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行详尽地描述。
[0022]根据本发明的一个方面，公开了一种压力传感器的检测设备(以下简称检测设备)，用于检测压力传感器的灵敏度。如图1所示，该检测设备包括承载装置110、多个固定装置120以及压力输送装置130。
[0023]结合图2所示，该承载装置110上设置有多个通孔111。虽然图2中示出的通孔111的数量为8个，但本发明不限于此，本领域的技术人员可根据实际需要选择设置合理数量的通孔。此外，通孔111的形状也并非限于图中所示的圆形，也可以为任何其它形状，只要能够实现本发明的目的即可。多个固定装置120的数量与多个通孔111的数量相对应，即每个通孔111处都对应地设置有一个固定装置120，以便将压力传感器固定在通孔111处。当将压力传感器固定在通孔111处时，压力传感器的受压面应当对准通孔111，以便使通孔111暴露压力传感器的受压面。这样，多个固定装置120可以在承载装置110的第一表面(例如图1中所示的承载装置110的左侧表面)将多个压力传感器分别固定到多个通孔111处，且通孔111能够暴露压力传感器的受压面的至少一部分。通孔111可以暴露受压面的一部分，也可以将受压面全部暴露，只要能够将压力输送装置130输送过来的气体压力通过通孔111施加到压力传感器的受压面即可。
[0024]压力输送装置130在其两端分别设置有进气口 131和出气口 132，承载装置110的第二表面朝向压力输送装置130并连接至压力输送装置130的出气口 132端。其中，承载装置110的第二表面与第一表面相对，并使得压力传感器的受压面面向所述压力输送装置130，以使来自压力输送装置130的气体能够直接作用于压力传感器的受压面。该检测设备可以同时在承载装置110上安装并固定多个压力传感器，从而可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。
[0025]优选地，如图3所示，每个固定装置120都包括密封件121，密封件121上设有开孔。在压力传感器300安装到检测设备的安装状态下，密封件121在通孔111处设置在压力传感器300和承载装置110之间，且使得密封件121上的开孔与承载装置110上的通孔111对准，以保证每个压力传感器300和承载装置110之间仅通过相应的通孔111输送气体，进而在每个通孔111处实现承载装置110与相应的压力传感器300之间的密封性。密封件121的设置可以保证当通过通孔111向压力传感器300的受压面施加气体压力的时候气体不会泄露，从而保证了该检测设备的密封性，有利于提高测试数据的准确性。
[0026]更优选地，如图3所示，每个固定装置120都包括套筒122和盖体123，套筒122围绕通孔111固定在承载装置110上，套筒122的尺寸设置为略大于待检测的压力传感器300的尺寸，以能够将压力传感器300容置在其中。优选地，套筒122的内部尺寸可以与压力传感器300的尺寸相匹配，以便在套筒122的横截面内固定压力传感器300。虽然，图中示出的套筒122为圆柱形的，但是本发明并不限于此，其可以为任何形状，只要能够固定压力传感器即可。盖体123可拆卸地连接在套筒122的与承载装置110相对的一侧，以使得当压力传感器300安装到检测设备的时候，盖体123能够将压力传感器300朝向承载装置110的通孔111端压靠在承载装置110上，并且当完成对压力传感器300的检测后，可以将盖体123从套筒122上拆下，从而将压力传感器300取出。本发明的该优选实施方式结构简单，安装方便，成本低廉且能够良好的固定压力传感器。
[0027]为了更好地将压力传感器300固定到检测设备上，进一步优选地，固定装置还包括弹性件124，如图3所示。弹性件124可以设置在盖体123的朝向套筒122的一侧。当压力传感器300安装至检测设备的时候，弹性件124可以将压力传感器300朝向承载装置110偏压。该弹性件124可以进一步地将压力传感器300紧密地固定到检测设备上，避免压力传感器300的受压面与承载装置110的通孔111接触的地方出现缝隙，而影响密封性。此夕卜，弹性地偏压压力传感器300还可以避免压力传感器300在测试过程中损坏。
[0028]根据本发明的一个优选实施方式，套筒122可以与盖体123螺接。该优选的连接方式可以方便地拆卸、安装盖体，从而可以方便地将压力传感器置入与取出。
[0029]如图1所示，在本发明的一种优选实施方式中，承载装置110螺接至压力输送装置130的出气口 132。该优选连接方式一方面能够保证承载装置110与压力输送装置130之间的密封性能，另一方面能够方便地拆装承载装置110，从而当将压力传感器、密封件(如果存在)等部件装配在承载装置I1上的时候，可以先将承载装置110从压力输送装置130上拆卸，以实现方便地装配。
[0030]在本发明的另一种优选实施方式中，承载装置110与压力输送装置130 —体地形成，以使压力输送装置130和承接装置110之间的密封性能更好。
[0031]为了避免该检测设备在如气温等外界因素的影响下发生变形而影响设备的密封性，优选地，承载装置I1和压力输送装置130都是由金属材料制成。一方面可以延长检测设备的使用寿命，另一方面可以避免设备发生变形。但是，对于固定装置120并不限于用金属材料制成。
[0032]根据本发明的另一方面，提供了一种用于压力传感器的检测系统。如图4所示，该检测系统包括如上文所述的任一种检测设备、灵敏度检测装置420和压力源410。对于该检测设备，可以参照上文相应部分的具体描述，在此不再赘述。该灵敏度检测装置420用于分别检测安装在检测设备上的压力传感器(未示出)的灵敏度，虽然图4中仅示意性地示出了一个灵敏度检测装置420，但是，本领域的技术人员可以理解的是，应当同时为安装在检测设备上的每个压力传感器提供灵敏度检测单元，以便能够实现多个压力传感器的同时检测。作为示例，灵敏度检测装置420可以为电压检测装置，例如数字万用表，即通过电压的变化来测量压力传感器的灵敏度。压力源410连接至压力输送装置130的进气口 131，用于向压力输送装置130内输入气体。优选地，该压力源410能够显示输送至压力输送装置130的气体的压力。
[0033]本发明还提供了一种使用上述检测系统检测压力传感器的灵敏度的方法。继续参考图4，根据本发明实施例的检测方法包括以下步骤:
[0034]首先，通过多个固定装置120分别将多个压力传感器安装至承载装置的110的第一表面，使得压力传感器的受压面朝向承载装置110，并由通孔暴露受压面的至少一部分。
[0035]然后，将多个压力传感器分别与多个灵敏度检测装置420连接。作为示例，灵敏度检测装置420可以为电压检测装置，例如数字万用表，即通过电压的变化来测量压力传感器的灵敏度。
[0036]接下来，将压力输送装置130的进气口 131与压力源410连接。
[0037]然后，通过进气口 131向压力输送装置130内输入气体；
[0038]最后，当压力输送装置130内的压力稳定后，监测灵敏度检测装置420的读数。优选地，压力输送装置130的进气口 131可以与压力检测表连接，当压力检测表显示的压力输送装置130内的压力数值维持不变的时候，即可得知压力输送装置130内的压力达到稳定，从而可以进行后续的检测。
[0039]其中，压力传感器的具体的装配方式在上文对检测设备的说明中已有具体描述，在此不再赘述。
[0040]综上所述，本发明提供的检测设备可以同时固定多个压力传感器，从而可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。
[0041]为了进行说明，前述描述参照了具体实施例进行描述。然而，上文的示例性的讨论并非意欲是无遗漏地或将本发明限制在所公开的明确形式上。鉴于以上教导，也有可能存在很多变型和变化。选择并描述了实施例，以最好地解释本发明的原理和实际应用，以使本领域的其他技术人员最好地利用本发明以及具有各种变型的各种实施例，以能适用于期望的特定用途。
[0042]由此描述了根据本发明的实施例。虽然本公开已在特定实施例中予以描述，但是应当了解，本发明不应理解为由这些实施例所限制，而应根据权利要求进行理解。
【权利要求】
1.一种用于压力传感器的检测设备，所述检测设备包括: 承载装置，其上设置有多个通孔； 多个固定装置，其分别与多个所述通孔相对应，多个所述固定装置构造为能够在所述承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个所述通孔处，且所述通孔构造为能够暴露所述压力传感器的受压面的至少一部分； 压力输送装置，所述压力输送装置具有进气口和出气口，所述承载装置密封连接至所述出气口，且所述承载装置的与所述第一表面相对的第二表面面向所述压力输送装置，使得所述压力传感器的受压面面向所述压力输送装置。
2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，每个所述固定装置均包括密封件，所述密封件上设有开孔，所述开孔与所述通孔对准，所述密封件在所述压力传感器安装至所述检测设备的安装状态下在所述通孔处设置在所述压力传感器和所述承载装置之间。
3.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述固定装置包括套筒和盖体，所述套筒围绕所述通孔固定在所述承载装置上，用于容置所述压力传感器，所述盖体可拆卸地连接在所述套筒上，所述盖体在所述压力传感器安装至所述检测设备的安装状态下压靠所述压力传感器。
4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述固定装置还包括弹性件，所述弹性件设置在所述盖体的朝向所述套筒的一侧，所述弹性件构造为在所述安装状态下能够将所述压力传感器朝向所述承载装置偏压。
5.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述套筒与所述盖体螺接。
6.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置螺接至所述压力输送装置的所述出气口。
7.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置与所述压力输送装置一体地形成。
8.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置和所述压力输送装置是由金属材料制成的。
9.一种用于压力传感器的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括: 如权利要求1-8中任一项所述的检测设备； 灵敏度检测装置，所述灵敏度检测装置用于分别检测安装在所述检测设备上的压力传感器的灵敏度；以及 压力源，所述压力源连接至所述压力输送装置的所述进气口，用于向所述压力输送装置内输入气体。
10.一种使用如权利要求9所述的检测系统检测压力传感器的灵敏度的方法，所述方法包括以下步骤: 通过多个所述固定装置分别将多个压力传感器安装至所述承载装置的所述第一表面，且所述压力传感器的受压面由所述通孔暴露； 将所述压力传感器分别与所述灵敏度检测装置连接； 将所述压力输送装置的所述进气口与所述压力源连接； 通过所述进气口向所述压力输送装置内输入气体； 当所述压力输送装置内的压力稳定后，监测所述灵敏度检测装置的读数。
【文档编号】G01L27/00GK104422561SQ201310379615
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2013年8月27日 优先权日:2013年8月27日
【发明者】顾坚俭, 徐伯强 申请人:无锡华润上华半导体有限公司