同步转角仪的制作方法
【专利摘要】一种同步转角仪，其特征在于由双椭圆规机构和平行四边形机构组合构成，包括基座、第一直线滑动模块、第二直线滑动模块、第三直线滑动模块、第一双椭圆规机构、第二双椭圆规机构、发射源、接收器和驱动模块。该转角仪适用于两组光学元器件绕共同轴同步反向旋转，且共同旋转轴的轴向没有任何装置的转角机构，具有结构简单、装调方便、应用范围广等优点。
【专利说明】同步转角仪
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种同步转角仪，特别是一种两组光学元器件绕共同轴同步反向旋转且其共同旋转轴轴向没有任何装置的同步转角仪。适用于光谱成像椭圆偏振仪的自动转角仪、X射线衍射仪的转台、动态反射光谱分析仪以及变角度反射光谱分析仪的转台等。
【背景技术】
[0002]随着科学技术的快速发展，各种高精密的测试分析仪器不断涌现，如光谱成像椭圆偏振仪、布鲁斯特角显微镜、变角度紫外/远红外反射光谱分析仪、X射线衍射仪等。在结构上，这些仪器有一个共同点:均由发射源发出的一束光，以不同的入射角入射到被测物体表面，经被测物体表面反射后由探测器接收并分析得到被测物体表面的特征信息。因此需要一个转角仪驱动发射源与接收器同时绕样品的被测点转动。
[0003]上海三科仪器有限公司生产的自动测厚仪以及椭圆偏振分析仪的驱动转角仪可以实现发射源与接收器绕共同转轴反向转动，并保持被测样品不动，但是该转角仪在共同转动轴的轴向有轴承，极大的限制了仪器的应用范围。通过联机检索，在国内没有相关的专利。
[0004]德国Accurion公司生产的光谱成像椭圆偏振仪、布鲁斯特角显微镜、变角度紫外/远红外反射光谱分析仪均是应用于同一种转角仪，并且申请了专利在先技术[I](DE10139645A1)。该专利描述的测角仪可以保证在被测样品不动的情况下，实现发射源与接收器绕共同转轴反向转动，并且其共同转动轴的轴向没有任何装置。但是将该机构应用于高精度的测量仪器对装调精度与计量系统的要求很高。
[0005]在先技术[2] (US7852983B2)描述了一种应用于X射线衍射仪的转角机构。该转角机构可以实现发射源与接收器绕共同转轴反向转动，但是该转角机构在驱动发射源与接收器的同时，被测点也随着上下移动，这样大大降低了系统的稳定性。并且在共同转动轴的轴向有丝杆和滑块，因此无法测量大的生物样品，限制了测量仪器的应用范围。
[0006]在先技术[3](JP11014566A)和在先技术[4] (W02005015187A1)各描述了一种转角机构。该转角机构可以保证被测样品不动的情况下，实现发射源与接收器绕共同转轴反向转动，但其共同转动轴的轴向有机械装置，同样也限制了其应用范围。
【发明内容】
[0007]本发明的目的是针对上述在先技术的不足，提供一种同步转角仪，该转角仪适用于两组光学元器件绕共同轴同步反向旋转，且共同旋转轴的轴向没有任何装置的转角机构，具有结构简单、装调方便、应用范围广等优点。
[0008]本发明的技术解决方案如下:
[0009]一种同步转角仪，其特征在于由双椭圆规机构和平行四边形机构组合构成，包括基座、第一直线滑动模块、第二直线滑动模块、第三直线滑动模块、第一双椭圆规机构、第二双椭圆规机构、发射源、接收器和驱动模块，所述的第一直线滑动模块、第二直线滑动模块和第三直线滑动模块结构相同，成“品”字固定在所述的基座上，所述的第一直线滑动模块垂直于所述的第二直线滑动模块和第三直线滑动模块构成的直线。
[0010]所述的基座具有置放待测物的空间并关于YOZ平面对称，所述的第一直线滑动模块位于Y轴的正方向，所述的第二直线滑动模块与第三直线滑动模块关于YOZ平面对称；所述的第一双椭圆规机构与第二双椭圆规机构关于基座的YOZ平面对称。
[0011]所述的第一直线滑动模块由第一直线导轨、第二直线导轨、第一连接板、第二连接板、第一直线滑块、第二直线滑块、第三直线滑块和第四直线滑块组成，所述的第一直线导轨与第二直线导轨相互平行且关于YOZ平面对称并固定在所述的基座上，所述第一连接板的一端固定在安装于第一直线导轨上部的第一直线滑块上，所述第一连接板的另一端固定在安装于第二直线导轨上部的第三直线滑块上，所述第二连接板的一端固定在安装于第一直线导轨下部的第二直线滑块上，所述第二连接板的另一端固定在安装于第二直线导轨下部的第四直线滑块上。
[0012]所述第二直线滑动模块由第三直线导轨、第四直线导轨、第三连接板、第四连接板、第五直线滑块、第六直线滑块、第七直线滑块和第八直线滑块组成，所述的第三直线导轨与第四直线导轨相互平行且关于XOY平面对称并固定在所述的基座上，位于X轴的负方向，所述第三连接板的一端固定在安装于第三直线导轨左部的第五直线滑块上，所述第三连接板的另一端固定在安装于第四直线导轨左部的第七直线滑块上，所述第四连接板的一端固定在安装于第三直线导轨右部的第六直线滑块上，所述第四连接板的另一端固定在安装于第四直线导轨右部的第八直线滑块上。
[0013]所述第三直线滑动模块由第五直线导轨、第六直线导轨、第五连接板、第六连接板、第九直线滑块、第十直线滑块、第十一直线滑块和第十二直线滑块组成，所述的第五直线导轨、第六直线导轨分别与所述的第三直线导轨、第四直线导轨共线并固定在所述的基座上，位于X轴的正方向，所述第五连接板的一端固定在安装于第五直线导轨右部的第九直线滑块上，所述第五连接板的另一端固定在安装于第六直线导轨右部的第十一直线滑块上，所述第六连接板的一端固定在安装于第五直线导轨左部的第十直线滑块上，所述第六连接板的另一端固定在安装于第六直线导轨左部的第十二直线滑块上。
[0014]所述第一双椭圆规机构由第一连杆、第二连杆、第三连杆、第四连杆、第一连接板、第二连接板、第三连接板和第四连接板组成，所述第二双椭圆规机构由第五连杆、第六连杆、第七连杆、第八连杆、第一连接板、第二连接板、第五连接板和第六连接板组成。
[0015]所述第一连杆的一端和所述第五连杆的一端与第一连接板的中点共同铰接于位于Y轴正方向上的B点，所述第一连杆的另一端与第三连接板的中点铰接于位于X轴负方向上的G点，所述第五连杆的另一端与第五连接板的中点铰接于位于X轴正方向上的GG点，并且GG点与G点关于O点对称；所述第二连杆的一端与所述第六连杆的一端和第二连接板的中点共同铰接于位于Y轴正方向上的A点，并且A点在B点与O点之间，所述第二连杆的另一端与第四连接板的中点铰接于位于X轴负方向上的F点，并且F点在G点与O点之间，所述第六连杆的另一端与第六连接板的中点铰接于位于X轴正方向上的FF点，并且FF点与F点关于O点对称。
[0016]所述第三连杆的一端与所述第一连杆铰接于C点，并且该C点位于所述第一连杆2的中点，所述第三连杆的另一端与所述第二连杆铰接于D点，并且该D点位于所述第二连杆的中点。
[0017]所述第四连杆的一端与所述第一连杆铰接于E点，并且该E点位于所述第一连杆上，所述第四连杆的另一端与所述第二连杆铰接于F点，所述的EF与所述的⑶平行，并且由C点、D点、F点和E点所组成的平面四杆机构为平行四边形机构。
[0018]所述第七连杆的一端与所述第五连杆铰接于CC点，并且该CC点位于所述第五连杆的中点，所述第七连杆的另一端与所述第六连杆铰接于DD点，并且该DD点位于所述第六连杆的中点。
[0019]所述第八连杆的一端与所述第五连杆铰接于EE点，且该EE点位于所述第五连杆上，所述第八连杆的另一端与所述第六连杆铰接于FF点，所述的EEFF与所述的CXDD平行，并且由CC点、DD点、FF点和EE点所组成的平面四杆机构为平行四边形机构。 [0020]所述C点到D点的距离与E点到F点的距离相等，所述CC点到DD点的距离与EE点到FF点的距离相等，所述B点到G点的距离与B点到GG点的距离相等，所述的A点到F点的距离与A点到FF点的距离相等，所述C点到D点的距离与CC点到DD点的距离相等，所述E点到F点的距离与EE点到FF点的距离相等，所述D点到F点的距离与所述C点到E点的距离相等，所述CC点到EE点的距离与所述DD点到FF点的距离相等。
[0021]所述的发射源与接收器分别固定在第三连杆与第七连杆上。
[0022]所述的驱动模块由螺母固定板、丝杆、螺母、第一轴承座、第二轴承座、联轴器、驱动源和驱动源支架组成，所述的驱动源通过所述驱动源支架固定在所述基座上并位于Y轴的正方向上，所述螺母与所述丝杆配合，并通过所述螺母固定板固定在第一连接板的背面，所述第一轴承座安装于所述丝杆的一端，所述第二轴承座安装于所述丝杆的另一端，所述的驱动源通过所述联轴器与所述的丝杆的一端相连，并驱动所述的丝杆转动，带动所述的第一连接板沿所述的第一直线导轨、第二直线导轨移动，并通过所述第一双椭圆机构与第二双椭圆机构的作用，实现所述的发射源与接收器的同步转角运动。
[0023]本发明的技术效果如下:
[0024]所述的驱动源驱动第一双椭圆机构与第二双椭圆机构运动，不仅能保证C点、D点、CC点、DD点均绕O点做圆弧转动，并且C点、D点以及O点三点共线，CC点、DD点以及O点三点共线，其转动中心O点的轴向没有任何机械装置。
[0025]本发明采用由简单的双椭圆规机构、平行四边形机构组合实现，结构简单，装调方便，工作稳定，便于实现高精度的转角仪，对用于大尺寸的生物测量仪器有广泛的应用前
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【专利附图】
【附图说明】
[0026]图1为本发明同步转角仪实施例的主视图。
[0027]图2为实施例第一双椭圆规机构的结构图。
[0028]图3为图1局部视图。
[0029]图4为实施例中第一双椭圆规机构的运动解析图。
[0030]图5为本发明所述同步转角仪输入分辨率与输出转角关系图。
【具体实施方式】[0031]先请参阅图1，图1为本同步转角仪实施例的主视图，由图可见，本发明同步转角仪机构，由基座1、第一直线滑动模块、第二直线滑动模块、第三直线滑动模块、第一双椭圆规机构、第二双椭圆规机构、发射源14、接收器15以及驱动模块组成，其中第一双椭圆规机构与第二双椭圆规机构关于基座I的YOZ平面对称，第二直线滑动模块与第三直线滑动模块关于YOZ平面对称。
[0032]所述第一直线滑动模块由第一直线导轨8、第二直线导轨17、第一连接板6、第二连接板16、第一直线滑块70、第二直线滑块71、第三直线滑块72和第四直线滑块73组成。其中第一直线导轨8与第二直线导轨17相互平行且关于YOZ对称，并固定连接于基座I上，位于Y轴的正方向。所述第一连接板6的一端固定在安装于第一直线导轨8上部的第一直线滑块70上，所述第一连接板6的另一端与固定在安装于第二直线导轨17上部的第三直线滑块72上，所述第二连接板16的一端固定在安装于第一直线导轨8下部的第二直线滑块71上，所述第二连接板16的另一端固定在安装于第二直线导轨17下部的第四直线滑块73上，使得所述第一连接板6、所述第二连接板16可以相对于基座沿着Y轴方向往复运动。
[0033]所述第二直线滑动模块由第三直线导轨18、第四直线导轨19、第三连接板23、第四连接板24、第五直线滑块74、第六直线滑块75、第七直线滑块76和第八直线滑块77组成，所述第三直线导轨18与第四直线导轨19相互平行且关于XOY平面对称，并固定连接于基座I的上，位于X轴的负方向。所述第三连接板23的一端固定在安装于第三直线导轨18左部的第五直线滑块74上，所述第三连接板23的另一端固定在安装于第四直线导轨19左部的第七直线滑块76上，所述第四连接板24的一端固定在安装于第三直线导轨18右部的第六直线滑块75上，所述第四连接板24的另一端固定在安装于第四直线导轨19右部的第八直线滑块77上，使得所述第三连接板23、所述第四连接板24可以相对于基座I沿着X轴方向往复运动。
[0034]所述第三直线滑动模块由第五直线导轨20、第六直线导轨21、第五连接板26、第六连接板25、第九直线滑块78、第十直线滑块79、第十一直线滑块80和第十二直线滑块81组成，所述第五直线导轨20、第六直线导轨21分别与第三直线导轨18、第四直线导轨19共线，且关于XOY平面对称，并固定连接于基座I上，位于X轴的正方向。所述第五连接板26的一端固定在安装于第五直线导轨20右部的第九直线滑块78上，所述第五连接板26的另一端固定在安装于第六直线导轨21右部的第十一直线滑块80上，所述第六连接板25的一端固定在安装于第五直线导轨20左部的第十直线滑块79上，所述第六连接板25的另一端固定在安装于第六直线导轨21左部的第十二直线滑块81上，使得所述第五连接板26、所述第六连接板25可以相对于基座I沿着X轴方向往复运动。
[0035]所述第一双椭圆规机构由第一连杆2、第二连杆3、第三连杆4、第四连杆5、第一连接板6、第二连接板16、第三连接板23以及第四连接板24组成，如图2所示；所述第二双椭圆规机构由第五连杆22、第六连杆33、第七连杆44、第八连杆55、第一连接板6、第二连接板16、第五连接板26以及第六连接板25组成。
[0036]所述第一连杆2的一端和所述第五连杆22的一端与第一连接板6的中点共同铰接于位于Y轴正方向上的B点，所述第一连杆2的另一端与第三连接板23的中点铰接于位于X轴负方向上的G点,所述第五连杆22的另一端与第五连接板26的中点铰接于位于X轴正方向上的GG点，并且GG点与G点关于O点对称。[0037]所述第二连杆3的一端和所述第六连杆33的一端与第二连接板的中点共同铰接于位于Y轴正方向上的A点，并且A点在B点与O点之间，所述第二连杆3的另一端与第四连接板24的中点铰接于位于X轴负方向上的F点，并且F点在G点与O点之间，所述第六连杆33的另一端与第六连接板25的中点铰接于位于X轴正方向上的FF点，并且FF点与F点关于O点对称。
[0038]所述第三连杆4的一端与所述第一连杆2铰接于C点，并且该C点位于所述第一连杆2的中点，所述第三连杆4的另一端与所述第二连杆3铰接于D点，并且该D点位于所述第二连杆3的中点。
[0039]所述第四连杆5的一端与所述第一连杆2铰接于E点，并且该E点位于所述第一连杆2上，所述第四连杆5的另一端与所述第二连杆3铰接于F点，所述的EF与所述的⑶平行，并且由C点、D点、F点和E点所组成的平面四杆机构为平行四边形机构。
[0040]所述第七连杆44的一端与所述第五连杆22铰接于CC点，并且该CC点位于所述第五连杆22的中点，所述第七连杆44的另一端与所述第六连杆33铰接于DD点，并且该DD点位于所述第六连杆33的中点。
[0041]所述第八连杆55的一端与所述第五连杆22铰接于EE点，并且该EE点位于所述第五连杆22上，所述第八连杆55的另一端与所述第六连杆33铰接于FF点，所述的EEFF与所述的CCDD平行，并且由CC点、DD点、FF点和EE点所组成的平面四杆机构为平行四边形机构。
[0042]所述第三连杆4的长度(即C点到D点的距离)与第四连杆5的长度(即E点到F点的距离)相等；
[0043]所述第七连杆44的长度(即CC点到DD点的距离)与第八连杆55的长度(即EE点到FF点的距离)相等；
[0044]所述第一连杆2的长度(即B点到G点的距离)与所述第五连杆22的长度(即B点到GG点的距离)相等；
[0045]所述第二连杆3的长度(即A点到F点的距离)与所述第六连杆33的长度(即A点到FF点的距离)相等；
[0046]所述第三连杆4的长度(即C点到D点的距离)与所述第七连杆44的长度(即CC点到DD点的距离)相等；
[0047]所述第四连杆5的长度(即E点到F点的距离)与所述第八连杆55的长度(即EE点到FF点的距离)相等；
[0048]所述D点到F点的距离与所述C点到E点的距离相等；
[0049]所述CC点到EE点的距离与所述DD点到FF点的距离相等。
[0050]所述发射源14与接收器15分别固定相连于第三连杆4与第七连杆44上。
[0051]如图1，3中所示，所述的驱动模块由螺母固定板27、丝杆9、螺母28、第一轴承座10、第二轴承座82、联轴器13、驱动源11以及驱动源支架12组成，。所述的驱动源11通过所述驱动源支架12与所述基座I固定相联，通过所述联轴器13与所述丝杆9连接，并位于Y轴的正方向上，所述第一轴承座10安装于所述丝杆9的一端，所述第二轴承座82安装于所述丝杆9的另一端，所述螺母28与所述丝杆9配合，并通过所述螺母固定板27固定在第一连接板6的背面，从而实现了所述驱动模块与所述第一直线滑动模块、所述第一双椭圆规机构以及所述第二双椭圆规机构的连接。
[0052]所述驱动源11驱动所述丝杆9转动，所述丝杆9与所述螺母28配合，并通过所述螺母固定板27带动所述第一连接板6相对于所述基座I上下移动，最终同步驱动第一双椭圆规机构与第二双椭圆规机构。在图4中，因为C点与D点分别位于第一连杆2与第二连杆3的中点，根据直角三角形的特性可知，Ldq = Lda = Ldf ；Lddo = Ldda = Lddff ；Lco = Lcb = Lcg ；Lcco = Lccb = Lccgg,并且所有连杆在运动过程中其长度始终保持不变,所以C点、D点、CC点以及DD点的轨迹分别为半径是LCQ、LDQ、Lca)以及Lddq的圆弧，即固定于第三连杆4与第七连杆44上的发射源14和接收器15的轨迹均为以O点为圆心的圆弧。因此实现了第一连接板6的上下移动同步带动了固定于第三连杆4与第七连杆44上的发射源14与接收器15做绕O点圆弧运动。
[0053]所述一种同步转角仪实例中第一双椭圆规机构的运动解析图如图4所示。由于由C点、D点、F点和E点所组成的平面四杆机构，以及由CC点、DD点、FF点和EE点所组成的平面四杆机构均为平行四边形机构，即第一连杆2与第二连杆3以及第五连杆22与第六连杆33始终保持平行，因此C点、D点、O点三点共线，CC点、DD点、O点三点共线。根据直角三角形的特性可得表达式:
[0054]y = f ( δ ) = acos ( δ )，δ e (O°，90°)，(1)其中:a 为第二连杆3的杆长，δ为D点和O点的连线与YOZ平面的夹角，即第三连杆4、第七连杆44与YOZ平面的夹角，y为A点相对于O的位移。
[0055]经过推导可得第三连杆4、第七连杆44相对于基座I转角位移δ与第一连接板6的直线位移分辨率△ y的关系如下:
[0056]Δ y = f ( δ + Δ δ ) -f ( δ ) = acos ( δ + Δ δ ) -acos ( δ ), δ e (O。，90。)，
(2)
[0057]当a = 800，Δ δ = 0.006° ,通过软件将Ay与δ绘制成曲线如图5所示。
【权利要求】
1.一种同步转角仪，其特征在于由双椭圆规机构和平行四边形机构组合构成，包括基座(I )、第一直线滑动模块、第二直线滑动模块、第三直线滑动模块、第一双椭圆规机构、第二双椭圆规机构、发射源(14)、接收器(15)和驱动模块，所述的第一直线滑动模块、第二直线滑动模块和第三直线滑动模块结构相同，成“品”字固定在所述的基座(1)上，所述的第一直线滑动模块垂直于所述的第二直线滑动模块和第三直线滑动模块构成的直线， 所述的基座(1)具有置放待测物的空间并关于YOZ平面对称，所述的第一直线滑动模块位于Y轴的正方向，所述的第二直线滑动模块与第三直线滑动模块关于YOZ平面对称；第一双椭圆规机构与第二双椭圆规机构关于基座(1)的YOZ平面对称； 所述的第一直线滑动模块由第一直线导轨(8)、第二直线导轨(17)、第一连接板(6)、第二连接板(16)、第一直线滑块(70)、第二直线滑块(71)、第三直线滑块(72)和第四直线滑块(73)组成，所述的第一直线导轨(8)与第二直线导轨(17)相互平行且关于YOZ平面对称并固定在所述的基座(1)上，所述第一连接板(6)的一端固定在安装于第一直线导轨(8)上部的第一直线滑块(70)上，所述第一连接板(6)的另一端固定在安装于第二直线导轨(17)上部的第三直线滑块(72)上，所述第二连接板(16)的一端固定在安装于第一直线导轨(8)下部的第二直线滑块(71)上，第二连接板(16)的另一端固定在安装于第二直线导轨(17)下部的第四直线滑块(73)上； 所述第二直线滑动模块由第三直线导轨(18)、第四直线导轨(19)、第三连接板(23)、第四连接板(24)、第五直线滑块(74)、第六直线滑块(75)、第七直线滑块(76)和第八直线滑块(77)组成，所述的第三直线导轨(18)与第四直线导轨(19)相互平行且关于XOY平面对称并固定在所述的基座(1)上，位于X轴的负方向，所述第三连接板(23)的一端固定在安装于第三直线导轨(18)左部的第五直线滑块(74)上，所述第三连接板(23)的另一端固定在安装于第四直线导轨(19)左部的第七直线滑块(76)上，所述第四连接板(24)的一端固定在安装于第三直线导轨(18)右部的第六直线滑块(75)上，所述第四连接板(24)的另一端固定在安装于第四直线导轨(19)右部的第八直线滑块(77)上；` 所述第三直线滑动模块由第五直线导轨(20)、第六直线导轨(21)、第五连接板(26)、第六连接板(25)、第九直线滑块(78)、第十直线滑块(79)、第十一直线滑块(80)和第十二直线滑块(81)组成，所述的第五直线导轨(20)、第六直线导轨(21)分别与所述的第三直线导轨(18)、第四直线导轨(19)共线，并固定在所述的基座(1)上，位于X轴的正方向，所述第五连接板(26)的一端固定在安装于第五直线导轨(20)右部的第九直线滑块(78)上，所述第五连接板(26)的另一端固定在安装于第六直线导轨(21)右部的第十一直线滑块(80)上，所述第六连接板(25)的一端固定在安装于第五直线导轨(20)左部的第十直线滑块(79)上，所述第六连接板(25)的另一端固定在安装于第六直线导轨(21)左部的第十二直线滑块(81)上； 所述第一双椭圆规机构由第一连杆(2)、第二连杆(3)、第三连杆(4)、第四连杆(5)、第一连接板(6)、第二连接板(16)、第三连接板(23)和第四连接板(24)组成，所述第二双椭圆规机构由第五连杆(22)、第六连杆(33)、第七连杆(44)、第八连杆(55)、第一连接板(6)、第二连接板(16 )、第五连接板(26 )和第六连接板(25 )组成； 所述第一连杆(2)的一端和所述第五连杆(22)的一端与第一连接板(6)的中点共同铰接于位于Y轴正方向上的B点，所述第一连杆(2)的另一端与第三连接板(23)的中点铰接于位于X轴负方向上的G点，所述第五连杆(22)的另一端与第五连接板(26)的中点铰接于位于X轴正方向上的GG点，并且GG点与G点关于O点对称；所述第二连杆(3)的一端和所述第六连杆(33)的一端与第二连接板(16)的中点共同铰接于位于Y轴正方向上的A点，并且A点在B点与O点之间，所述第二连杆(3)的另一端与第四连接板(24)的中点铰接于位于X轴负方向上的F点，并且F点在G点与O点之间，所述第六连杆(33)的另一端与第六连接板(25)的中点铰接于位于X轴正方向上的FF点，并且FF点与F点关于O点对称；所述第三连杆(4)的一端与所述第一连杆(2)铰接于C点，并且该C点位于所述第一连杆2的中点，所述第三连杆(4)的另一端与所述第二连杆(3)铰接于D点，并且该D点位于所述第二连杆(3)的中点； 所述第四连杆(5)的一端与所述第一连杆(2)铰接于E点，并且该E点位于所述第一连杆(2)上，所述第四连杆(5)的另一端与所述第二连杆(3)铰接于F点，所述的EF与所述的⑶平行，并且由C点、D点、F点和E点所组成的平面四杆机构为平行四边形机构； 所述第七连杆(44)的一端与所述第五连杆(22)铰接于CC点，并且该CC点位于所述第五连杆(22)的中 点，所述第七连杆(44)的另一端与所述第六连杆(33)铰接于DD点，并且该DD点位于所述第六连杆(33)的中点； 所述第八连杆(55)的一端与所述第五连杆(22)铰接于EE点，且该EE点位于所述第五连杆(22)上，所述第八连杆(55)的另一端与所述第六连杆(33)铰接于FF点，所述的EEFF与所述的CCDD平行，并且由CC点、DD点、FF点和EE点所组成的平面四杆机构为平行四边形机构； 所述的C点到D点的距离与E点到F点的距离相等，所述的CC点到DD点的距离与EE点到FF点的距离相等，所述的B点到G点的距离与B点到GG点的距离相等，所述的A点到F点的距离与A点到FF点的距离相等，所述的C点到D点的距离与CC点到DD点的距离相等，所述E点到F点的距离与EE点到FF点的距离相等，所述D点到F点的距离与所述C点到E点的距离相等，所述CC点到EE点的距离与所述DD点到FF点的距离相等； 所述的发射源(14)与接收器(15)分别固定在第三连杆(4)与第七连杆(44)上； 所述的驱动模块由螺母固定板(27)、丝杆(9)、螺母(28)、第一轴承座(10)、第二轴承座(82)、联轴器(13)、驱动源(11)和驱动源支架(12)组成，所述的驱动源(11)通过所述驱动源支架(12)固定在所述基座(1)上并位于Y轴的正方向上，所述螺母(28)与所述丝杆(9)配合，通过所述螺母固定板(27)固定在第一连接板(6)的背面，所述第一轴承座(10)安装于所述丝杆(9)的一端，所述第二轴承座(82)安装于所述丝杆(9)的另一端，所述的驱动源(11)通过所述联轴器(13)与所述的丝杆(9)的一端相连，并驱动所述的丝杆(9)转动，带动所述的第一连接板(6)沿所述的第一直线导轨(8)、第二直线导轨(17)移动，通过所述第一双椭圆机构与所述第二双椭圆机构的作用，实现所述的发射源(14)与接收器(15)的同步转角运动。
【文档编号】G01D11/00GK103727970SQ201310545341
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年11月6日 优先权日:2013年11月6日
【发明者】程伟林, 曾爱军, 陈明星, 黄惠杰, 贺洪波, 方明 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所